一种真空管道波纹补偿结构的制作方法
【专利摘要】本发明属于加工领域，本发明一种真空管道波纹补偿结构，包括波纹管道，骨架结构，动子结构，轧铁，定子结构，电脑程序，所述波纹管道设置在骨架结构内部，所述动子结构设置在骨架结构外部，所述轧铁设置在骨架结构内部，所述定子设置在骨架结构外端。所述电脑程序控制骨架结构内部磁力变动，为管道补偿带来积极的效果。
【专利说明】
一种真空管道波纹补偿结构
技术领域
[0001]本发明涉及加工领域，具体是一种真空管道波纹补偿结构。
【背景技术】
[0002]目前，在很多工业设备中，需要驱动工件或工件台进行多自由度运动，并对其进行精确定位，例如光刻机中的硅片台、掩模台等设备。为实现多自由度运动及其精确定位，如果直接使用驱动电机来提供支承，就会使得驱动电机负载增加，造成电机发热增大。在很多超精密工作台中，电机发热过大，就会影响环境温度，造成非接触式测量误差，最终影响定位精度。采用永磁非接触式的重力补偿结构具有结构简单、零组件表面无需精密加工、适用于真空环境中应用等优点。对于非接触式永磁重力补偿结构结构，需要固定部分和支承部分之间沿轴线方向具有较小的刚度和较大的承载力。
[0003]随着光刻机技术的发展，其负载要求开始降低，但是，随着磁浮工件台的发展，磁浮大行程运动台含有大的halbach磁钢阵列，产生强磁场，效果产生较大的影响。
[0004]其中，一种真空管道波纹补偿结构我们将利用于科学技术，将带来极大的成功。
[0005]发明专利内容
[0006]本发明专利提供一种真空管道波纹补偿结构，包括波纹管道，骨架结构，动子结构，乳铁，定子结构，电脑程序，所述波纹管道设置在骨架结构内部，所述动子结构设置在骨架结构外部，所述乳铁设置在骨架结构内部，所述定子设置在骨架结构外端。
[0007]进一步地，所述电脑程序控制骨架结构内部磁力变动。
【附图说明】
[0008]图1是本发明的一种真空管道波纹补偿结构结构示意图。
【具体实施方式】
[0009]实施例:
[0010]本实施例包括:如图1所示本发明专利所解决的技术问题采用以下技术方案来实现:其中1-波纹管道，2-电脑程序，3-乳铁，4-动子结构，5-定子结构，6-骨架结构。
[0011 ] 一种真空管道波纹补偿结构，包括波纹管道，骨架结构，动子结构，乳铁，定子结构，电脑程序，所述波纹管道设置在骨架结构内部，所述动子结构设置在骨架结构外部，所述乳铁设置在骨架结构内部，所述定子设置在骨架结构外端。
[0012]其中，所述电脑程序控制骨架结构内部磁力变动。
[0013]显然，本发明的上述实施例仅仅是为清楚地说明本发明所作的举例，而并非是对本发明的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明权利要求的保护范围之内。
【主权项】
1.本发明属于一种真空管道波纹补偿结构，其特征在于:包括波纹管道，骨架结构，动子结构，乳铁，定子结构，电脑程序，所述波纹管道设置在骨架结构内部，所述动子结构设置在骨架结构外部，所述乳铁设置在骨架结构内部，所述定子设置在骨架结构外端。2.根据权利要求1所述一种真空管道波纹补偿结构，其特征在于:所述电脑程序控制骨架结构内部磁力变动。
【文档编号】G03F7/20GK106019853SQ201610522500
【公开日】2016年10月12日
【申请日】2016年6月30日
【发明人】赵金旺
【申请人】天津市百瑞泰管业股份有限公司