改进照明型干涉系统的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种改善照明条件的扩展光源的干涉系统，用于光学平面检测，属于干涉仪领域。
【背景技术】
[0002]目前商用干涉仪使用的光源多数是单横模激光，它具有很强的空间相干性和时间相干性，所以在干涉成像系统里，光学元件表面的反射或散射都很容易产生杂散条纹，尤其是平行光学元件(如CCD前面的保护玻璃盖、偏振分光棱镜、被测平形平板等)表面反射会引起多表面干涉，将严重影响波前测量结果。为了抑制相干噪声，常规的做法就是在成像光路中，设置光阑或挡板，滤除一部份的杂散光；对系统里的平行光学元件镀增透膜以减小反射；在测量平行平板的反射波前时，在平板后表面涂抹凡士林等。但这些方法既不方便也并不能很好的达到滤除相干噪声的目的。
【实用新型内容】
[0003]为了克服现有技术的不足，解决好现有技术的问题，弥补现有目前市场上现有产品的不足。
[0004]本实用新型提供了一种改进照明型干涉系统，主要包括激光发射器、发射透镜、空间光调制器、第一透镜、第二透镜、第三透镜、分光镜、反射镜和准直镜，按照激光光路的方向依次设置激光发射器、发射透镜、空间光调制器、第一透镜、第二透镜、第三透镜和分光镜。
[0005]优选的，上述激光发射器和发射透镜之间设置有耦合器。
[0006]优选的，上述第二透镜和第三透镜之间设置有毛玻璃。
[0007]优选的，上述毛玻璃为旋转毛玻璃。
[0008]优选的，上述待测镜设置在分光镜后侧。
[0009]优选的，上述反射镜与准直镜的法线与激光发射器的发射方向垂直。
[0010]优选的，上述反射镜与准直镜分别设置在分光镜的两侧。
[0011]优选的，上述干涉系统还包括设置在准直镜后侧的(XD。
[0012]本实用新型提供的改进照明型干涉系统利用了激光通过毛玻璃旋转屏所产生的非朗伯体的散射光强分布原理，通过改进照明系统，实现干涉仪时间相干性的保持和空间相干性的可调，使干涉仪的相干性曲线基本符合理论计算的结果。
【附图说明】
[0013]图1为本实用新型结构示意图；
[0014]图2为本实用新型结构空间相干性实验曲线图。
[0015]附图标记:1_激光发射器；2_耦合器；3_发射透镜；4_空间光调制器；5_第一透镜；6_第二透镜；7_毛玻璃；8_第三透镜；9_分光镜；10-反射镜；11-待测镜；12-准直镜；13-CCD。
【具体实施方式】
[0016]为了便于本领域普通技术人员理解和实施本实用新型，下面结合附图及【具体实施方式】对本实用新型作进一步的详细描述。
[0017]如图1所示，本实用新型提供的改进照明型干涉系统，主要包括激光发射器1、发射透镜3、空间光调制器4、第一透镜5、第二透镜6、第三透镜8、分光镜9、反射镜10和准直镜12，按照激光光路的方向依次设置激光发射器1、发射透镜3、空间光调制器4、第一透镜5、第二透镜6、第三透镜8和分光镜9。
[0018]其中，激光发射器I和发射透镜3之间设置有親合器2。第二透镜6和第三透镜8之间设置有毛玻璃7。毛玻璃7为旋转毛玻璃。待测镜11设置在分光镜9后侧。反射镜10与准直镜12的法线与激光发射器I的发射方向垂直。反射镜10与准直镜12分别设置在分光镜9的两侧。干涉系统还包括设置在准直镜12后侧的(XD13。
[0019]本实用新型提供的改进照明型干涉系统，是基于提出一种改善照明条件的扩展光源干涉系统，为实现干涉仪时间相干性的保持和空间相干性的可调，通过深入研宄激光通过毛玻璃旋转屏所产生的非朗伯体的散射光强分布，设计了一种新型的照明系统，具体结构如图1所示。
[0020]He-Ne激光发射器I出射632.8nm的光束经扩束镜照射在空间光调制器(SLM)4上，经SLM4空间强度调制后的光束经过透镜组第一透镜5和第二透镜6，再度聚焦于一点，形成次级点光源。空间光调制器(SLM)4上的环状光强分布经透镜组第一透镜5和第二透镜6成像在旋转毛玻璃7上，被照亮部分就构成了可调的扩展光源。旋转毛玻璃7位于准直镜8的焦面上，其任意被照明点出射的光都将经准直镜8准直后进入干涉腔，再经第四透镜12成像后于(XD13像面处发生干涉。调整待被测镜11的距离，使待测镜11经分光镜9所形成的虚像位置和参考镜的距离从-4mm变化到4_，分析CCD13采集到的干涉条纹，得到相应的对比度曲线，如图2所示。可见，该系统可以通过改善照明条件来有效实现空间相干长度的良好可调。
[0021]以上所述之【具体实施方式】为本实用新型的较佳实施方式，并非以此限定本实用新型的具体实施范围，本实用新型的范围包括并不限于本【具体实施方式】，凡依照本实用新型之形状、结构所作的等效变化均在本实用新型的保护范围内。
【主权项】
1.一种改进照明型干涉系统，其特征在于:所述改进照明型干涉系统主要包括激光发射器(I)、发射透镜(3)、空间光调制器(4)、第一透镜(5)、第二透镜(6)、第三透镜(8)、分光镜(9)、反射镜(10)和准直镜(12)，按照激光光路的方向依次设置激光发射器(1)、发射透镜(3)、空间光调制器(4)、第一透镜(5)、第二透镜(6)、第三透镜⑶和分光镜(9)。
2.根据权利要求1所述的改进照明型干涉系统，其特征在于:所述激光发射器(I)和发射透镜(3)之间设置有耦合器(2)。
3.根据权利要求1所述的改进照明型干涉系统，其特征在于:所述第二透镜(6)和第三透镜(8)之间设置有毛玻璃(7)。
4.根据权利要求3所述的改进照明型干涉系统，其特征在于:所述毛玻璃(7)为旋转毛玻璃。
5.根据权利要求1所述的改进照明型干涉系统，其特征在于:所述待测镜(11)设置在分光镜(9)后侧。
6.根据权利要求1所述的改进照明型干涉系统，其特征在于:所述反射镜(10)与准直镜(12)的法线与激光发射器(I)的发射方向垂直。
7.根据权利要求6所述的改进照明型干涉系统，其特征在于:所述反射镜(10)与准直镜(12)分别设置在分光镜(9)的两侧。
8.根据权利要求1-7之一所述的改进照明型干涉系统，其特征在于:所述干涉系统还包括设置在准直镜(12)后侧的CCD(13)。
【专利摘要】本实用新型涉及一种改进照明型干涉系统，主要包括激光发射器(1)、发射透镜(3)、空间光调制器(4)、第一透镜(5)、第二透镜(6)、第三透镜(8)、分光镜(9)、反射镜(10)和准直镜(12)，按照激光光路的方向依次设置激光发射器(1)、发射透镜(3)、空间光调制器(4)、第一透镜(5)、第二透镜(6)、第三透镜(8)和分光镜(9)。本实用新型提供的改进照明型干涉系统利用了激光通过毛玻璃旋转屏所产生的非朗伯体的散射光强分布原理，通过改进照明系统，实现干涉仪时间相干性的保持和空间相干性的可调，使干涉仪的相干性曲线基本符合理论计算的结果。
【IPC分类】G02B27-00
【公开号】CN204515249
【申请号】CN201520271342
【发明人】林燕彬
【申请人】林燕彬
【公开日】2015年7月29日
【申请日】2015年4月27日