一种单面ito结构产品的生产线的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及液晶显示屏生产领域，更为具体地，涉及一种单面ITO结构产品的生产线。
【背景技术】
[0002]在高新技术快速发展的今天，电子类产品频繁的更新换代，使得此类厂家必须与时俱进才能在市场上占得一席之地。“速度，质量，成本”是每个企业都在关注的问题，在质量方面，国内厂家众多的情况下，客户对产品的精度，线距，线边等参数的要求变得更高，为此需要对相关工艺流程进行更加完美的改善方可占得先机。单面ITO结构产品是整个TP行业内结构较为简单、生产流程少的产品，但是图形结构复杂，线条密集，在正常的固烤之后部分光阻无法完全固化，导致蚀刻后出现毛刺。线边毛刺的问题会导致线条粗细不均匀，从而ITO线路阻值不均匀，造成产品功能测试出现NG的现象。同时由于线边毛刺的问题，使得良率普遍性较低，生产速率缓慢，大规模量产难度大，因此，亟需对单面ITO的生产线进行改进，从而实现单面ITO结构产品的大规模量产。
【发明内容】
[0003]为解决上述问题，本实用新型提供了一种单面ITO结构产品的生产线，通过于烘烤机内安装红外加热板解决部分光阻无法完全固化的问题，从而提高生产单面ITO结构产品的良率。
[0004]为实现上述目的，本实用新型的技术方案为:一种单面ITO结构产品的生产线，包括按传送顺序依次连接的清洗槽、涂胶室、烘烤室、曝光室、显影室、烘烤机、蚀刻室和去膜室，其特征在于:所述烘烤机包括设备本体，在设备本体内设有输送机构、加热机构、冷却机构，所述加热机构将设备本体的腔体按传送顺序依次分为预热区间、恒温区间、降温区间，所述预热区间采用2块电加热板，恒温区间采用间隔布置的6块红外线加热板和5块电加热板，降温区间采用2块电加热板，所述输送机构为位于各区间加热板之下的传送带机构，所述冷却机构为位于降温区间之后的吹冷风机。
[0005]所述设备本体腔体内壁采用真空隔热板。
[0006]所述设备本体上对应于各个区间分别设有相应的维修检测门。
[0007]所述的设备本体上安装有与各加热板连接的控制器。
[0008]本实用新型的有益效果为:由于红外加热板升温快，由内而外加热，加热面积大且温度均匀，可缩短固化时间，且节省能源，提高生产效率。因此，通过在烘烤机内安装红外加热板，可保证光刻胶的完全固化，避免蚀刻后出现毛刺的现象，从而提高产品的良品率，并可提高产品生产速率，实现大规模量产，同时由于红外线加热板的价格更贵，通过采用红外线加热板和电加热板间隔布置的方式，也可适当控制成本。
【附图说明】
[0009]图1为单面ITO结构产品生产线的流程示意图。
[0010]图2为烘烤机各区间的简化示意图。
[0011]图3为烘烤机恒温区间的结构示意图。
[0012]图中，1-清洗槽、2-涂胶室、3-烘烤室、4-曝光室、5-显影室、6_烘烤机、7_蚀刻室、8-去膜室、61-预热区间、62-恒温区间、63-降温区间、64-传送带、621-电加热板，622-红外线加热板。
【具体实施方式】
[0013]如图1所示，一种单面ITO结构产品的生产线，其包括按传送顺序依次连接的清洗槽1、涂胶室2、烘烤室3、曝光室4、显影室5、烘烤机6、蚀刻室7和去膜室8，如图2、图3所示，所述烘烤机包括控制器与设备本体，设备本体内设有输送机构、加热机构、冷却机构，所述设备本体腔体内分为三个区间，分别为预热区间61、恒温区间62、降温区间63，产品通过输送机构首先进入预热区间，再到恒温区间、通过降温区间最后经过冷却机构从烘烤机出口出来，各区间安装有若干块热板，预热区间采用2块电加热板，温度逐一上升，降温区间采用2块电加热板，温度逐一下降，恒温区间采用电加热板621与红外线加热板622，两者相互间隔安装，包括5块电加热板与6块红外线加热板。相互间隔的安装方式可保持温度的稳定性，使产品充分受热，达到完全固化的效果，通过采用红外线加热板从而缩短对产品的固化时间，提高产品良率与生产效率。所述输送机构为传送带输送机构，传送带64位于热板之下，ITO玻璃位于传送带64与热板之间。所述控制器可控制设备本体的温度、速度，调节热板与传送带之间的距离。所述设备本体腔体内侧壁采用真空隔热板，防止热流外泄。所述设备本体设置有若干个维修检测门。所述冷却机构为吹冷风机，安装在烘烤机出口处。
[0014]由于烘烤机主要是为了让ITO玻璃的表面进行完全固化，而单面ITO的图形的复杂性使得在前段的烘烤过程中很难将表面光刻胶完全固化从而导致在蚀刻后线条边缘会产生毛刺状不良，需要对玻璃表面光刻胶进行完全的固化，可以通过提高对光刻胶的烘烤温度和时间来进行改善，但是现有的烘烤机内15块热板均为电加热板，其中会有至少4块处于升温和降温的作用，真正起到恒温烘烤作用的有11块热板，在此11块热板下需要对玻璃烘烤数分钟之久，就得将烘烤机热板温度升高，速度大幅降低，这样将会严重影响生产线的生产产能，使烘烤机成为生产短板，因此，本实用新型在原来的固化烘烤的基础上对烘烤机进行改装，采用电加热板与红外加热板相互间隔加热烘烤的方式对产品进行后固化，以获得提尚广品良品率和生广速率的效果。
【主权项】
1.一种单面ITO结构产品的生产线，包括按传送顺序依次连接的清洗槽、涂胶室、烘烤室、曝光室、显影室、烘烤机、蚀刻室和去膜室，其特征在于:所述烘烤机包括设备本体，在设备本体内设有输送机构、加热机构、冷却机构，所述加热机构将设备本体的腔体按传送顺序依次分为预热区间、恒温区间、降温区间，所述预热区间采用2块电加热板，恒温区间采用间隔布置的6块红外线加热板和5块电加热板，降温区间采用2块电加热板，所述输送机构为位于各区间加热板之下的传送带机构，所述冷却机构为位于降温区间之后的吹冷风机。
2.根据权利要求1所述的单面ITO结构产品的生产线，其特征在于:所述的设备本体腔体内壁采用真空隔热板。
3.根据权利要求1所述的单面ITO结构产品的生产线，其特征在于:所述的设备本体上对应于各个区间分别设有相应的维修检测门。
4.根据权利要求1所述的单面ITO结构产品的生产线，其特征在于:所述的设备本体上安装有与各加热板连接的控制器。
【专利摘要】本实用新型公开了一种单面ITO结构产品的生产线，包括按传送顺序依次连接的清洗槽、涂胶室、烘烤室、曝光室、显影室、烘烤机、蚀刻室和去膜室，其特征在于：所述烘烤机包括设备本体，在设备本体内设有输送机构、加热机构、冷却机构，所述加热机构将设备本体的腔体按传送顺序依次分为预热区间、恒温区间、降温区间，其中恒温区间采用间隔布置的6块红外线加热板和5块电加热板，所述输送机构为位于各区间加热板之下的传送带机构，所述冷却机构为位于降温区间之后的吹冷风机。本实用新型通过在烘烤机内安装红外加热板，可保证光刻胶的完全固化，避免蚀刻后出现毛刺的现象，从而提高产品的良品率，并可提高产品生产速率，以便实现大规模量产。
【IPC分类】G03F7-16, G02F1-13
【公开号】CN204536687
【申请号】CN201520128816
【发明人】刘敬超, 赵永刚, 高建
【申请人】河源市力友显示技术有限公司
【公开日】2015年8月5日
【申请日】2015年3月6日