高密度积层板制程中一种酸性蚀刻机显影段喷淋装置的制造方法
【技术领域】
[0001] 本实用新型涉及酸性蚀刻机显影段喷淋系统改造，尤其是高密度积层板制程中一 种酸性蚀刻机显影段喷淋装置。
【背景技术】
[0002] 在工艺流程"前处理一覆干膜一曝光一显影一蚀刻一去膜"中，其中"曝光一显影" 是干膜发生聚合反应后并形成线路的过程，"曝光"工艺流程是通过曝光灯管的平行光照射 在底片上，对需要形成线路的部分进行照射使干膜发生聚合反应，再通过"显影"工艺流程 中显影液与干膜相互作用，溶解未发生聚合反应的干膜部分，使干膜在进入"蚀刻"工艺流 程前完成对需要形成线路部分铜面的保护作用。
[0003] "显影"工艺流程中的主要影响参数为：喷淋压力、显影液浓度和温度。在三者满足 工艺设定的前提下加工出适合"蚀刻"工艺流程需求的线路保护层。其中"喷淋压力"对于 干膜边缘的粗糙度和显影后干膜的尺寸起着至关重要的作用，同时也影响蚀刻后形成线路 的尺寸。"喷淋压力"与设备喷盘距离传送X轴中心的距离和喷嘴的设计有关。喷嘴的设计 包含喷嘴角度和开口尺寸。锥形喷嘴与喷盘连接处为密闭十字设计且不能拆卸，对于保养 难度很大，且容易堵塞，堵塞后喷淋压力降低影响显影后形成的线路间距。 【实用新型内容】
[0004] 针对上述存在的问题，本实用新型的目的是提供一种提高显影上下面一致性的酸 性蚀刻机显影段喷淋装置。
[0005] 本实用新型的技术方案是：高密度积层板制程中一种酸性蚀刻机显影段喷淋装 置，包括槽体1、连接装置2、上喷淋装置3、传送带4、下喷淋装置5、喷盘6,所述传送带4 与槽体1连接，所述喷盘6以传送带4为轴通过连接装置2与槽体1对称连接，所述上喷淋 装置3和下喷淋装置5与喷盘6连接，所述上喷淋装置3和下喷淋装置5均采用扇形喷嘴。
[0006] 所述上喷淋装置3与下喷淋装置5之间的距离在25-27cm之间。
[0007] 与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
[0008] (1)本实用新型采用扇形喷嘴，提高上下喷淋面形成线路后线宽和间距一致性。
[0009] (2)本实用新型的扇形喷嘴较锥形喷嘴更容易保养和维护，方便员工操作。
[0010] (3)本实用新型的扇形喷嘴较锥形喷嘴不容易堵塞，降低设备维修率。
【附图说明】
[0011] 图1为本实用新型的示意图。
[0012] 图2为扇形喷嘴示意图。
[0013] 图3为锥形喷嘴示意图。
[0014] 图4为改造前上喷淋效果示意图。
[0015] 图5为改造后上喷淋效果示意图。
[0016] 图6为改造前下喷淋效果示意图。
[0017] 图7为改造后下喷淋效果示意图。
[0018] 图中：1-槽体，2-连接装置，3-上喷淋装置，4-传送带，5-下喷淋装置，6-喷盘。
【具体实施方式】
[0019] 下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步的说明。
[0020] 如图所示，高密度积层板制程中一种酸性蚀刻机显影段喷淋装置，包括槽体1、连 接装置2、上喷淋装置3、传送带4、下喷淋装置5、喷盘6,传送带4与槽体1连接，喷盘6以 传送带4为轴通过连接装置2与槽体1对称连接，上喷淋装置3和下喷淋装置5与喷盘6 连接，上喷淋装置3与下喷淋装置5之间的距离在25-27cm之间，上喷淋装置3和下喷淋装 置5均采用扇形喷嘴。
[0021] 使用时，待处理物件通过传送带4匀速移动，通过上喷淋装置3和下喷淋装置5对 其进行喷淋。原显影段喷淋系统中喷嘴的设计方式为上喷淋为扇形喷嘴，下喷淋为锥形喷 嘴，实际加工产品中带来了问题，下喷淋面所形成的线路较上喷淋面所形成的线路间距小， 导致在加工中两面存在差异，蚀刻后易出现上板面线细，下板面毛边大甚至欠腐等缺陷问 题。通过显影后线宽间距测量和显影点测试，较之前的喷淋设计有一定的改善，显影上下面 一致性更好（见表1)。
[0022] 表1改造前后喷淋设计显影点测试结果。
[0023]表 1
[0024]
【主权项】
1. 高密度积层板制程中一种酸性蚀刻机显影段喷淋装置，其特征在于，包括槽体（1)、 连接装置（2)、上喷淋装置（3)、传送带（4)、下喷淋装置（5)、喷盘（6)，所述传送带（4)与 槽体（1)连接，所述喷盘（6)以传送带（4)为轴通过连接装置（2)与槽体（1)对称连接，所 述上喷淋装置（3)和下喷淋装置（5)与喷盘（6)连接，所述上喷淋装置（3)和下喷淋装置 (5)均采用扇形喷嘴。2. 根据权利要求1所述的高密度积层板制程中一种酸性蚀刻机显影段喷淋装置，其特 征在于，所述上喷淋装置（3)与下喷淋装置（5)之间的距离在25-27cm之间。
【专利摘要】本实用新型公开了高密度积层板制程中一种酸性蚀刻机显影段喷淋装置，包括槽体(1)、连接装置(2)、上喷淋装置(3)、传送带(4)、下喷淋装置(5)、喷盘(6)，所述传送带(4)与槽体(1)连接，所述喷盘(6)以传送带(4)为轴通过连接装置(2)与槽体(1)对称连接，所述上喷淋装置(3)和下喷淋装置(5)与喷盘(6)连接，所述上喷淋装置(3)和下喷淋装置(5)均采用扇形喷嘴，所述上喷淋装置(3)与下喷淋装置(5)之间的距离在25-27cm之间。本实用新型能够提高上下喷淋面形成线路后线宽和间距一致性，采用扇形喷嘴更容易保养和维护，方便员工操作。
【IPC分类】G03F7/30
【公开号】CN205067963
【申请号】CN201520748646
【发明人】刘斌
【申请人】天津普林电路股份有限公司
【公开日】2016年3月2日
【申请日】2015年9月23日