专利名称：平面显示屏的排气装置及其工艺的制作方法
技术领域：
本发明平面显示屏的排气装置，特别是在于上板下板构成的盘(板)之间存在不纯气体的排气；盘间的间隔扩大，设定盘的外部压力与盘的内部压力不同，大大地确保了气体的电导排气，盘内部的不纯气体可容易地排气，有关平板显示屏用的气体排气装置及其方法如下一般来说，显示装置是为人类与电子装置信息交换的重要的接口，随着信息化社会的发展，可接触人类信息量的不断扩大，要求利用它信息化机器的多样化，有关这样地信息化机器的显示装置的特性，就显得尤为重要。
因此，比现存的CRT(OATHOBA-RAYTUBE)，薄型化成为可能，且轻、画面优、多种附加功能、可行的环保型PDP、LCD、FED、有机EL等对于平板排出的研究，不断地深入，它是迄今为止，作为能代表显示装置主流CRT的下世纪的排出装置登上舞台。
如前所述，平板排出是由层叠组成的各机构膜的上板和下板，双方互相对前接合的，在它们之间具有一定间隔，在制造工艺中，必须经过除去存在于内部的不纯气体的阶段。
例如等离子体显示屏(以下称PDP)的制造工艺大致区别为前工艺和后工气，前工艺为在上部玻璃和下部玻璃备有所定的电极及电介质膜、隔壁等工艺；后工艺为完成前工艺的上部玻璃与下部玻璃使之附着、排出及使之注入所定的气体，形成一张盘(板)。
图1是普通PDP的上部玻璃和下部玻璃前工艺过程的说明。
图1所示，上部玻璃10，一面组成了透明电极11及脉冲电极12，在该透明电极11及脉冲电极12上面，限制放电时放电电流，以均等的厚度形成容易生成壁电荷的介子层13，在该介子层13上在，由发电时生成的阴极真空喷镀，形成了保护前述的透明电极11和脉冲电极12以及介子层13那样地氧化镁(MGO)保护膜14。
另外，图1所示，下部玻璃20如前述形成在上部玻璃10的透明电极11及脉冲电极12，隔有所定距离，正交地形成接地电极21，如前述，在上部玻璃10和下部玻璃之前，如前述用复数的放电格栅分离接地电极21，防止格栅间混色，可确保放电空间那样，排列形成隔壁22，在前述的接地电极21上，喷涂形成荧光体23。
即如图所示的那样，上部玻璃10和下部玻璃20各自形成，所以等离子体显示屏的前工艺完成。
接着参照图2说明PDP的后工艺。
首先，在后工艺中，在如图1所示的下部玻璃20的上部边缘部喷涂所定的玻璃料30，附着在如图1那样上部玻璃10上。
这时，由形成在下部玻璃20上的隔壁，形成了所定的格栅(也可说放电格栅)，下部玻璃20与上部玻璃10的距离H1约为120-140μm，下部玻璃20的荧光体23与上部玻璃10的距离约为100μm左右。
另一方面，上部玻璃10和下部玻璃20的附着工艺如果完了的话，介于连结在排气孔31的末端管32，存于形成在隔壁22间的放电格栅33的不纯气体成份要排气，以后介于排气孔31，要给真空状态的放电格栅31，注入所定的放电气体。然后，通过密封处理为气体的排气及注入的排气孔31，后工艺就已完了。
在这里，前述的气体排气工艺要设定真空状态，要把形成在隔壁22之间的放电格栅33的不纯气体排出，通过放电格栅33的排气线路，如图3所示那样形成。
但是，按照图2所示，上部玻璃10与下部玻璃20之间的距离H2约为100μm，由于是非常微细的空间，所以通过象图3那样形成的排气线路的不纯气体，其排气处理引起延长其工艺时间的问题。
另外，需要过程，大气压的热水循环型的炉内，假如用炉做的话，温度的上升与冷却都需长时间，尤其是通过盘(板)内部固有的非常低的电导排气，不纯气体的排气需要很长时间，使生产率低下，能源消耗多这一问题。
因此，上述问题不限于PDP，处理由上板和下板构成的盘内部的不纯气体的平板显示屏也是共通的问题。
上述问题引起了包括PDP在内的平板显示屏的生产时间使之延长，生产竞争力低下这样的问题。
另外，前述的排气工艺，介于细微的空间，进行不纯气体的排气处理，将会产生不能正确处理不纯气体的排气的场合，这是作为使平板显示屏的图象质量劣化的原因，问题的关键所在。
因此，本发明是考虑了上述的情况后创造出的，其目的是设定平板显示屏的外部压力与内部压力的不同，盘的排气空间，即电导排气，通过压力差，在极大地确保的状态下，通过进行排气工艺，缩短了不纯气体垢排气时间，同时，提高了不纯气体的排气效率，下面提供平板显示屏用的气体排气装置及其方法。
为达到前述的目的，本发明的第一观点即平板显示屏用的气体排气方法，为除去平板显示屏内部的不纯气体，进行排气工艺的平板显示屏用的排气装置，利用本装置的排气方法是设定位于该容器(腔)内部的平板显示屏内部压力，要比容器内部的压力高，在此状态下，进行平板显示屏内部的不纯气体的排气工艺是其特点。
此时，前述的平板显示屏用的气体排气方法，是把所定的气体注入位于容器内部的平板排出内部，要高设定平板显示屏内部的压力，返复进行不纯气体的排气工艺是其特点。
另外，如前所述，平板显示屏用的排气方法是把所定的气体注入到位于容器内部的平板显示屏内部，把盘内的压力设定一定水平高于容器内部的压力，在此状态下，以一定的速度，持续地把所定气体注入到平板显示屏内部，以一定的速度使盘内部的不纯气体排气，容器内部的压力与盘内部的压力差，要做到保持一事实上时间之内、一定水平，进行排气工艺，是其特点。
另外，基于为完成前述的目的本发明的第二观点即平板显示屏用的气体排气装置，备有为进行排气工艺的平板显示屏安抵的支承架，同时，在一侧面还备有与第一贯通孔及前述的平板显示屏的末端管相连结的第二贯通孔而构成的容器；如前述连结容器的第一贯通孔，通过气体的注入及气体排气，调节容器内部的压力作为第一压力调节手段；前述的连结容器的第二贯通孔，通过气体的注入及气体排气，调节平板显示屏内部压力的第二压力调节手段；以及通过前述的第一及第二压力调节手段，平板显示屏内部的压力设定的要比容器内部的压力高，在此状态下，控制平板显示屏内部的不纯气体的排气动作的控制手段在内而构成，是其特点。
此时，前述的平板显示屏用的气体排气装置，为设定容器内部所定的排气温度，备有红外线卤素加热装置而构成，是其一大特点。
另外，基于本发明的第三观点的平板显示屏用的排气装置，在下部玻璃组成了第一及第二排气孔的平板显示屏，同时还备有为进行排气工艺的平板显示屏为其安抵的支承架，在一侧第一贯通孔及前述的平板显示屏的第一及第二排气孔，与第一及第二末端管相连结的第二及第三贯通孔而构成的容器；如前述，连结容器的第一贯通孔，通过气体排气动作，调节容器内部的压力为第一压力调节手段；如前述连结容器的第二贯通孔，通过气体排气动作，调节平板显示屏内部的压力为第二压力调节手段；如前述连结容器的第三贯通孔，通过气体的注入动作，调节平板显示屏内部的压力，作为第三压力调节手段；以及前述的通过第一乃至第三压力调节手段，把平板显示屏内部压力的设定高于容器内部的压力，在此状态下，控制进行平板显示屏内部不纯气体的排气动作，包括此控制手段在内所构成本排气装置，是其特点。
即根据本发明，平板显示屏内部的压力设定，要高于容器内部的压力，在大大地确保平板显示屏的电导排气的状态下，使之进行不纯气体的排气工艺，此工艺的排气时间比原来的排气时间缩短，不言而喻，排气工艺之后，残存在内部的不纯气体的概率使之减少，我们就可得到光学性及电性特性良好的平板显示屏。
以下，根据附上的绘图说明本发明的实施例。以下在本发明的平板显示屏之内，就PDP的场合记载了，本发明的平板显示屏用的气体排气装置及其方法没有记载，但是，由上板和下板构成的平板显示屏，例如LCD、FED、有机EL等可适用并可实施。
图4是表示本发明的第一实施例的平板显示屏，特别是用于PDP的气体排气装置的构成示意图。
按图4所示，系本发明的气体排气装置备有为安抵气体排气工艺阶段PDP50的支承架101，用真空气发热时，不纯气体不放出，从盘内部的构造物材料散发放也不纯物所要求的所定热，为此在其内部备有红外线(IR)卤素加热器102而构成，同时，包括在一面形成第一及第二贯通孔103、104所构成容器100；该容器100的第一贯通孔103与以整体相连结的第一管105相连结，为调节容器100内部的压力的第一调节手段110；介于容器100的第二贯通孔104，与等离子体显示屏50末端管(图2的33)相连结，为调节等离子体显示屏50内部的压力的第二压力调节手段120而构成。
在这里，前述的红外线卤素加热器102如图4所示的那样，在盘50安抵了上部，排列形成多个1021-102K而构成，该红外红卤素加热器102根据附加设定电源部的电压水平，调节发热温度而构成。
另外，按图4所示的那样，本发明系气体排气装置，操纵前述第一压力调节手段110和第二压力调节手段，使容器100和盘50内部排气，同时，控制进行所定的气体注入动作，通过容器100和盘50内部之间的压力差，极大地确保盘内部的排气空间，即电导排气，含这种控制的控制装置130而构成。
此时，前述的控制装置130由以下构成，为保存所定信息，例如根据运用者所设定的容器及盘内部的基准压力和排气压力比率信息的所定存储器，含为显示容器内部及盘内部的压力所定的显示手段。根据运用者所定的基准压力信息，就可以通过第一及第二压力调节手段110、120，控制气体排气及气体注入动作。
图5是把图4所示的压力调节手段110、120的内部构成，机能性地分开表示的机能部件图。
按图5所示的那样，第一及第二压力调节手段110、120，按照适应气体排气动作所定的控制信号，执行开/关的第一阀门111；与这个第一阀门111相连结，通过第一或第二贯通孔103、104进行气体排气动作，按照适应为此目的排气泵112、气体注入动作所定的控制信号，执行开/关的第二阀门113；与这个第二阀门113相连结，通过第一或第二贯通孔103、104，进行气体注入动作，通过为此目的气缸，以及第一或第二贯通孔103、104就是本装置，即含为测定容器100或盘50内部压力的压力测定器115，而构成。
此时，在前述的气缸14储存所定的洗净气体，例如He，Ar，Ne，Xe，N2等惰性气体。
继续说明前述的构成装置的动作。
首先，前工艺处理完了，把在上部玻璃51和下部玻璃52之间，形成了所定的玻料玻璃51和下部玻璃52之间，形成了所定的玻料玻璃的盘50，使其位于容器100内部的支承架101的状态下，操纵备在容器100内部的红外线卤素加热器，使容器100内部的温度达到盘50附着所要求的温度，例如约300-400℃左右。即将容器100的内部处于真空状态后，设定前述的要求附着的温度，短时间使上部玻璃51和下部玻璃52附着。
然后，操纵红外红卤素加热器102，将容器100的内部温度冷却到所定的排气温度。
接着，在容器100内部温度冷却到排气温度的状态下，控制装置130操纵第一及第二压力调节手段110、120，进行所定的排气动作。
即控制手段130通过第一压力调节手段，使容器110内部的压力，维持在初期设定的真空的压力，同时，通过第二压力调节手段120，在盘50的内部注入洗净气体，如He，Ar，Ne，Xe，N2这样的惰性气体。
此时，控制手段130控制第二压力调节手段120的气缸114及第二阀门113，就可注入气体，但是在往盘内部注入气体时，要控制用比容器100内部压力高的压力，注入所定的洗净气体。
接着，洗净气体注入时，通过设定盘内部压力要比容器100的压力高，按照图4虚线所示，盘50-1其本身膨胀到所定水平。即比盘50其本身的排气空间(KM单位)，形成了更大的排气空间(MM)单位。
按照图4虚线表示的那样，在极大地确保盘50-1的排气空间的状态下，控制装置130根据运用者事先设定的压力变化比率信息，通过第一压力调节手段110和第二压力调节手段120，进行气体排气动作。
这时，通过第一及第二压力调节手段110、120的气体排气动作如图6所示，操纵第一及第二压力调节手段110、120的第一阀门111及排气泵112，容器100和盘50内部的气体排气；周期性地控制第二压力调节手段120的第二阀门113及气缸114，用高压力注入所定的洗净气体，使容器100和盘50的内部间，设定所定水平的压力差(AP)后，操纵第二压力调节手段120进行排气动作。即最大地确保盘排气空间的状态下，实施进行排气动作。
另外，如图7所示，如前所述的排气动作，通过第一及第二压力调节手段110、120，容器100和盘50的内部间的压力差为一定水平设定之后，维持所定时间内的其状态后，通过第二压力调节手段120，可实施不纯气体的排气。即如图4虚线所示的那样，设定盘50-1所导排气大的状态下，一定时间之内，维持容器100和盘50的内部间的压力差状态，把盘50的隔壁间的不纯气体，诱导到盘50宽扩的排气领域后，通过第二压力调节手段120，就可进行不纯气体的排气动作。
另一方面，控制装置130进行前述的排气动作的同时，要周期性地确认第二压力调节手段120压力测定器115，所定水平，假如10-5-10-7TORR的场合，结束通过第一压力调节手段的排气动作，通过控制第一压力调节手段110的第二阀门113及气缸116，给容器110注入所定气体，把容器100设定为大气压状态。
接着，容器100的内部压力在大气压的状态下，控制装置130一边继续进行通过第二压力调节手段120的排气动作，一边调节设计在容器100内部的红外线卤素加热器，将容器100的内部设定为常温。
之后，控制装置130控制第二压力调节手段120的第二阀门113及气缸114，注入盘50的内部放电所要求的所定的放电气体，例如Xe，Ar，Ne，He等混合气体，通过封止末端管33，完成了气体的排气及注入工艺。
另一方面，前述的平板排出气体排气装置及其方法，如图8及图9所示那样，可适用于批量生产方式，可以实施。
即如图8所示的那样，备齐放置多个象图4那样的容器210(210/210)，与多数的容器210各节一贯通孔相连结的第一压力调节手段220；与多的容器210的各第二贯通孔相连结的第二压力调节手段230；通过第一及第二压力调节手段220、230，控制进行如图6及图7那样的排气动作的控制手段200，备有以上这些而构成。即通过备有平板显示屏多数容器，可容易地进行批量的平板显示屏的不纯气体的排气工艺。
另外，如图9所示那样，在一个容器310，事先备有多数个平板显示屏50；与容器310的第一贯通孔相连结的第一压力调节手段320和为调节平板显示屏50内部压力的第二压力调节手段330；与多数的平板显示屏50的第一贯通孔及前述的第二压力调节手段330相连结，把第二压力调节手段330附加的气体，一同注入到盘50，同时，根据由第二压力调节手段330的控制，通过多数的盘50内部不纯气体排气的岐管340，前述的第一及第二压力调节手段320、330，同图6及图7一样，控制进行排气动作的控制装置300，由这些可以构成。即在一个容器上可设置多数的平板显示屏，能容易地进行批量平板显示屏不纯气体的排气工艺。
另一方面，图10是伴随本发明的第二实施例的平板的显示屏的气体排气装置的构成示意图1，对于同图4表示的装置同一部分，附有一样的参照号码，其详细说明省略。
即按图11所示的那样，本发明系平板的显示屏用的气体排气装置，在下部玻璃形成第二排气孔610，进而构成盘600，与位于支承架101的盘600的第二排气孔610相连结，为使其所定管在外部贯通的第三贯通孔510构成的容器500，通过前述的容器500的第三贯通孔与盘的第二排气孔610相连接，同时，介于所定管522与容器500的第一贯通孔103相连结，用所定压力水平，给前述的容器500及盘600的内部，进行气体注入动作，为第三压力调节手段520，通过它以及前述的第一乃至第三压力调节手段110、120、520，调节容器500及盘600的压力，含为此调节的控制装置530而构成。
在这里，前述的第一乃至第三压力调节手段110、120、520的内部构成如图11所示。
即第一及第二压力调节手段110、120，由第一及第二贯通孔103、104相连结，为进行所定的气体排气动作的第一阀门111以及排气泵112，容器500或盘600的压力，含为测定这些压力的压力测定器115，由以上而构成。
然后，第三压力调节手段520由保存所定洗净气体的气缸523；容器500的第三贯通孔510相连结，根据适应往盘600的气体注入动作所定的控制信号执行开关的第二阀门524；以及与容器500的第一贯通孔103相连结，根据适应容器500内部的气体注入动作所定的控制信号执行开关的第三阀门525由这些而构成。
另一方面，在图10前述的控制装置530，象图6及图7表示的曲线，进行盘600的不纯气体的排气动作。
即控制装置530象图6表示的那样，控制第一压力调节手段110的第一阀门111，一边维持容器500的内部压力在一定水平，一边返复控制通过第二压力调节手段120的盘内部的不纯气体排气动作。并且一边返复控制，通过第三压力调节手段130的第二阀门524往盘600内部的气体注入动作。这时，如前述的控制装置530通过第三压力调节手段130，控制往盘600内部的气体注入，盘600的内部压力要高于容器500内部压力的一定水平(AP)那样地控制注入气体。
另外，控制装置530如图7所示的那样，控制第一压力调节手段110的第一阀门111，一边把容器500的内部压力维持在初期设定的压力，一边操纵第三压力调节手段520的第二阀门524，注入盘600内的所定洗净气体，要控制盘600内部压力，要比容器500的内部压力高出一定水平之后，控制第三压力调节手段520的第二阀门524，要维持盘600内部洗净气体在一定的压力水平的注入，但同时，要维持一定的压力水平，进行排气动作，使容器500的内部和盘600的内部的一定水平差(AP)，维持在一定时间，进行排气动作，经过一定时间后，控制第三压力调节手段520，使其终止洗净气体的注入，操纵第2压力调节手段120，可以进行盘内部的气体排气动作。
即同时进行往盘600的内部的气体注入与排气维持容器500的内部和盘600内部的压力差之后，通过返复进行一定时间盘600内部的不纯气体的排气过程，就可以进行盘内部的气体排气动作。
另一方面，前述的如图10表示的显示屏用的气体排气装置，从图12所表示的方式可进行排气工艺。
即按照图10的虚线所示的那样，盘600内部的压力设定要比容器500的内部压力高，在此状态下，控制装置530通过第二压力调节手段120，要控制盘600-1内部的不纯气体，在所定压力水平连续排气的同时，通过第三压力调节手段520，控制在所定压力水平把所定的洗净气体，连续地注入到盘600-1的不纯气体的排气压力水平和洗净气体注入的压力水平，要同一设定，不断地维持容器500和盘600-1间的初期压力差，就能实施连续性的不纯气体的排气动作。
另外，伴随着前述的第二实施例的平板显示屏用的排气装置，可以实旋施，适应于象图8以及图9所表示的那样的大型化方式。
即若根据本发明，作为热源使用红外线卤素加热器，设定容器内部的压力为真空状态，维堑低于平板显示屏内部压力一定水平，盘的电导排气就大，在此状态下，存在于盘内部的不纯气体就进行排气。
按照以上所述，依靠本发明，平板显示屏的内部压力的设定高于容器内部压力，在大大地确保平板显示屏的电导排气的状态下，使之进行不纯气体的排气工艺，比原来的排气时间缩短了排气时间，不言而喻，排气工艺后，残存在内部的不纯气体的概率使之减少，可得到光学理及电恒理良好的平板显示屏。
另一方面，本发明不限于前述的实施例，在不跳出本发明的技术性思想范围内，可以进行多种多样地变形实施。
图面的简单说明图1是说明等离子显示屏的前工艺过程图。
图2是等离子显示屏的后工艺过程说明图。
图3是等离子显示屏的气体工艺时的气体排气线路图。
图4是本发明第一实施例平板显示屏用的气体排气装置的构成图。
图5是图4所出的第一及和二压力调节手段110、120的内部构成的机能部件图。
图6和图7是利用本发明气体排气装置的气体排气方法说明图。
图8和图9是本发明的第一实施例，平板排气盘用气体排气装置，适用批量生产方式的例证概略性的示意图。
图10是本发明的第二实施例，平板显示屏用气体排气装置的构成概略性的示意图。
图11是图10所示的第一乃至第三压力调节手段110、120、520的内部构成，机能方面的机能部件图。图12是利用图10所示的装置，气体排气方法说明图。符号的说明50等离子显示屏51 上部玻璃52 下部玻璃53 玻料玻璃100 容器101 支承架102 加热器103、104 贯通孔105 第一管110 第一压力调节手段120 第二压力调节手段130 控制装置
权利要求
1.一种用于排出平面显示屏内不纯气体的排气装置的排气工艺，其特征在于设定置于容器内的平面显示屏内的压力，高于容器内部的压力。
2.根据权利要求1所述的排气工艺，其特征于把所述的容器内部的压力，设定为初期压力水平的状态下，用高于平面显示屏内部的压力注入所定的惰性气体，平面显示屏内部压力的设定，要高于容器内部压力。
3.根据权利要求1所述的排气工艺，其特征在于排气时，注入盘内部所定气体，提高盘内部压力的过程和盘内部的不纯气体的排气过程要反复地进行。
4.根据权利要求1所述的排气工艺，其特征在于所述的平面显示屏内部压力，比容器内部压力高的压力维持在一定水平，一定时间之后，进行前述的不纯气体的排气动作。
5.根据权利要求1所述的排气工艺，其特征在于固定持续地维持容器平板排出盘内部的压力差，使不纯气体连续地排气。
6.根据权利要求1所述的排气工艺，其特征在于在设定了的盘内部的压力，高于容器压力的状态下，以第1压力比例注入盘内部所定气体的同时，盘内部的气体就以第一压力比排气。
7.根据权利要求1所述的排气工艺，其特征在于平面显示屏采用等离子体显示屏。
8.根据权利要求1所述的排气工艺，其特征在于平面显示屏采用液晶显示装置。
9.根据权利要求1所述的排气工艺，其特征在于平面显示屏采用FED。
10.根据权利要求1所述的排气工艺，其特征在于平面显示屏采用机电场发光装置(有机EL)。
11.一种用于排出平面显示屏内的不纯气体的排气装置，其特征在于备有为进行排气工艺的平板排出盘及安抵的支撑架，同时备有在一侧与第一贯通孔及前述平板排出盘的末端管连结在一起的第二贯通孔，所构成的容器；前述被连结在容器的第一贯通孔，调节通过注入气体及气体排气的容器内部压力，为第一压力调节器；如前述，被连接容器的第二贯通孔，通过注入气体及气体排气，调节平面显示屏内部压力，为第二压力调节器；如前述，通过第一及第二压力调节器，在设定了平面显示屏内部的压力，高于容器内部压力的状态下，包括控制(进行)平面显示屏内部不纯气体排气动作的控制器在内所构成。
12.根据权利要求11所述的排气装置，其特征在于控制器如前所述在于进行排气动作，控制第二压力调节器，注入平面显示屏内部所定气体的过程和平面显示屏内部的不纯气体的排气过程，返复进行控制。
13.根据权利要求11所述的排气装置，其特征在于注入到平板排出盘内部的气体，是惰性气体，以此为特点的如[申请项目12]所记载的平板排出盘所用气体排气装置。
14.根据权利要求11所述的排气装置，其特征在于在容器内部，作为排气热源，备有红外线卤素加热装置为特点的，如[申请项目11]所记载平板排出盘所用的气体排气装置。
15.根据权利要求11所述的排气装置，其特征在于第一及第二压力调节手段，要适应前述附加控制手段所定的控制信号，为气体排气的排气泵；与该排气泵相连接，适应前述附加控制手段的控制信号，能开/关的第一阀门；适应前述附加控制手段所定控制信号，为注入气体的气缸；与该气缸相连结，适应前述的附加控制手段的控制信号，能开/关的第二阀门；和备有为测定所定压力的压力测定器所构成。如前所述，第一阀门和第二阀门以及压力测定器，与前述的容器的第一或第二贯通孔相连结，以此为特点，如[申请项目11]所记载的平板排出盘所用气体排气装置。
16.根据权利要求11所述的排气装置，其特征在于多个备有平板排出盘可安抵了的容器。如前述，第一压力调节手段与多数容器的各第一贯通孔相连结。如前述，第二压力调节手段介于多数容器的各第二贯通孔，与平板排出盘相连结所构成，以此为特点，如[申请项目11]所记载的平板排出盘所用的气体排气装置。
17.根据权利要求11所述的排气装置，其特征在于在容器内部备有多个平板排出盘。如前述，第一压力调节手段与容器的第一贯通孔相连结。如前述，第二压力调节手段介于容器的第二贯通孔与多个平板排出盘一对一地相对应连结构成，以此为特点的如[申请项目11]所记载的平板排出盘所用的气体排气装置。
18.根据权利要求11所述的排气装置，其特征在于平板排出盘是等离子体排出盘(PDP)为特点的，如[申请项目11]所记载的平板排出盘所用的气体排气装置。
19.根据权利要求11所述的排气装置，其特征在于平板排出盘是以液晶排出(LO)装置为特点的，如[申请项目11]所记平板排出盘所用的气体排气装置。
20.根据权利要求11所述的排气装置，其特征在于平板排出盘是以电场放出成份(FED)为特点的，如[申请项目11]所记平板排出盘所用的气体排气装置。
21.根据权利要求11所述的排气装置，其特征在于平板排出盘是以有机电场发光装置(有机EL)为特点的，如[申请项目11]所记平板排出盘所用的气体排气装置。
22.根据权利要求11所述的排气装置，其特征在于在下部玻璃上，组成第一及第二排气孔。备有为进行排气工艺的，为安抵平板排出盘的支承架；同时，有在一侧第一贯通孔及前述的平板排出盘的第一及第二排气孔与第一及第二末端管相连结的第二及第三贯通孔所构成的容器。如前述，连结容器的第一贯通孔，通过气体排气动作，调节容器内部的压力，作为第一压力调节手段。如前述，连结容器的第二贯通孔，通过气体排气动作，调节平板排出盘内部的压力，作为第二压力调节手段。如前述，连结第三贯通孔，通过注入气体动作，调节平板排出盘内部压力，作为第三压力调节手段。如前述，通过第一乃至第三压力调节手段，设定平板排出盘内部压力，高于容器内部压力的状态下，控制平板排出盘内部的不纯气体的排气动作，作为控制手段而构成，以此为特点的平板排出盘所用的气体排气装置。
23.根据权利要求11所述的排气装置，其特征在于通过第三压力调节手段，注入到平板排出盘的气体是惰性气体为特点的，如[申请项目22]所记的平板排出盘所用的气体排气装置。
24.根据权利要求11所述的排气装置，其特征在于前述控制手段，控制出了容器与盘内部的压力水平差之后，通过所定时间第三压力调节手段，不断控制注入盘内部气体第一压力比例，通过第二压力调节手段，盘内部的气体用第一压力比例排气，这样控制之后，通过所定时间第三压力调节手段，控制中止往盘内部的空气注入动作，反复进行，构成以此为特点的[申请项22]所记平板排出盘所用的气体排气装置。
25.根据权利要求11所述的排气装置，其特征在于设定控制手段，要通过第三压力调节手段往平板排出盘的气体注入控制，控制平板排出盘的压力水平保持一定时间，以此为特点，如[申请项24]所记平板排出盘所用的气体排气装置。
26.根据权利要求11所述的排气装置，其特征在于控制手段通过第一乃至第三压力调节手段，设定平板排出盘内部压力比容器内部压力高出一定水平之后，通过第二压力手段，用第一压力水平使平板排出盘内部的不纯气体持续排气，通过第三压力手段，用第一压力水平，控制注入平板排出盘内所定气体，以此为特点构成[申请项22]所记平板排出盘所用的气体排气装置。
27.根据权利要求11所述的排气装置，其特征在于平板排出盘是以等离子体排出盘(PDP)为特点的，如[申请项22]所记平板排出盘所用的气体排气装置。
28.根据权利要求11所述的排气装置，其特征在于平板排出盘是以液晶排出装置(LOD)为特点的，如[申请项22]所记平板排出盘所用的气体排气装置。
29.根据权利要求11所述的排气装置，其特征在于平板排出盘是以电场放出成份(FED)为特点的，如[申请项22]所记平板排出盘所用的气体排气装置。
30.根据权利要求11所述的排气装置，其特征在于平板排出盘是以有机电场发光装置(有机EL)为特点的，如[申请项22]所记平板排出盘所用的气体排气装置。
全文摘要
本发明提供一种平面显示屏气体排气装置及其工艺方法,它是利用平面显示屏的内部和外部的压差,使得存在于显示屏的气体成份很容易得到排气;若显示屏内部的压力比箱体压力设定得高出一个水平,那么显示屏的上板与下板之间的间隔将扩张开来,此时对显示屏内部的不纯气体进行排气操作。从而跟传统的平面显示屏的排气工艺相比,不但可以缩短排气时间,还要减小在显示屏内残存不纯气体的机率,可将获得光学性能和电气性能均良好的平面显示屏。
文档编号H01J11/54GK1363945SQ0110296
公开日2002年8月14日 申请日期2001年2月9日 优先权日2001年1月12日
发明者朴善宇, 权英国 申请人:Upd株式会社