专利名称：消耗功率抑制效果良好的面放电型显示器件的制作方法
技术领域：
本发明涉及用于图像显示等的面放电型显示器件，特别涉及电介质。
近年来，在计算机和电视机等的图像显示中使用的彩色显示器件中，利用等离子体寻址液晶或等离子态显示屏板(Plasma Display Panel，以下称为‘PDP’)等的等离子体面放电的面放电型显示器件作为可以实现大而薄型的屏板的彩色显示器件正引人注目，在PDP中特别期待其实用化。
图1是现有的普通PDP的局部剖面斜视图，图2是从x轴方向观察图1的PDP的局部放大剖面图。
如图1所示，PDP被这样配置，前面玻璃衬底11和背面玻璃衬底12通过插入隔壁19而平行地对置。在该前面玻璃衬底11的对面上，多个显示电极13和显示扫描电极14(在本图中，仅示出各两个。再有，宽度×厚度约为100μm×5μm)被带状交替平行地排列设置。在配置该各电极13、14的前面玻璃衬底11的表面上，如图2所示，为了对各电极进行绝缘而覆膜铅玻璃等组成的电介质层15，而且在其上覆膜MgO保护膜16。
另一方面，在背面玻璃衬底12的对面上，形成带状配置的地址电极17和覆盖其表面的铅玻璃等组成的电介质层18，而且如图1所示，形成隔壁19，使得可邻接地址电极17。此外，在相邻的隔壁19之间的凹部中，形成红色(R)、绿色(G)、蓝色(B)的各荧光层20R、20G、20B。
通过以上的结构，在前面玻璃衬底11和背面玻璃衬底12之间的封入不活泼气体的放电空间21中，在各电极13、14和地址电极17的交叉处形成作为单位发光区域的单元。
在使PDP进行图像显示时，在放电空间21内的对应单元中，在显示扫描电极14和地址电极17之间，通过施加放电开始电压以上的电压来进行放电，在MgO保护膜16内壁上形成壁电荷后，通过对同一表面内配置的显示电极13和显示扫描电极14施加脉冲电压，在壁电荷形成的单元表面内进行维持放电。通过此时产生的紫外线来激励各色荧光体20R、G、B，生成红色、绿色、蓝色的三基色可见光，通过对这些颜色进行加法混色，就可以进行全彩色显示。
但是，已知上述维持放电时流动的电流量依赖于电介质层15的静电容量的大小。一般来说，使用铅玻璃组成的电介质层15的介电常数大到9～12，静电容量也大，所以在上述维持放电时流动的电流量大。因此，存在屏板的消耗功率可能增大的问题。
对于这样的问题，提出了用介电常数在8以下的材料来形成电介质层的技术(特开平8-77930号公报)。这样—来，由于电介质层的介电常数降低，所以维持放电时的电流量变小，屏板的消耗功率被抑制。
但是，如果介电常数降低，则静电容量也降低，所以未充分形成应该被点火的单元的壁电荷，与此相伴，有产生未引起维持放电不点火的(以下称为点火不良)单元的可能生。
再有，上述问题不限于PDP，在利用相同面放电的等离子体寻址液晶等面放电型显示器件中也存在发生同样情况的可能性。
本发明的目的在于提供可以不产生点火不良、抑制消耗功率的面放电型显示器件。
为了实现上述目的，本发明提供一种面放电型显示器件，包括第1屏板在衬底上的一个主表面上多个成对排列设置电极对；第2屏板在衬底上排列设置多个电极和隔壁，通过所述隔壁与所述第1屏板平行对置配置，使得所述电极和所述第1屏板的电极对可对置；在所述第1屏板和所述第2屏板之间通过隔壁隔开的各放电空间中封入放电气体，通过利用所述电极对之间进行的面放电来显示图像；所述电极对被第1电介质层覆膜，在由所述电极对的电极和电极、以及所述第1屏板的衬底围成的区域中，形成比所述第1电介质层的介电常数低的区域。
因此，可以将壁电荷存储到第1电介质层中。另一方面，由于可以降低电极对和电极之间的介电常数，所以可以抑制维持放电时的电流量。因此，可以抑制点火不良，并且可以抑制屏板的消耗功率。
具体地说，在形成比第1电介质层的介电常数低的区域中，在电极对之间也可以配置具有比第1电介质层的介电常数低的第2电介质层。在该第2电介质层的形成方法中，可以使用金属掩模法或喷嘴注入法。
此外，在电极对的电极和电极之间的第1电介质层表面上，形成朝向第1屏板侧的沟，从该沟的底部至第1屏板的衬底的衬底垂直方向的距离也可以比距电极对表面的最远距离短。这样的话，由于在沟部分填满1左右的低介电常数的放电气体，所以可以进一步抑制屏板的消耗功率。其中，上述沟也可以是凹陷。形成这样的沟或凹陷的方法可以使用喷砂法或电介质浆料法。
而且，如果作为所述电极对的厚度与宽度比的高宽比在0.07以上、2.0以下，则可以较宽地获得放电空间，并且屏板的开口率增大，所以可以提高屏板的发光效率。
于是，本发明的面放电型显示器件可以抑制维持放电时的点火不良，并且抑制屏板的消耗功率。
本发明的这些和其它目的、优点和特性通过参照结合
的特定实施例将变得明显。其中图1是现有的普通PDP的局部示意剖面斜视图。
图2是放大从x轴方向观察图1的PDP时的一部分的剖面图。
图3是本发明第一实施例的摘除前面玻璃衬底后的PDP的示意平面图。
图4是本发明第一实施例的PDP的局部示意剖面斜视图。
图5是本发明第一实施例的PDP显示装置的方框图。
图6是放大从x轴方向观察图4的PDP时的一部分的剖面图。
图7是用于表示使用金属掩模法来形成前面板方法的PDP的步骤图，以(1)～(6)的序号来进行。
图8用于表示使用喷嘴注入法来形成前面板方法的PDP的步骤图，以(1)～(6)的序号来进行。
图9是放大第一实施例的变形例中的PDP的一部分的剖面图。
图10是放大第一实施例的变形例中的PDP的一部分的剖面图。
图11是放大从x轴方向观察第二实施例的PDP时的—部分的剖面图。
图12是用于表示使用喷沙法来形成前面板方法的PDP的步骤图，以(1)～(7)的序号来进行。
图13是用于表示使用感光浆料法来形成前面板方法的PDP的步骤图，以(1)～(5)的序号来进行。
图14是放大第二实施例的变形例中的PDP的一部分的剖面图。
图15是放大第二实施例的变形例中的PDP的一部分的剖面图。
图16是放大第二实施例的变形例中的PDP的一部分的剖面图。
图17是第三实施例的PDP的局部示意剖面斜视图。
图18是放大第三实施例的PDP的—部分的剖面图。
图19是表示变更图18中的凹陷高度情况下的屏板发光效率和测定维持放电时的电压的值的曲线图。
图20是第三实施例的变形例中的PDP的局部示意剖面图。
图21是第三实施例的变形例中的PDP的局部示意剖面图。
图22是第三实施例的变形例中的PDP的局部示意剖面图。
图23是放大第四实施例的PDP的局部剖面图。
图24是第四实施例的变形例中的PDP的局部示意剖面图。
图25是第四实施例的变形例中的PDP的局部示意剖面图。
以下，以本发明的面放电型显示器件的实施形态为一例，说明在PDP中采用本发明的情况。下面参照附图来说明本发明的PDP和PDP显示装置的第一实施形态。
<PDP100的结构>
图3是摘除PDP100中的前面玻璃衬底101后的示意平面图，图4是PDP100的局部示意剖面斜视图。再有，在图3中，为了清楚起见而部分省略图示显示电极103、显示扫描电极104、地址电极108的个数等。参照两图来说明PDP100的结构。
如图3所示，PDP100包括前面玻璃衬底101(未图示)、背面玻璃衬底102、n个显示电极103、n个显示扫描电极104、m各地址电极108和用斜线表示的气密薄片层121等，各电极103、104、108形成三电极结构的电极矩阵，在显示电极103和显示扫描电极104及地址电极108的交点上形成单元那样的结构。
如图4所示，该PDP100被这样构成，作为前面板的前面玻璃衬底101和作为背面板的背面玻璃衬底102通过插入带状排列设置的隔壁110而被相互平行地配置。
前面板在前面玻璃衬底101的一个主表面上配有显示电极103、显示扫描电极104、电介质层105和保护膜106。
显示电极103和显示扫描电极104在前面玻璃衬底101上被相互交替并且平行地配置成带状，而且是由银等构成的电极。
形成电介质层105，以覆盖前面玻璃衬底101和各电极103、104，是由铅玻璃等构成的层。
保护膜106被形成在电介质层105的表面上，是由氧化锰(MgO)等构成的层。
另一方面，在背面板上，在背面玻璃衬底102的一主表面上配有地址电极108、可见光反射层109、隔壁110、荧光层111R、G、B。
地址电极108被平行地排列设置在背面玻璃衬底102上，是由银等构成的电极。
形成可见光反射层109，以覆盖地址电极108，该可见光反射层例如是由包含氧化钛的电介质玻璃构成的层，具有反射各荧光层111R、G、B产生的可见光的功能，同时具有作为电介质层的功能。
隔壁110在可见光反射层109的表面上被与地址电极108平行地排列设置。该隔壁110和隔壁110之间的凹部以及隔壁110的侧壁上，顺序地形成各荧光层111R、G、B。
荧光层111R、G、B是将分别发红色(R)、绿色(G)、蓝色(B)光的荧光颗粒进行粘结的层。
PDP100有这样的结构，上述前面板和背面板被粘结，同时该屏板的周围由气密薄片层121来密封，在其之间形成的放电空间122内按规定的压力(例如，66.5kPa)封入放电气体(例如，95vol％的氖和5vol％的氙的混合气体)。
将该PDP100连接图5所示的PDP驱动装置150，构成PDP显示装置160。在该PDP显示装置160驱动时，如图5所示，PDP100连接显示驱动电路153、显示扫描驱动电路154、地址驱动电路155，根据控制器152的控制，通过对作为点火单元的显示扫描电极104和地址电极108施加放电开始电压以上的电压，在该电极之间进行地址放电并存储壁电荷后，通过在显示电极103、显示扫描电极104之间施加统一的脉冲电压，在壁电荷的存储单元中进行维持放电。在该维持放电时从放电气体中产生紫外线，通过被该紫外线激励的荧光层进行发光而使单元点火。通过各色单元的点火、非点火的组合来显示图像。
<前面板的结构>
以下说明具有本发明的PDP特征的前面板的结构。
图6是从x轴方向观察图4的PDP的局部放大剖面图。
如图所示，电介质层105由覆盖前面玻璃衬底101的整个表面的第1电介质层1051和在各电极103、104的间隙中配置的第2电介质层1052构成。
第1电介质层1051例如由根据以往的电介质层中使用的包含PbO(75wt％)、B2O3(15wt％)、SiO2(10wt％)的铅系电介质(介电常数=11左右)构成，按可覆盖显示电极103、显示扫描电极104、和第2电介质层1052的表面那样来形成。在该第1电介质层1051的表面上，例如被MgO构成的保护膜106覆盖。
形成第2电介质层1052，使得可完全填埋显示电极103和显示扫描电极104之间的间隙，并且其厚度W2与各电极103、104的厚度W1、W3的大小相等或在其以上。该第2电介质层1052由具有比上述第1电介质层1051的介电常数低的材料构成，例如由包含Na2O(65wt％)、B2O3(20wt％)、ZnO(15wt％)的钠系电介质等的介电常数为6.5的材料构成。
<设置第2电介质层1052的效果>
这样，通过形成比第1电介质层1051的介电常数低的第2电介质层1052，使得可填满各电极103、104之间，在显示电极103和显示扫描电极104之间，即与距显示电极103和显示扫描电极104的前面玻璃衬底101在z车由方向上距离最远点相比，在由前面玻璃衬底101侧的各电极103、104、以及前面玻璃衬底101围成的区域中，形成比第1电介质层1051的介电常数小的区域。因此，可以降低显示电极103和显示扫描电极104之间的静电容量。
另一方面，由于显示电极103和显示扫描电极104的表面被介电常数高的第1电介质层1051覆盖，所以还可以良好地进行通过在地址电极108之间进行的地址放电来形成壁电荷。因此，造成点火不良的可能性小。
因此，与现有那样在基盘表面上形成一样的电介质层的情况相比，不产生点火不良，可以抑制维持放电时流动的电流量。因此，与以往相比，可以认为使屏板的消耗功率下降。
再有，第2电介质层1052可以完全形成在显示电极103和显示扫描电极104之间，而即使在W2＜W1、W3那样的情况下，由于各电极103、104之间的静电容量下降，所以屏板的消耗功率被抑制。
<PDP100的制造方法>
下面，首先参照图7来说明上述PDP100中其前面板的制造方法的一例。图7(1)～图7(6)是从x轴方向观察使用金属掩模法来形成第2电介质层1052情况下的各制造步骤的前面板的局部放大剖面图，按序号来进行步骤。
①前面板的制作首先，在前面玻璃衬底101上，通过在交替并且平行带状地形成各n个显示电极103和显示扫描电极104(在图7中仅示出各1个)后，用电介质层105覆盖在其上，而且在其表面上形成保护膜106，从而制作前面板。
显示电极103和显示扫描电极104例如分别是由银构成的电极，通过丝网印刷以规定的间隔d1(约80μm)涂敷电极用的银浆料(例如，ノリタケ制NP-4028)后，经烧结如图7(1)那样形成。
接着，使用金属掩模法来形成第2电介质层1052。
如图7(2)所示，在与形成第2电介质层1052位置对应的位置上配置带有长孔2011(在纸面垂直方向上的长孔)的金属板201，使得该长孔2011位于各电极103、104之间。其中，如果以相同的尺寸来形成金属板201和前面玻璃衬底101，则位置一致的作业变得容易。
然后，在金属板上涂敷含有钠系的电介质材料的浆料202，通过移动刮刀2010，将从长孔2011吐出的浆料202涂敷在屏板上。如果该长孔2011的宽度d2比显示电极103和显示扫描电极104之间的宽度d1窄一些(例如60μm)，则金属板201的配置位置微妙地偏移，即使在各电极103、104之间发生间距偏移的情况下也可以适应。作为浆料202，例如使用Na2O(65wt％)、B2O3(20wt％)、ZnO(15wt％)和有机粘结剂(在α-萜品醇中溶解10％的乙基纤维素的粘结剂)的混合物。其中，有机粘结剂是在有机溶剂中溶解树脂的粘结剂，作为乙基纤维素以外的树脂，可以使用丙烯基树脂，作为有机溶剂，可以使用丁基甲醇等。而且，在这种有机粘结剂中也可以混入分散剂(例如，甘三油酸酯)。
如图7(3)所示，在涂敷浆料202后，通过以规定温度、规定时间(例如560℃下20分钟)烧结该屏板，有机粘结剂被烧掉，如图7(4)所示，形成第2电介质层1052，使得达到规定的层厚度(约20μm)。
在这样形成的第2电介质层1052的表面上，在通过丝网印刷来涂敷包含铅系玻璃材料的浆料之后，通过干燥、烧结，形成如图7(5)所示的第1电介质层1051的覆盖膜。
最后，如图7(6)所示，在第1电介质层1051的表面上使保护膜106成为覆盖膜。保护膜106例如由氧化锰(MgO)构成，通过溅射法或CVD法(化学镀敷法)等可形成规定的厚度(约0.5μm)。
再有，上述第2电介质层1052使用金属掩模法来形成，但并不限于该方法，也可以使用喷嘴注入法等来形成。
图8表示按照喷嘴注入法来形成前面板的方法。除了图8(2)以外，由于是于图7相同的图，所以省略对这些图的说明。
如图8(2)所示，在喷嘴注入法中使用浆料注入装置2020。
浆料注入装置2020配有喷嘴直径d3的喷嘴孔2021、和图中未示出的移动台，将由图外的浆料供给装置供给的浆料202从喷嘴孔2021中吐出，同时通过移动台在纸面垂直方向(x轴方向)上使前面玻璃衬底101和浆料注入装置2020相对地移动，在显示电极103和显示扫描电极104之间涂敷浆料202。其中，如果喷嘴孔2021的喷嘴直径d3比显示电极103和显示扫描电极104之间的宽度d1小一些(例如60μm)，则浆料注入装置2020的配置位置微妙地偏移，即使在各电极103、104之间发生间距偏移的情况下也可以适应。
②背面板的制作下面，参照图3、图4来说明背面板的制造方法的一例。
首先，在背面玻璃衬底102上，通过将电极用的银浆料进行丝网印刷和烧结，形成将m个地址电极108排列设置状态的背面板。在其上，通过使用丝网印刷法来涂敷包含铅系的玻璃材料来形成可见光反射层109。然后，按照丝网印刷法通过以规定的间隔反复涂敷包含相同的铅系玻璃材料后进行烧结，形成隔壁110。通过该隔壁110，将放电可见122在x轴方向上划分成每个单元(单位发光区域)。
然后，在该隔壁110和隔壁110之间的沟中，涂敷红色(R)、绿色(G)、蓝色(B)的各荧光体颗粒和有机粘合剂组成的浆料状荧光体油墨。将其在400～590℃的温度下进行烧结，通过烧掉有机粘合剂，形成粘结各荧光体颗粒的荧光层111R、111G、111B。
③通过屏板粘合进行PDP的制作这样制作的前面板和背面板被重合，使得前面板的各电极和背面板的地址电极可正交，并且在屏板周边插入密封用的玻璃，将其例如在450℃左右烧结10～20分钟，通过形成气密薄片层121(图3)而被密封。然后，一旦将放电空间122内排气到高真空(例如，1.1×10-4pa)后，通过按规定的压力封入放电气体(例如，He-Xe系、Ne-Xe系不活泼气体)，来制作PDP100。
<荧光体油墨和荧光体颗粒>
背面板上涂敷的荧光体油墨是混合各色荧光体颗粒、粘合剂、溶剂，按15～3000厘泊来调和，根据需要，也可以添加表面活性剂、硅石、分散剂(0.1～5wt％)等。
作为调和成该荧光体油墨的荧光颗粒，使用一般的荧光颗粒。例如，作为红色荧光颗粒，使用以(Y、Gd)BO3:Eu、以及Y2O3:Eu表示的化合物。这些化合物是构成其母体材料的Y元素的一部分被置换成Eu的化合物。
作为绿色荧光体，使用以BaAl12O19:Mn、以及Zn2SiO4:Mn表示的化合物等。这些荧光体是构成其母体材料的元素的一部分被置换成Mn的化合物。
作为蓝色荧光体，使用以BaMgAl10O17:Eu、以及BaMgAl14O23:Eu表示的化合物等。这些荧光体是构成其母体材料的Ba元素的一部分被置换成Eu的化合物。
作为调和荧光体油墨的粘合剂，可以使用乙基纤维素和丙烯基树脂(混合油墨的0.1～10wt％)，作为溶剂，可以使用α-萜品醇、丁基氨基苯甲酸己酯(ブチルカ-ビトル)。再有，作为粘合剂，可以以PMA和PVA等高分子作为溶剂，也可以使用二乙二醇、甲基醚等有机溶剂和水。
<第1实施形态的变形例>
①在上述第1实施形态中，形成第1电介质层1051，使得可完全覆盖显示电极103、显示扫描电极104、第2电介质层1052，但第1电介质层可以基本上覆盖显示电极103和显示扫描电极104的表面，也可以在第2电介质层的表面上不连续。
图9表示本变形例的前面板的局部放大剖面图。再有，附以与图6相同序号的部分有相同的结构，所以省略说明。
如图9所示，本变形例的前面板的第1电介质层被分离成显示电极103侧的第1电介质层1051a和显示扫描电极104侧的第1电介质层1051b，由此，在第2电介质层1052上形成沟300。
在该沟300中，由于充满介电常数为1左右的放电气体，所以与形成第2电介质层的情况相比，显示电极103和显示扫描电极104之间的静电容量下降，并可以抑制维持放电时流动的电流量。
②此外，如图10所示，通过可覆盖显示电极103和显示扫描电极104配置的第1电介质层1051c、d，在各电极103、104之间也可以设置具有比该第1电介质层1051c、d的介电常数低的第2电介质层1053。
通过这样的结构，将介电常数大的第1电介质层1051c、d配置的显示电极103和显示扫描电极104之间，与第1实施形态相比，静电容量增加，所以消耗功率抑制效果恶化，但与现有技术相比，静电容量下降，消耗功率的抑制效果良好。
(实施例1)(实施例样板1～2)制作将PDP的前面板设置成图6那样形态的PDP样板。其中，在第2电介质层中，使用Na2O-B2O3-ZnO(介电常数6.5)，制作通过金属掩模法形成的样板(No.1)，和在第2电介质层的材料中使用烷氧基硅烷(东京应化社制OCD T-7，介电常数4)，制作通过喷嘴法形成的样板(No.2)。
(实施例样板3～5)制作将PDP的前面板设置成图9那样形态的样板。其中，在第2电介质层中，在材料中使用Na2O-B2O3-ZnO(介电常数6.5)，制作通过金属掩模法经涂敷、干燥、烧结形成的样板(No.3)，制作通过喷嘴法经涂敷、干燥、烧结形成的样板(No.4)，和在第2电介质层的材料中使用烷氧基硅烷(东京应化社制OCD T-7，介电常数4)，制作通过喷嘴法反复进行3次涂敷、干燥后在500℃下烧结30分钟形成的样板(No.5)。
(实施例样板6～7)制作将PDP的前面板设置成图10那样形态的样板。其中，在第2电介质层中，在材料中使用Na2O-B2O3-ZnO(介电常数6.5)，制作通过金属掩模法形成的样板(No.6)，和在材料中使用烷氧基硅烷(东京应化社制OCD T-7，介电常数4)，制作通过喷嘴法形成的样板(No.7)。
(比较例样板8)制作将PDP的前面板设置成图12那样形态的比较例样板。
其中，在上述各PDP样板No.1～8中，制作200mm×300mm尺寸的样板，作为显示电极和显示扫描电极形成时使用的银浆料，使用ノリタケ社制NP-4028，形成膜厚5μm、宽度80μm那样的电极。此外，各样板中，第2电介质层的厚度以40μm来形成，MgO保护膜的厚度以0.5μm来形成。作为放电气体，使用95vol％氖、5vol％氙的混合气体，按压力达到66.5kPa来封入。
<实验1>
实验方法将上述各实施例样板1～7和比较例样板8与具有相同结构的PDP驱动装置连接，测定PDP驱动时的维持放电电压、相对发光效率、以及投入功率。再有，此时的显示电极、显示扫描电极的输入波形使用10kHz、占空率10％的矩形波。
考察结果实验结果示于表1中。
表1
从该表可知，在比较例样板No.8的情况下，必须达到66W功率，在该情况下的相对发光效率也为0.60(1m/W)。
另一方面，在各实施例样板No.1～7中，无论哪一个的消耗功率都在66W以下，与以往相比，可以将消耗功率抑制约10％以上。此外，除了可以这样抑制消耗功率之外，相对发光效率也提高到0.61(1m/w)以上。此外，未观察到点火不良。
根据以上结果，设置第1电介质层，使得可覆盖显示电极和显示扫描电极，并且将比该第1电介质层的介电常数低的第2电介质层设置在显示电极和显示扫描电极之间，通过介电常数大的第1电介质层来形成壁电荷，并且通过介电常数低的第2电介质层来降低显示电极和显示扫描电极之间的介电常数，所以不会引起点火不良，可以抑制维持放电时的消耗功率。下面，参照附图来说明本发明的PDP的第2实施形态。
再有，除了前面板的结构有所不同以外，第2实施形态的PDP有与上述第1实施形态中用图3～图5说明的PDP大致相同的结构，所以以不同部分为中心来说明。
图11表示第2实施形态的PDP的局部放大剖面图。
如图所示，在本第2实施形态的PDP中，形成电介质层205，使得可覆盖显示电极103和显示扫描电极104，并且该电介质层205的表面在各电极103、104之间凹陷，设置沿电极方向延伸的沟207。
电介质层205由与上述第1实施形态的第1电介质层105相同的组成构成，介电常数为11左右。在该电介质层205的整个表面上，覆膜MgO等构成的保护膜206。
在电介质层205的显示电极103和显示扫描电极104之间按与各电极大致相同的长度来设置沟207，该沟207底部的电介质层205的厚度W4形成得比前面玻璃衬底101至各电极103、104表面的距离W5、6(距前面玻璃衬底101在z轴方向上最远的距离)短。
即，沟207成为放电空间的—部分，由于在真空状态下变为封入一些放电气体的环境，所以估计该部分的介电常数大约为1左右。就是说，通过形成该沟207，在显示电极103和显示扫描电极104之间，即与距显示电极103和显示扫描电极104的前面玻璃衬底101最远点相比，在前面玻璃衬底101侧的各电极103、104、以及前面玻璃衬底101围成的区域中，形成比电介质层205的介电常数小的部分。
因此，按照与上述第1实施形态相同的理由，屏板的消耗功率被抑制，但沟207的介电常数比第1实施形态的第2电介质层1052低，所以可以进一步抑制屏板的消耗功率。
<前面板的制造方法>
本第2实施形态的PDP的制造方法与第1实施形态的PDP制造方法仅在前面板的制造方法上有所不同，所以参照附图以不同部分为中心来说明。
图12(1)～(7)是通过喷砂处理来形成电介质层205的沟207的方法的前面板的局部放大剖面图，按序号进行步骤。
首先，在前面玻璃衬底101上，通过形成交替且平行带状地形成各n个显示电极103和显示扫描电极104(图12中仅示出各一个)后，对其上用电介质层205进行覆膜，而且在其表面上形成保护膜206，从而制作前面板。
显示电极103和显示扫描电极104例如是分别由银构成的电极，通过丝网印刷以规定的间隔(约80μm)涂敷电极用的银浆料后，经烧结而形成。
使用与上述第1实施形态的第1电介质层1051相同的铅系电介质层浆料，通过丝网印刷法涂敷在各电极103、104和前面玻璃衬底101的整个表面上后，通过干燥如图12(1)那样形成电介质层205。
在该电介质层205的表面上，对图12(2)所示的膜状抗蚀剂210进行层压。就该抗蚀剂膜210来说，最好使用具有UV固化特性的抗蚀剂膜，但不限于此。
接着，如图12(3)所示，使用设置沟207位置的光掩模211，在抗蚀剂膜210上进行UV曝光，形成曝光部分2101和非曝光部分2102。然后，通过对该抗蚀剂膜210进行显影，除去非固化的非曝光部分2102，形成图12(4)所示的图形。
通过对这样构图的前面板进行喷砂处理，如图12(5)所示，曝光部分1201覆膜部分以外的电介质层205被除去。
接着，在使抗蚀剂膜210的曝光部分2101如图12(6)那样剥离后，进行烧结。由此，电介质层205被干燥并且收缩变形，形成图12(7)那样的光滑形状的带有沟207的电介质层205的前面板。面对该前面板，通过使用电子束蒸镀法形成MgO膜作为保护膜206(图11)，从而制成前面板。
再有，上述电介质层205的沟207使用喷砂法来形成，但并不限于该方法，也可以使用感光性电介质浆料来形成。
图13是表示使用感光生电介质浆料来形成前面板的方法。
首先，如图13(1)所示，在前面玻璃衬底101上，按与图12(1)说明的方法同样地形成显示电极103、显示扫描电极104。
接着，如图13(2)所示，形成电介质层205。在与上述第1实施形态的第1电介质层1051相同的铅系电介质层浆料中使用混合例如光固化性的UV感光性树脂的浆料，通过丝网印刷法涂敷在各电极103、104和前面玻璃衬底101的整个表面上后，经过干燥来形成该电介质层205。
接着，使用与图12(3)相同的光掩模，使电介质层205被感光。然后，进行显像，通过除去非曝光部分，如图13(4)所示，在电介质层205中形成沟207。然后，通过干燥、烧结，由于电介质层205收缩，所以形成带有图13(5)所示的沟207的电介质层205。
然后，使用电子束蒸镀法，通过制膜MgO的保护膜，可以形成前面板。
<第2实施形态的变形例>
在上述第2实施形态的PDP中，在前面板上配置显示电极103和显示扫描电极104，使得可连接在前面玻璃衬底101上，但各电极的位置没有特别限定，在显示电极和显示扫描电极上形成电介质层，对各电极进行绝缘，并且在两电极之间插入沟也可以。
①图14表示第2实施形态的变形例1的前面板的局部放大剖面图。
如图所示，前面板包括前面玻璃衬底101、显示电极203、显示扫描电极204、电介质层215a、b、保护膜206。
在前面玻璃衬底101的表面上，配有形成沟的电介质层215a，在夹住沟的电介质层215a的一方配有显示电极203，而在另一方配有显示扫描电极204。由电介质层215b进行覆膜，使得可整体覆盖各电极203、204和电介质层215a，在电介质层215a的沟部分上形成沟217。此外，在电介质层215的整个表面上覆膜保护膜206。
其中，沟217的底部与前面玻璃衬底101的距离W21设定得比显示电极203、显示扫描电极204与前面玻璃衬底101的距离W22、W23短。通过满足这样的条件，在显示电极203和显示扫描电极204之间，即与距显示电极203和显示扫描电极204的前面玻璃衬底101的最远点相比，在前面玻璃衬底101侧的各电极203、204、以及前面玻璃衬底101围成的区域中，形成比电介质层215a、b的介电常数小的部分，所以与上述第2实施形态一样，可以抑制维持放电时的消耗功率。再有，作为上述沟217的形成方法，可以使用喷砂法。
②此外，上述第2实施形态的保护膜206也可以分割成显示电极103侧和显示扫描电极104侧。
图15表示第2实施形态的PDP变形例2的前面板的局部放大剖面图。如图所示，在沟227的底部，如果在保护膜216上设置切口部216a，则在壁电荷形成后，可以抑制在保护膜216表面上该电荷的移动、即从壁电荷形成的单元经保护膜向另一单元漏流电荷，所以具有抑制点火不良的效果。
③在上述第2实施形态中，显示电极103和显示扫描电极104与前面玻璃衬底101平行地形成，但也可以使各电极相对于玻璃衬底倾斜。
图16是本第2实施形态的变形例3的前面板的局部剖面图。
如图所示，变形例的前面板包括前面玻璃衬底101、显示电极213、显示扫描电极214、电介质层225a、b、保护膜226。
作为该前面板的制造方法，首先，在前面玻璃衬底101上隔开规定间隔，用丝网印刷法来形成电介质层225a。接着，如电介质层225a的边缘那样，使用丝网印刷带状地涂敷显示电极213、显示扫描电极214。然后，在整个表面上涂敷电介质层225b，进行干燥、烧结。通过干燥、烧结，电介质层225a的沟侧边缘收缩，形成沟237，并且如图16所示，在向沟237侧倾斜的状态下形成各电极213、214。其中，设定沟237的底部和前面玻璃衬底101的距离W24(电介质层225b的厚度)，使得比距各电极214、213与前面玻璃衬底101的最远点的距离短。通过满足这些条件，在显示电极213和显示扫描电极214之间，即与距显示电极213和显示扫描电极214的前面玻璃衬底101的最远点相比，前面玻璃衬底101侧的各电极213、214、以及前面玻璃衬底101围成的区域中，形成比电介质层225a、b的介电常数小的部分，所以与上述第2实施形态同样，可以抑制维持放电时的消耗功率。
(实施例2)(实施例样板9～11)制作将PDP的前面板设置成图11那样形态的样板。其中，电介质层使用PbO(75wt％)-B2O3(15wt％)-SiO2(10wt％)，制作通过喷砂法形成的样板(No.9)，使用感光性电介质浆料形成的样板(No.10)，以及具有与No.9相同结构，提高放电气体压力(320kPa)的样板(No.11)。
(实施例样板12、13)制作将PDP的前面板设置成图14所示那样形态的样板。其中，制作放电气体压力为66.5kPa的样板(No.12)，和将放电气体提高到320kPa的样板(No.13)。
(实施例样板14、15)制作将PDP的前面板设置成图15所示那样形态的样板。其中，制作放电气体压力为66.5kPa的样板(No.14)，和将放电气体提高到320kPa的样板(No.15)。
(实施例样板16、17)制作将PDP的前面板设置成图16所示那样形态的样板。其中，制作放电气体压力为66.5kPa的样板(No.16)，和将放电气体提高到320kPa的样板(No.15)。
(实施例样板18、19)制作将PDP的前面板设置成图12所示那样形态的比较例样板。
其中，制作放电气体压力为66.5kPa的样板(No.18)，和将放电气体提高到320kPa的样板(No.19)。
在上述各PDP样板No.9～19中，制作200mm×300mm尺寸的样板，作为显示电极和显示扫描电极形成时使用的银浆料，使用ノリタケ社制NP-4028，形成膜厚5μm、宽度80μm那样的电极。此外，各样板中的MgO膜使用电子束蒸镀法以0.5μm的厚度形成。作为放电气体，使用95vol％氖、5vol％氙的混合气体。实验方法将上述各实施例样板9～17和比较例样板18、19与具有相同结构的PDP驱动装置连接，测定PDP驱动时的维持放电电压、相对发光效率、以及投入功率。再有，此时的显示电极、显示扫描电极的输入波形使用10kHz、占空率10％的矩形波。
考察结果实验结果示于表2中。
表2
从该表可知，在比较例样板18的情况下，放电维持所必需的电压为304V，此时的功率必须达到42W，该情况下的相对发光效率为0.501m/W。
另一方面，在各实施例样板9、10、12、14、15中，无论哪一个的消耗功率都在37W以下，放电维持电压也在300V以下，与以往相比，可知放电维持电压和消耗功率可以被抑制大约10％以上。此外，未观察到点火不良。而且，即使在提高放电气体压力的情况下，也有同样的效果。
根据以上结果，通过在显示电极和显示扫描电极之间设置沟，可以在介电常数大的电介质层中形成壁电荷，并且降低显示电极和显示扫描电极之间的介电常数，所以不会造成点火不良，可以抑制维持放电时的消耗功率。下面，参照附图来说明本发明第3实施形态的PDP和PDP显示装置。
再有，第3实施形态的PDP和PDP显示装置形成与上述第1实施形态中使用图3～图5说明的PDP和PDP显示装置有大致相同的结构，由于仅前面板的结构有所不同，所以以不同部分为中心来说明。
图17表示放大第3实施形态的前面板的局部剖面图。再有，由于附以与图3～图5相同序号的部分为相同的结构，所以省略其说明。
如图所示，在本第3实施形态的前面板中，在前面玻璃衬底101上排列设置显示电极103和显示扫描电极104(在本图中仅示出各一个)，形成可覆盖各个电极的电介质层305，并且在该电介质层305的各电极103、104之间，在与地址电极(未图示)对置的位置上设置凹陷307。
电介质层305由与上述第1实施形态的第1电介质层1051相同的组成来构成，介电常数为11左右。在该电介质层305的表面上，覆膜MgO等构成的保护膜。
形成凹陷307，使得其底部的厚度(从凹陷307的底部至前面玻璃衬底101间的距离)比各电极103、104的厚度(从前面玻璃衬底101至各电极103、104的最远距离)薄，该凹陷307与第2实施形态的沟207一样成为充满介电常数低的放电气体的放电空间。即，通过形成凹陷307，在显示电极103和显示扫描电极104之间，即在从距显示电极103和显示扫描电极104的前面玻璃衬底101最远点由前面玻璃衬底101侧的各电极103、104、以及前面玻璃衬底101围成的区域中，形成比电介质层305的介电常数小的部分，所以按照与上述第2实施形态相同的理由，屏板的消耗功率被抑制。
图18表示在前面板中变更凹陷307的底部厚度情况下的剖面图。为了使该凹陷307的底部厚度最佳，如图中虚线所示，制作各种变更凹陷307的底部307a厚度的PDP样板，相对于距显示电极103和显示扫描电极104(厚度都为10μm)表面的底部307a的z轴方向的距离，测定各PDP的发光效率和最小维持放电电压。其结果示于图19。
如图所示，从各电极103、104表面至凹陷的底部307a的z轴方向的距离越接近负方向，即随着凹陷307的底部307a越接近前面玻璃衬底101端，发光效率明显提高，并且用于引起维持放电的最小维持放电电压的值明显降低。
与上述第2实施形态一样，这是因为可认为凹陷307在真空状态下成为封入若干放电气体的放电空间，估计该部分的介电常数为1。
再有，作为该凹陷307的形成方法，可以通过上述第1、第2实施形态所述的喷砂法和使用感光性电介质材料的方法来形成。此外，在保护膜306的凹陷307的底部，如果设置上述第2实施形态的变形例②所述的切口部，也可以获得同样的效果。
(第3实施形态的变形例)①在上述第3实施形态中，将显示电极103、显示扫描电极104设置成带状，但也可以将各电极的一部分形成近似凹陷那样的形状。
图20表示第3实施形态的变形例的前面板的斜视图。
如图所示，在本变形例的前面板中，在显示电极303和显示扫描电极304中，在靠近凹陷317的位置上可分别设置突出部303a、304a。
由此，确保显示电极303和显示扫描电极304之间的整体距离，并且在突出部303a、304a中可以缩小距离。因此，可确保放电面积，并且使放电开始电压下降，并认为可以抑制消耗功率。
②此外，在上述第3实施形态中，将各电极103、104直接配置在前面玻璃衬底101上，但与上述第2实施形态的变形例1同样，也可以在电极和前面玻璃衬底之间插入电介质层。
图21表示本变形例2的前面板的局部放大剖面图。如图所示，例如，在将显示电极313、显示扫描电极314形成在带有凹陷的电介质层315a上之后，通过在它们的整个表面上覆膜电介质层315b、保护膜316，也可以在各电极313、314和前面玻璃衬底101之间插入电介质层315a。通过这样的结构，还在电介质层315a的凹陷上形成凹陷327，所以可获得与第3实施形态相同的效果。
③此外，在上述第3实施形态中，将各电极103、104和前面玻璃衬底101平行那样配置，但与上述第2实施形态的变形例3同样，也可以使各电极相对于前面玻璃衬底倾斜。
图22表示本变形例3的前面板的局部放大剖面图。如图所示，将显示电极323、显示扫描电极324形成在电介质层325a上，在它们的整个表面上涂敷、干燥、烧结电介质层325b后，以保护膜326作为覆膜，通过电介质层325a的收缩而面向各电极323、324，即各电极的另一电极侧的侧端比另一端倾斜配置，使得前面玻璃衬底101与z轴方向的距离靠近也可以。这样，即使在显示电极323和显示扫描电极324之间插入凹陷337形成介电常数低的区域，也可以获得与第3实施形态同样的效果。
④在上述第3实施形态中，可形成凹陷307，但在该凹陷部分也可以设置比第1电介质层的介电常数低的、上述第1实施形态的第2电介质层那样的电介质层。因此，在显示电极和显示扫描电极、以及前面玻璃衬底围成的区域中，由于形成介电常数低的区域，所以可以获得与第3实施形态相同的效果。
下面，参照附图来说明本发明第4实施形态的PDP和PDP显示装置。
再有，第4实施形态的PDP和PDP显示装置形成与上述第1实施形态中使用图3～图5说明的PDP和PDP显示装置有大致相同的结构，由于仅前面板的结构有所不同，所以以不同部分为中心来说明。
图23表示放大第4实施形态的前面板的局部剖面图。
如图所示，在本第4实施形态的前面板中，在前面玻璃衬底101上以相同的距离L来排列设置(在本图中仅示出各一个)显示电极403和显示扫描电极404，形成可覆盖各个电极的电介质层405、保护层406。在由该电介质层405中的各电极403、404和前面玻璃衬底101围成的区域中，沿各电极的方向设置沟407。这点与第1实施形态相同，但不同点在于，对显示电极403和显示扫描电极404的高宽比进行了规定。
显示电极403和显示扫描电极404的其剖面形状都为矩形，具有宽度W41、厚度W42。其中，最好这样形成各电极403、404，使得其高宽比、即厚度W42/宽度W41的值在0.07以上、2.0以下，而且厚度W42最好在3～20μm的范围。在反复进行印刷、干燥直至达到规定膜厚后，通过烧结来获得这样的高宽比大的电极。
其中，将显示电极403、显示扫描电极404的高宽比设定在0.07以上的原因在于，在高宽比是比0.07小的值的情况下，各电极403、404的电阻值不稳定，实验上确认不适合作为电极，如果考虑到电阻值的稳定，最好达到0.15以上。而另一方面的原因在于，在高宽比超过2.0的情况下，各电极的电阻值升高，实验上确认屏板的消耗功率变大。
显示电极403、显示扫描电极404的厚度W42为20μm以下的原因在于，使用电极的形成中通常采用的薄膜处理、厚膜处理不能形成超过20μm的厚度W42。这是因为在薄膜处理中难以较厚地形成膜，而在厚膜处理中，在烧结时不能保持其膜厚，从而不能形成规定的形状。另一方面，厚度W42在3μm以上的原因在于，如果膜厚低于3μm，则电极的电阻值急剧地升高而使电极不能使用。因此，显示电极和显示扫描电极的厚度W42为3～20μm较好，考虑到该厚度W42、电极的电阻、以及屏板的开口率，显示电极和显示扫描电极的宽度W41为43～70μm较好。
电介质层405由与上述第1实施形态的第1电介质层105相同的组成构成，介电常数为11左右。
形成沟407，使得其底部的电介质层405的厚度(从沟407的底部至前面玻璃衬底101的距离)比各电极403、404的厚度W42薄，并且与第2实施形态的沟207同样成为充满介电常数低的放电气体的放电空间。
因此，按照与上述第2实施形态相同的理由，可以抑制屏板的消耗功率。
此外，由于显示电极403和显示扫描电极404的高宽比(厚度W42/宽度W41=0.07～2.0)比现有电极(高宽比约0.05)设定得大，所以如果是与现有电极相同的截面积，则可以使其宽度W41变窄。即，难以透过可见光的金属构成的显示电极403、和显示扫描电极404的可见光透过方向的遮蔽面积下降。此外，即使在单元间距小的情况下，在尺寸受限制的单元中也可以获得必要的电极间的距离L。因此，屏板的开口率提高，同时产生放电的空间变宽，所以可以提高屏板的发光效率。
而且，如果是这样的高宽比大的显示电极403和显示扫描电极404，那么各电极的厚度比现有电极厚，各电极的与另一电极对置的面积增加，所以通过较深地形成沟可以增大插入在电极间的放电空间的体积。因此，在显示电极403和显示扫描电极404之间，可以在宽区域中获得强的电场强度，所以与以往相比，可以降低维持放电时的放电开始电压，而且可以抑制屏板的消耗功率。
再有，作为上述沟407的形成方法，可以通过上述第1、第2实施形态所述的喷砂法和使用感光性电介质材料的方法来形成。
(第4实施形态的变形例)①在上述第4实施形态中，如矩形那样来设置显示电极403和显示扫描电极404的剖面形状，但从前面玻璃衬底101随着距厚度方向的距离而宽度变窄的角锥形的剖面形状也可以。可以使用丝网印刷法重复涂敷浆料，在每次反复进行印刷、干燥中缩小宽度来形成这种角锥形的剖面形状的各电极。
图24表示第4实施形态的变形例的前面板的局部放大剖面图。
如图所示，本变形例的前面板的显示电极413和显示扫描电极414的剖面形状为角锥形。
在一般的PDP中，电极的烧结时因电极材料收缩产生的电极端部的翘曲增大，存在电极从前面玻璃衬底剥落现象的问题，但在本变形例中，由于显示电极413和显示扫描电极414为角锥形形状，所以角锥上部的电极材料量少，烧结时的电极翘曲增大方向的收缩应力减少，可以抑制这种剥落现象。
而且，通过将显示电极413、和显示扫描电极414形成这样的形状，由于电介质层405与各电极413、414的接触面积增加，所以也提高了对各电极413、414的覆膜性。
②在上述第4实施形态中，在显示电极403、显示扫描电极404和前面玻璃衬底101围成的区域中设置沟407，可增强各电极之间的电场，但即使在该沟不一定到达该区域或不存在的情况下，如果显示电极和显示扫描电极有比现有电极大的高宽比，由于可以提高屏板的开口率，所以使屏板的发光效率提高。
图25表示第4实施形态的变形例②的前面板的局部放大剖面图。
如图所示，在本变形例的前面板中，显示电极403和显示扫描电极404之间的电介质层505的厚度W53形成得比各电极403、404的厚度W42厚。由此，形成未形成沟(图中用(A)表示)的状态，或形成沟的底部不达到显示电极403和显示扫描电极404及前面玻璃衬底101围成的区域的(图中用(B)、(C)表示)状态。
即使这样的屏板，仍将显示电极403、和显示扫描电极404的高宽比按照与第4实施形态相同的值那样来设定，由于比现有的电极(高宽比约0.5)的高宽比设定得大，所以与上述第4实施形态一样，屏板的开口率提高，可以提高屏板的发光效率。
而且，如果设置沟，则即使处于沟的底部未达到显示电极403和显示扫描电极404及前面玻璃衬底101围成的区域(图中用(B)、(C)表示)的状态，由于各电极之间的电力线增加，电场强度升高，所以可以抑制屏板的消耗功率。
③在上述第4实施形态中，在显示电极403和显示扫描电极404及前面玻璃衬底101围成的区域中，设置用于形成介电常数小的区域的沟407，但在显示电极和显示扫描电极及前面玻璃衬底围成的区域中，即使设置与上述第1实施形态相同的第2电介质层，也可以实施本发明。因此，通过与上述第4实施形态同样的理由，可以降低屏板的消耗功率。
④在上述第4实施形态中，在显示电极403、显示扫描电极404、前面玻璃衬底101围成的区域中可形成沟407，但与上述第3实施形态一样，即使设置代替沟的凹陷，也可以实施本发明。
(实施例3)在实施例3中，形成与实施例2大致相同的结构，制作显示电极和显示扫描电极的尺寸及形状不同的以下实施例样板20～25。
(实施例样板20)如图23所示，制作显示电极和显示扫描电极的剖面形状为矩形的PDP样板。显示电极和显示扫描电极的宽度为30μm、膜厚为15μm(高宽比为0.5)、各电极间的距离为100μm。
(实施例样板21)如图24所示，制作显示电极和显示扫描电极的剖面形状为角锥形的PDP样板。显示电极和显示扫描电极的宽度在前面玻璃衬底侧的宽幅部分为50μm、膜厚为15μm(高宽比为0.3)、各电极间的距离为100μm。
(实施例样板22～24)电极的尺寸与样板20相同，如图25所示，制作电介质层的显示电极和显示扫描电极之间的厚度W53设置得比各电极厚度W42(15μm)厚的PDP样板。其中，制作图25(A)所示的显示电极和显示扫描电极之间的电介质层的厚度为40μm的样板(实施例样板22)，图25(B)所示的电介质层的厚度为30μm样板(实施例样板23)，及图25(C)所示的电介质层的厚度为15μm样板(实施例样板24)。再有，显示电极和显示扫描电极的宽度为30μm、膜厚为15μm、各电极间的距离为100μm，显示电极和显示扫描电极之间以外的电介质层的厚度为40μm。
(实施例样板25)用与上述实施例样板22大致相同的结构，将电极的形状形成得与实施例样板21相同。
(比较例样板26)制作显示电极和显示扫描电极的形状如图2所示那样的薄平屏板状的PDP样板。显示电极和显示扫描电极的宽度为100μm、膜厚为5μm(高宽比为0.05)。实验方法将上述各实施例样板20～25和比较例样板26与具有相同结构的PDP驱动装置连接，测定PDP驱动时的维持放电电压、相对发光效率、以及投入功率。再有，此时的显示电极、显示扫描电极的输入波形使用10kHz、占空率10％的矩形波。
结果考察表3表示实验结果。
表3
由该表可知，在比较例样板26的情况下，放电维持所需的电压为340V，该时的功率必须达到42W，该情况下的相对发光效率为0.501m/W。
另一方面，在各实施例样板20、21中，表示无论哪个样板消耗功率都在37W以下，放电维持电压也在320V以下，与现有相比，可以将放电维持电压、以及消耗功率抑制约6％以上。此外，未观察到点火不良。而且，在发光效率中，无论哪个样板都显示在0.701m/W以上的值，与现有相比，可以提高40％以上。
此外，在各实施例样板22～25中，显示电极和显示扫描电极之间的电介质层的厚度越薄，放电维持电压就越降低，并且发光效率提高。在显示电极和显示扫描电极之间，即使是没有沟的状态的实施例样板22，各电极的高宽比形成得比现有的高宽比大，所以与现有相比，可确认发光效率被改善。即，根据实施例样板26的结果，可确认即使在将显示电极和显示扫描电极的剖面形状形成为角锥形的情况下，也有同样的效果。
根据以上的结果，通过将显示电极和显示扫描电极的高宽比设定得比现有高宽比大，可以显著提高发光效率。而且，通过在显示电极和显示扫描电极及前面玻璃衬底之间围成的区域中设置沟，与上述第2实施例同样，不会造成点火不良，可以抑制维持放电时的消耗功率。
(第1、第2、第3、及第4实施形态的变形例)在上述各实施形态中，将隔壁形成为带状，但即使在隔壁和隔壁之间通过设置辅助隔壁而有井栏形状的隔壁、配有多个蛇行的线状隔壁的情况下，也可以实施本发明。此外，在上述各实施例中，以PDP为例进行了说明，但即使在具有相同的面放电型结构的等离子体寻址液晶等中，也可以采用本发明。此外，在上述各实施形态中，作为显示电极、显示扫描电极，设置银电极，但银以外的电极也可以，而且，作为辅助它的辅助电极，即使设置公知的透明电极，也可以实施本发明。再有，在这种情况下，不考虑透明电极的高宽比。
尽管参照附图，利用实例已经充分地说明了本发明，但应该指出，对于本领域技术人员来说，显然可以进行各种变更和改进。因此，除非这种变更和改进脱离了本发明的范围，否则它们都应该被包括在本发明中。
权利要求
1．一种面放电型显示器件，包括第1屏板在衬底上的一个主表面上多个成对排列设置电极对；第2屏板在衬底上排列设置多个电极和隔壁，通过所述隔壁与所述第1屏板平行对置配置，使得所述电极和所述第1屏板的电极对可对置；在所述第1屏板和所述第2屏板之间通过隔壁隔开的各放电空间中封入放电气体，通过利用所述电极对之间进行的面放电来显示图像，所述电极对被第1电介质层覆膜，在由所述电极对的电极和电极、以及所述第1屏板的衬底围成的区域中，形成比所述第1电介质层的介电常数低的区域。
2．如权利要求1的面放电型显示器件，在由所述电极对的电极和电极、以及所述第1屏板的衬底围成的区域中，配有与所述第1电介质层不同的第2电介质层，该第2电介质层有比所述第1电介质层低的介电常数。
3．如权利要求1、2的面放电型显示器件，所述第2电介质层有与所述电极对相同的厚度或比电极对厚的厚度。
4．如权利要求1、2的面放电型显示器件，所述第2电介质层由包含钠的电介质物质构成。
5．如权利要求4的面放电型显示器件，所述包含钠的电介质物质是Na2O-B2O3-ZnO。
6．如权利要求2的面放电型显示器件，所述第1电介质层由包含铅的电介质物质构成。
7．如权利要求6的面放电型显示器件，所述包含铅的电介质物质是PbO-B2O3-SiO2。
8．如权利要求2的面放电型显示器件，所述电极对的厚度和宽度比的高宽比为0.07以上、2.0以下。
9．如权利要求8的面放电型显示器件，所述电极对的厚度和宽度比的高宽比为0.15以上、2.0以下。
10．如权利要求8的面放电型显示器件，所述电极对的厚度在3μm以上、20μm以下，并且所述电极对的宽度为43μm以上、70μm以下。
11．如权利要求8的面放电型显示器件，所述电极对的剖面形状在所述第1屏板的衬底侧为宽幅的角锥形。
12．如权利要求1的面放电型显示器件，所述介电常数低的区域是不形成所述第1电介质层而作为所述放电空间的—部分存在的区域。
13．如权利要求12的面放电型显示器件，所述第1电介质层的表面在所述电极对的电极和电极之间形成凹向所述第1屏板的衬底方向的沟，并且通过将从所述第1屏板的衬底至所述沟的底部的衬底垂直方向的距离形成得比距所述电极对表面的距离短，来形成所述介电常数低的区域。
14．如权利要求13的面放电型显示器件，在所述电极对和所述第1屏板的衬底之间配有所述第1电介质层。
15．如权利要求14的面放电型显示器件，所述电极对中的至少—个电极向所述第1屏板的衬底倾斜，并且该倾斜的电极中的另一电极侧的一端比其它端配置得更靠近所述第一屏板的衬底。
16．如权利要求13的面放电型显示器件，配有覆盖所述第1电介质层的保护膜，该保护膜在所述电极对的电极和电极之间有不连续部分。
17．如权利要求16的面放电型显示器件，所述保护膜的不连续部分被形成在所述沟中。
18．如权利要求13的面放电型显示器件，所述第1电介质层由包含铅的电介质物质构成。
19．如权利要求18的面放电型显示器件，所述包含铅的电介质物质是PbO-B2O3-SiO2。
20．如权利要求13的面放电型显示器件，所述电极对的厚度和宽度比的高宽比为0.07以上、2.0以下。
21．如权利要求20的面放电型显示器件，所述电极对的厚度和宽度比的高宽比为0.15以上、2.0以下。
22．如权利要求20的面放电型显示器件，所述电极对的厚度在3μm以上、20μm以下，并且所述电极对的宽度为43μm以上、70μm以下。
23．如权利要求20的面放电型显示器件，所述电极对的剖面形状在所述第1屏板的衬底侧为宽幅的角锥形。
24．如权利要求12的面放电型显示器件，在所述第1电介质层的表面上，在所述电极对的电极和电极之间形成凹陷，并且通过将从所述第1屏板的衬底至所述凹陷底部的衬底垂直方向的距离形成得比距所述电极对表面的距离短，来形成所述介电常数低的区域。
25．如权利要求24的面放电型显示器件，在所述电极对和所述第1屏板的衬底之间配有所述第1电介质层。
26．如权利要求25的面放电型显示器件，所述电极对中的电极向所述第1屏板的衬底倾斜，并且该倾斜的电极中的另一电极附近侧的一端被配置得比其它端更靠近所述第1屏板的衬底。
27．如权利要求24的面放电型显示器件，配有覆盖所述第1电介质层的保护膜，该保护膜在所述电极对的电极和电极之间有不连续部分。
28．如权利要求27的面放电型显示器件，所述保护膜的不连续部分被形成在所述凹陷中。
29．如权利要求24的面放电型显示器件，所述第1电介质层由包含铅的电介质物质构成。
30．如权利要求29的面放电型显示器件，所述包含铅的电介质物质是PbO-B2O3-SiO2。
31．如权利要求24的面放电型显示器件，所述电极对的厚度和宽度比的高宽比为0.07以上、2.0以下。
32．如权利要求31的面放电型显示器件，所述电极对的厚度和宽度比的高宽比为0.15以上、2.0以下。
33．如权利要求31的面放电型显示器件，所述电极对的厚度在3μm以上、20μm以下，并且所述电极对的宽度为43μm以上、70μm以下。
34．如权利要求31的面放电型显示器件，所述电极对的剖面形状在所述第1屏板的衬底侧为宽幅的角锥形。
35．一种面放电型显示器件，包括第1屏板在衬底上的一个主表面上多个成对排列设置电极对；第2屏板在衬底上排列设置多个电极和隔壁，通过所述隔壁与所述第1屏板平行对置配置，使得所述电极和所述第1屏板的电极对可对置；在所述第1屏板和所述第2屏板之间通过隔壁隔开的各放电空间中封入放电气体，通过利用所述电极对之间进行的面放电来显示图像，作为所述电极对的厚度和宽度比的高宽比在0.07以上、2.0以下。
36．如权利要求35的面放电型显示器件，所述电极对的厚度和宽度比的高宽比为0.15以上、2.0以下。
37．如权利要求35的面放电型显示器件，所述电极对的厚度在3μm以上、20μm以下，并且所述电极对的宽度为43μm以上、70μm以下。
38．如权利要求35的面放电型显示器件，所述电极对的剖面形状在所述第1屏板的衬底侧为宽幅的角锥形。
39．如权利要求2的面放电型显示器件，该面放电型显示器件是PDP。
40．如权利要求13的面放电型显示器件，该面放电型显示器件是PDP。
41．如权利要求24的面放电型显示器件，该面放电型显示器件是PDP。
42．如权利要求35的面放电型显示器件，该面放电型显示器件是PDP。
43．一种PDP显示装置，配有权利要求39的PDP、和与该PDP连接的通过施加电压来对PDP进行显示驱动的显示驱动电路。
44．一种PDP显示装置，配有权利要求40的PDP、和与该PDP连接的通过施加电压来对PDP进行显示驱动的显示驱动电路。
45．一种PDP显示装置，配有权利要求41的PDP、和与该PDP连接的通过施加电压来对PDP进行显示驱动的显示驱动电路。
46．一种PDP显示装置，配有权利要求42的PDP、和与该PDP连接的通过施加电压来对PDP进行显示驱动的显示驱动电路。
47．一种制造权利要求2的面放电型显示器件的方法，在所述第1屏板的衬底上排列设置所述电极对的第一步骤之后，有在由所述电极对的电极和电极、以及第1屏板的衬底围成的区域中，涂敷作为第2电介质层的电介质浆料的第二步骤。
48．如权利要求47的面放电型显示器件的制造方法，在所述第二步骤中，在涂敷电介质浆料时，采用金属掩模法或喷嘴注入法。
49．一种制造权利要求13的面放电型显示器件的方法，包括在所述第1屏板的衬底上排列设置电极对的第一步骤，和可覆盖该电极对、并且在所述电极对之间有沟的形成所述第1电介质层的第二步骤。
50．如权利要求49的面放电型显示器件的制造方法，在所述第二步骤中，在所述电极对和所述第1屏板表面上层状地形成所述第1电介质层的材料，通过除去所述电极对之间的材料来形成所述沟。
51．如权利要求50的面放电型显示器件的制造方法，作为所述第二步骤的沟形成方法，使用喷沙法。
52．如权利要求50的面放电型显示器件的制造方法，在所述第二步骤中，在所述电极对和所述第1屏板表面上层状地形成所述第1电介质层的材料时，使用电介质浆料法。
53．一种制造权利要求24的面放电型显示器件的制造方法，包括在所述第1屏板的衬底上排列设置电极对的第一步骤，和形成可覆盖该电极对并且在所述电极对之间有凹陷的第1电介质层的第二步骤。
54．如权利要求53的面放电型显示器件的制造方法，在所述第二步骤中，在所述电极对和所述第1屏板表面上层状地形成所述第1电介质层的材料，通过除去所述电极对之间的材料来形成所述沟。
55．如权利要求54的面放电型显示器件的制造方法，作为所述第二步骤的沟形成方法，使用喷沙法。
56．如权利要求54的面放电型显示器件的制造方法，在所述第二步骤中，在所述电极对和所述第1屏板表面上层状地形成所述第1电介质层的材料时，使用电介质浆料法。
全文摘要
本发明的目的在于在面放电型显示器件中抑制点火不良的发生,并且抑制维持放电时的消耗功率。为了实现该目的,本发明形成覆盖显示电极和扫描电极的电介质层,并且在显示电极、扫描电极和前面玻璃衬底围成的区域中,形成具有比所述电介质层的介电常数低的区域。通过上述电介质层,在维持放电上形成必要的壁电荷,并且可以使在显示电极和显示扫描电极之间的介电常数下降,所以可以抑制点火不良,并且可以抑制维持放电时的消耗功率。
文档编号H01J17/49GK1319868SQ01110809
公开日2001年10月31日 申请日期2001年1月23日 优先权日2000年1月26日
发明者高田祐助, 村井隆一, 盐川晃, 真铜胜利 申请人:松下电器产业株式会社