专利名称：受激准分子灯的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种利用电介质阻挡放电或高频放电的受激准分子灯，具体涉及一种提高安全性、效率高且经济性优良的受激准分子灯。
背景技术：
受激准分子灯广泛用作在半导体集成电路、液晶显示面板和印刷电路板等电子部件的制造工序中的紫外线曝光装置等。有关受激准分子灯的现有技术在例如特开2000-223078号公报的“高亮度光照射装置”和特开2001-23577号公报的“电介质阻挡放电灯”等中作了揭示。
如图4所示，这种现有受激准分子灯基本上具有由配置成同轴状的内管11和外管12组成的放电管10，封入吸气剂3，并通过在形成于内管11的内表面的内侧电极13和形成于外管的外表面的外侧电极14之间施加来自高电压交流电源2的电压，使封入在内管11和外管12之间的放电空间17内的稀有气体(氩气，氪气，氙气等稀有气体)受激放电，并使紫外线发光。
在现有受激准分子灯中，通过把编网的无缝状的网状电极和穿孔金属板的板状电极卷绕在外管12上，形成外侧电极14。
这种现有外侧电极14由于金属部分露出并暴露于大气，因而缺乏安全性，并且由于电极消耗和金属离子的发散而产生污染。
为此，为了将被照射物与灯隔断，在采用高价石英板或套管等来隔离灯的同时，照射光线。因此，本发明是为了解决该问题而提出的。
发明内容
本发明的受激准分子灯包括由形成为同轴圆筒状的内管和外管组成的放电管，并通过在形成于所述内管上的内侧电极和形成于所述外管上的外侧电极之间施加高电压，使封入在所述内管和所述外管之间的放电空间内的气体放电发光，在该受激准分子灯中，用绝缘材料涂敷所述外侧电极，使其不露出。
图1是示出根据本发明的受激准分子灯的外侧电极的第一实施方式的构成的平面图(a)、断面图(b)、以及形成绝缘性涂层的状态的断面图(c)。
图2是示出将形成绝缘性涂层的外侧电极应用于受激准分子灯的状态的斜视图。
图3是示出根据本发明的受激准分子灯的外侧电极的第二实施方式的构成的断面图。
图4是现有受激准分子灯的纵断面图。
符号说明10放电管；11内管；12外管；13内侧电极；14外侧电极(网状电极)；14a开口；14b细线；15绝缘性涂层具体实施方式
以下将根据附图，对根据本发明的受激准分子灯的外侧电极的实施方式的构成进行说明。
(第一实施方式)与图4所示的现有例一样，本受激准分子灯包括放电管10，其由同轴状的内管11和外管12组成，其两端由接合部16接合并作成封闭端；内侧电极13，其形成在内管11的内表面；以及外侧电极14，其设置在外管12的外表面。
如图1的斜视图(a)和断面图(b)所示，外侧电极14是具有由例如六角形细线14b形成的多个开口14a的蜂窝状结构的网状电极。该外侧电极14优选采用金、银、铂、镍或铬等金属或者两种以上这些金属的合金来形成。
然后，如图1的断面图(c)所示，预先用绝缘材料涂敷金属外侧电极14形成涂层15。作为该涂敷方法，采用溅镀、蒸镀、硫族化合物等，在金属外侧电极14上形成绝缘材料涂层15。适合作为该绝缘性涂层15的材料的有透光性良好、耐热性的SiO2、氧化铝、氟化镁等。
如图2的斜视图所示，通过烧结法等，使这样形成了绝缘性涂层15的金属的外侧电极14与放电管10的外管12的外表面紧贴。
(第二实施方式)如图3的断面图(a)所示，预先在放电管10的外管12的外表面形成金属的外侧电极14，如图3的断面图(b)所示，在外侧电极14和外管12的外表面形成透光性良好、耐热性的绝缘性涂层15。
(其他实施方式)内侧电极可以是插在内管内的棒状电极，而不是如图4所示在内管11的内表面上附着形成。并且，也可以使冷却流体在内管内流动。只要可获得规定的开口率，网状电极可以是蜂窝状结构以外的任意网状电极图案。
从基于以上实施方式的说明可知，采用本发明的受激准分子灯，通过给在放电管的外管的外表面上形成的金属外侧电极涂敷绝缘材料，可对外侧电极的氧化和消耗进行抑制，因而没有必要在灯和被照射物之间设置石英板或套管，并且由于可使灯接近被照射物，因而可提高照射效率。
权利要求
1.一种受激准分子灯，该受激准分子灯包括由形成为同轴圆筒状的内管和外管组成的放电管，并通过在形成于所述内管上的内侧电极和形成于所述外管上的外侧电极之间施加高电压，使封入在所述内管和所述外管之间的放电空间内的气体放电发光，其特征在于用绝缘材料涂敷所述外侧电极，使其不露出。
2.根据权利要求1所述的受激准分子灯，其特征在于使预先涂敷了绝缘材料的电极与外管的表面紧贴。
3.根据权利要求1所述的受激准分子灯，其特征在于预先在外管表面形成外侧电极之后，用透光性绝缘材料涂敷外管表面。
全文摘要
本发明提供一种提高安全性、效率高且经济性优良的利用电介质阻挡放电或高频放电的受激准分子灯。该受激准分子灯包括由形成为同轴圆筒状的内管11和外管12组成的放电管10，并通过在形成于内管11上的内侧电极13和形成于外管12上的外侧电极14之间施加高电压，使封入在内管11和外管12之间的放电空间内的气体放电发光。在该受激准分子灯中，用绝缘材料涂敷外侧电极14形成涂层15，使外侧电极14不露出。
文档编号H01J65/00GK1499569SQ200310103478
公开日2004年5月26日 申请日期2003年11月7日 优先权日2002年11月8日
发明者石桥纪雄, 片冈智史, 见代修一, 藤森昭芳, 一, 史, 芳 申请人:株式会社Orc制作所