专利名称：电子显微镜用的半封闭式观测环境的制作方法
技术领域：
本发明与电子显微镜有关，特别是指一种电子显微镜用的半封闭式观测环境。
背景技术：
按，公知技术中，在操作电子显微镜来观察物体时，通常受限于电子显微镜内的样品腔室的真空环境，使得待观察的物体必须为非挥发性的固体方能进行观察。若是挥发性物体，例如液态或气态的流体物质，在置入真空样品腔室后会产生的大量气体，不仅会造成电子束无法通过物体进行绕射或成像的实验，亦会导致显微镜电子枪等高真空区域的真空度下降或造成污染，而损坏电子显微镜。
由上可知，受限于真空环境的限制，传统电子显微镜只能在其样品腔室内观察固态物质的结构，或观察干燥脱水后的生物细胞(例如原核细胞prokaryote的细菌，与真核细胞eukaryote的动植物)，病毒等等生物组织，并不能观察流体样品或流体环境中具有生理功能的细胞与病毒等等，当然更无法在一大气压的流体环境下观察细胞内或细胞间各种胞器的运作，例如细胞核内DNA转录(transcription)RNA、RNA转译(translation)蛋白质(protein)、细胞质内微管体(microtubules)等生化反应过程，以及神经肌肉接合(neuromuscular junction)处的传导生理(physiology of transduction)机制等等生命现象过程。
因此，必须有一种装置可在其内部置入活体细胞或活体组织，并可将该装置置入于电子显微镜内进行观察。目前，虽已有部份人士提出在电子显微镜内提供一种可观测的环境，例如Gai P.L.(Gai P.L.，Microscopy &Microanalysis 8，21，2002)。但是其缺点是无法将样品室的压力维持接近常压或较高的压力状态下进行观察与分析，因液体为维持其液气平衡的稳定状态而会迅速挥发殆尽，所以必须持续补充液体进入样品室，但此举将造成待观测的样品产生严重的流动或新旧样品混合不均的问题而影响观测的真实性。另外大量挥发的高压蒸气或从外界注入气室区的高压气体将充满上下极块间的整个空间，也会造成电子因撞击大量气体分子产生的多重散射效应变得非常严重，而导致电子束无法顺利成像或进行电子绕射的实验。同时，其样品室的设计无法有效控制注入的液体量，故极易造成液体厚度过厚使得电子束无法穿透样品，导致无法观测与分析。
同时其设计仍必须将显微镜的主体分解才能将这些零件安装，故量产的可能性不高。
发明内容
本发明的目的在于提供一种电子显微镜用的半封闭式观测环境。
为实现上述目的，本发明提供的电子显微镜用的半封闭式观测环境，包含有一壳体，内部以至少二隔板分隔而形成一容室，以及位于该容室下方的一气室，以及位于该气室下方的至少一缓冲室，该容室的顶面具有至少一观视孔设于该壳体，且该容室的底面具有至少一观视孔设于该隔板并连通于该气室，该气室的底面具有至少一气孔设于另一隔板并连通于该缓冲室，该缓冲室的底面具有至少一外孔设于该壳体并连通于外界，该容室上下方的二该观视孔与该气孔以及该外孔为同轴，且位于上方的该观视孔封设一薄膜；该壳体于该气室的一侧设有至少一注气孔，又该壳体于该缓冲室的一侧设有至少一抽气孔。
所述的电子显微镜用的半封闭式观测环境，其中各该观视孔的孔径介于5μm-500μm之间。
所述的电子显微镜用的半封闭式观测环境，其中该薄膜设于该观视孔靠近该容室的一端。
所述的电子显微镜用的半封闭式观测环境，其中该薄膜的至少一端面设有复数肋条。
所述的电子显微镜用的半封闭式观测环境，其中该等肋条以平行或交叉或同心圆或辐射状的方式布设于各该薄膜上。
所述的电子显微镜用的封闭式观测环境，其中各该薄膜以微影蚀刻法一体成型于该壳体上。
所述的电子显微镜用的封闭式观测环境，其中该等肋条与各该薄膜一体成型。
所述的电子显微镜用的半封闭式观测环境，其中该壳体于该容室的一侧设有一注入孔，另一侧设有一流出孔。
本发明提供的电子显微镜用的半封闭式观测环境，还包含有一壳体，内部以至少二隔板分隔而形成一容室，以及至少一气室涵盖于该容室的上下方，以及位于该气室下方的一缓冲室，该容室的顶底面各具有至少一观视孔设于该隔板并连通于该气室，该气室的顶底面各具有至少一气孔设于另一隔板并连通于该缓冲室，该缓冲室的底面具有至少一外孔设于该壳体并连通于外界，该容室上下方的二该观视孔与该气室上下方的二该气孔以及该外孔为同轴，且位于上方的该气孔封设一薄膜；该壳体于该气室的一侧设有至少一注气孔，又该壳体于该缓冲室的一侧设有至少一抽气孔。
所述的电子显微镜用的半封闭式观测环境，其中该薄膜设于该气孔靠近于该气室的一端。
所述的电子显微镜用的半封闭式观测环境，其中该壳体于该容室的一侧设有一注入孔，并于该容室的另一侧设有一流出孔。
本发明还提供电子显微镜用的半封闭式观测环境，包含有一壳体，内部以至少二隔板分隔而形成一容室，以及至少一气室涵盖于该容室的上下方，以及至少一缓冲室涵盖于该气室的上下方，该容室的顶底面各具有至少一观视孔设于该隔板并连通于该气室，该气室的顶底面各具有至少一气孔设于另一隔板并连通于该缓冲室，该缓冲室的顶底面各具有至少一外孔设于该壳体并连通于外界，该容室上下方的二该观视孔与该气室上下方的二该气孔以及该缓冲室上下方的二该外孔为同轴，且位于上方的该外孔封设一薄膜；该壳体于该气室的一侧设有至少一注气孔，又该壳体于该缓冲室的一侧设有至少一抽气孔。
所述的电子显微镜用的半封闭式观测环境，其中各该薄膜设于该外孔靠近于该缓冲室的一端。
所述的电子显微镜用的半封闭式观测环境，其中该壳体于该容室的一侧设有一注入孔，并于该容室的另一侧设有一流出孔。
由本发明的实施，可供置入一般样品或活体细胞，以配合供电子显微镜进行观测；此种半封闭式设计的观测环境其厚度极薄，故不受限于高解析电子显微镜两极块间极窄间隔的限制，而可活用至高解析电子显微镜上的观测；在内部注入液体或气体时，不会有蒸气或液体逸出而产生大量气体的问题，观测上更为容易、清淅。
图1为本发明第一较佳实施例的立体示意图。
图2为本发明第一较佳实施例的剖视示意图。
图3(A)(B)(C)(D)为本发明第一较佳实施例的示意图，显示薄膜的状态。
图4为本发明第一较佳实施例的操作示意图。
图5为本发明第一较佳实施例的另一剖视示意图，显示壳体由盖体与座体结合的状态。
图6为本发明第一较佳实施例的再一剖视示意图，显示壳体内增设斜隔板的状态。
图7为本发明第一较佳实施例的又一剖视示意图，显示配合样品治具的状态。
图8为本发明第一较佳实施例的另一剖视示意图，显示配合样品治具的又一种状态。
图9为本发明第二较佳实施例的剖视示意图。
图10为本发明第二较佳实施例的操作示意图。
图11为本发明第二较佳实施例的另一剖视示意图，显示配合样品治具的状态。
图12为本发明第三较佳实施例的剖视示意图。
图13为本发明第三较佳实施例的操作示意图。
图14为显示本发明的薄膜以不同位置设置的状态。
具体实施例方式
为了详细说明本发明的构造及特点所在，举以下的三较佳实施例并配合
如后，其中的三实施例中分别描述出薄膜设置于观测孔，以及薄膜设置于气孔，以及薄膜设置于外孔的状态，而均为半封闭式的观测环境。
如图1至图3(A)图所示，本发明第一较佳实施例所提供的一种电子显微镜用的半封闭式观测环境10，主要具有一壳体11，内部是以至少二隔板12分隔而形成一容室13，以及位于该容室13下方的一气室14，以及位于该气室14下方的一缓冲室15，该容室13的顶面具有至少一观视孔131设于该壳体11，且该容室13的底面具有至少一观视孔131设于该隔板12并连通于该气室14，该气室14的底面具有至少一气孔141设于另一隔板12并连通于该缓冲室15，该缓冲室15的底面具有至少一外孔151设于该壳体11并连通于外界，该容室13上下方的二该观视孔131与该气孔141以及该外孔151为同轴，此外，各该观视孔131的孔径介于5μm-500μm之间，较佳孔径为50μm又，位于上方的该观视孔131封设一薄膜132，且该薄膜132设于该观视孔131靠近于该容室13的一端，其材质为非结晶性薄膜，例如非结晶性碳膜或较具弹性的高分子膜等，其厚度约为100至20奈米(nm)间，该薄膜132的至少一端面设有复数的肋条133，本实施例中该等肋条133彼此交叉设置，可以强化各该薄膜132的强度，使得其至少可承受一大气压的压差而不致破裂，而该薄膜132与该等肋条133可由公知的微影蚀刻方式制造并一体成型于该壳体11上，例如，可与设有观视孔的壳体壁通过微影蚀刻法来一体成型；该壳体11于该气室14的一侧设有至少一注气孔142，又该壳体11于该缓冲室15的一侧设有至少一抽气孔152；该壳体11于该容室13的一侧设有一注入孔134，另一侧设有一流出孔135。
各该观视孔131其剖面构造在本实施例中，为外大内小的推拔状，并且于该观视孔131的孔壁及该隔板12外的表面施以疏水或超疏水处理，例如制造许多直径在数百纳米以内的柱状物(pillar)，并在其表面附着一层疏水性自我组装单分子膜(self-assembly monomolecular layer)，可以使得水滴在此表面的接触角(contact angle)大于150度，以达不沾水的排水性。在对该半封闭式观测环境10内置入样品99的时候，可将液体以及待观测样品99(例如活体细胞)自一体成型的壳体11的注入孔134注入至该容室13，并利用该流出孔135来适时让注入的液体或蒸气或气体流出，以做为压力调节，而从观视孔131溢漏出来的液体样品，则会受到观视孔131孔壁及该隔板12外的超疏水表面所排斥，而在壳体11直立置放时自注气孔142流出；另有其它注入液体(样品)的方式，例如，为避免液体样品自观视孔131溢出，亦可选择在操作时提供预定压力的特定气体于该气室14中，该特定气体可为氮气、氧气、二氧化碳与惰性气体等，并控制该特定气体压力与注入该容室13内的液体压力差小于或等于该容室13内液体溶液的临界溢漏压力(Keller S.et al.，Journal of Food Protection 66，1260，2003)，藉此可使注入的液体样品在容室13内循环流动而不会自该观视孔131溢出，在进行观测时，可视实验需要而停止容室13内液体样品的流动。此外，亦可利用对该注入孔134抽水或注水，以控制该容室13内液体样品的量及其压力。当待观测样品99为活体细胞时，则可在该容室13内注入培养液或蒸气，并可将活体细胞的样品99固定在该薄膜132或容室13内壁面，其固定方法则是在薄膜132或容室13内壁面涂布一层如右旋旋光性的聚离胺酸(poly-D-lysine)的类的细胞固定剂。另外，在本实施例中，该等肋条133除了以交叉方式(图3(A))设置于该薄膜132上的外，如图3(B)(C)(D)所示，亦可以平行或同心圆或辐射状的方式布设于各该薄膜132上，而此薄膜132与肋条133可以公知的微影蚀刻方式制造。
在进行观测时，如图4配合图2所示，将该半封闭式观测环境10置入于电子显微镜90中，此种半封闭式设计的观测环境10其厚度极薄，故不受限于高解析电子显微镜(high resolution transmission electronmicroscope，HRTEM)两极块间极窄间隔的限制，而可活用至高解析电子显微镜上的观测；通过该注入孔134对该容室13内注入液体及样品99或活体细胞，并通过该注气孔142对该气室14提供预定压力的蒸气，例如总压为一大气压的饱和水蒸气(或未饱和水蒸气)与特定气体的混合气体，该特定气体可为氮气、氧气、二氧化碳与惰性气体等，该气室14内的水蒸气可抑制该容室13内的水的蒸发速率，另外，亦可提供一大气压的特定气体于该气室14中，并控制该特定气体压力与该容室13内的水溶液的压力差小于或等于该容室13内水溶液的临界溢漏压力(Keller S.et al.，Journal of Food Protection 66，1260，2003)，由此可避免该容室13内的液体溶液自该等观视孔131流出，而仅以蒸气形态缓慢挥发进入该气室14内，而该气室14内的气体及蒸气亦会经由该气孔141向外逸散至该缓冲室15。对该缓冲室15持续进行抽气，由此可将从该气室14逸散进入该缓冲室15的蒸气与气体会被抽走，而不会由该外孔151向外逸散。在进行观测时，使电子显微镜90的电子束(图中未示)通过该等外孔151以及该等气孔141以及该等观视孔131，即可对该容室13内的样品99(可为活体细胞)进行观测。其中，由该薄膜132的设置，可防止该容室13内的液体流出该壳体11外，而位于该缓冲室15内的气体及蒸气亦因为经由该抽气孔152被抽出而不会经由该外孔151逸散出该壳体11，因此该电子显微镜90内的真空环境即不会被破坏。由此可达到观视活体细胞样品99或其它样品的功效。
又，该壳体11除了如图2所示可为一体成型的外，如图5所示，该壳体11亦可由一盖体111与一座体112组合而成，而该盖体111与该座体112间可以一黏着剂(图中未示)接合而成。
此外，本第一实施例中，可在不增加壳体11厚度的条件下，在缓冲室15内部设置一斜隔板153，如图6所示，可将缓冲室15内部分隔出一子缓冲室16，该子缓冲室16于侧边设有一抽气孔161，由多层的缓冲室15，16结构，可达到逐层减压的效果，并可使得该壳体11内气室14的压力操作达一大气压以上，以及更能确保气体及蒸气不会外漏至该壳体11外。
又，再如图7所示，本发明的主要结构亦可与样品治具92(SpecimenHolder)结合在一起，而可以容室13’与气室14’与缓冲室15’配合该样品治具92来成型，图7显示第一实施例的结构配合样品治具的实施暨操作状态，其中，以一盒体19形成该容室13’设置于该样品治具92上，再将该盒体19以及该样品治具92整合设置于该壳体11’上，而于该容室13’上方的观视孔131’上设置薄膜132’，至于缓冲室15’及气室14’形成于该壳体11’内，此图7所显示的结构操作方式与前述操作方式相同，容不赘述。
另外，图8显示概同于前述第一实施例的另种状态，其中以一盒体19”内部形成一容室13”与气室14”配合设置于一样品治具92，并以该样品治具92设置于一壳体11”上，该盒体19”内的容室13”与气室14”可以公知的微影蚀刻方式制造，此种方式可使得该气室14”具有极薄的厚度以减少电子束通过气室时所产生的电子多重散射的问题；又，本实施状态较前述图2与图4所示还增加一缓冲室15”，故可使得该气室14”内的气体压力能操作达到更高压的环境。图8所显示结构的操作方式与前述概同，容不赘述。
请再参阅图9，本发明第二实施例所提供的一种电子显微镜用的半封闭式观测环境20，主要具有一壳体21内部以至少二隔板22分隔而形成一容室23，以及至少一气室24涵盖于该容室23的上下方，以及位于该气室24下方的一缓冲室25，该容室23的顶底面各具有至少一观视孔231设于该隔板22并连通于该气室24，该气室24的顶底面各具有至少一气孔241设于另一隔板22并连通于该缓冲室25，该缓冲室25的底面具有至少一外孔251设于该壳体21并连通于外界，该容室23上下方的二该观视孔231与该气室24上下方的二该气孔241以及该外孔251为同轴，且位于上方的该气孔241封设一薄膜242，该薄膜242设于该气孔241靠近于该气室24的一端；该壳体21于该气室24的一侧设有至少一注气孔243，又该壳体21于该缓冲室25的一侧设有至少一抽气孔252。该壳体21于该容室23的一侧设有一注入孔234，并于该容室23的另一侧设有一流出孔235。
本第二实施例在操作时，如图10配合图9所示，置入于电子显微镜90内的状态概同于前述第一实施例，且操作状态概同于前述第一实施例，主要不同处在于本第二实施例较第一实施例多出位于上方的一气室24，而该薄膜242(示于图9)设置于最上方的该气孔241上。而其它对于该容室23、气室24以及缓冲室25的操作与前述第一实施例相同，容不赘述。
此外，在本第二实施例中，可在不增加壳体21厚度的条件下，亦可于该缓冲室25内部设置斜隔板(图中未示)，其设置方式可参考图6，而可于该缓冲室25内部分隔出一子缓冲室(图中未示)，以产生更多层的缓冲室，而能达到逐层减压的效果，并可使得该壳体内气室的压力可操作达到更高压的环境。
又，再如图11所示，本发明的主要结构亦可与样品治具92(SpecimenHolder)结合在一起，而可以一盒体29内部形成容室23’与气室24’来设置于该样品治具92，再由该样品治具92与一壳体21’配合形成二缓冲室25’，藉此可产生与前述图9类同的结构，且又可以图7类同的状态来操作，且图11所显示的结构较图7多出一缓冲室，可使得该盒体29内气室24’的压力能操作达到更高压的环境。
请再参阅图12，本发明第三实施例所提供的一种电子显微镜用的半封闭式观测环境30，主要具有一壳体31内部以至少二隔板32分隔而形成一容室33，以及至少一气室34涵盖于该容室33的上下方，以及至少一缓冲室35涵盖于该气室34的上下方，该容室33的顶底面各具有至少一观视孔331设于该隔板32并连通于该气室34，该气室34的顶底面各具有至少一气孔341设于另一隔板32并连通于该缓冲室35，该缓冲室35的顶底面各具有至少一外孔351设于该壳体31并连通于外界，该容室33上下方的二该观视孔331与该气室34上下方的二该气孔341以及该缓冲室35上下方的二该外孔351为同轴，且位于上方的该外孔351封设一薄膜352，该薄膜352设于该外孔351靠近于该缓冲室35的一端；该壳体31于该气室34的一侧设有至少一注气孔342，又该壳体31于该缓冲室35的一侧设有至少一抽气孔353。该壳体31于该容室33的一侧设有一注入孔334，并于该容室33的另一侧设有一流出孔335。
本第三实施例在操作时，如图13所示，置入于电子显微镜90内的状态概同于前述第二实施例，且操作状态概同于前述第一实施例，主要不同处在于本第三实施例较第二实施例多出位于上方的一缓冲室35，而该薄膜352(示于图12)设置于最上方的该外孔351上。而其它对于该容室33、气室34以及缓冲室35的操作与前述第一实施例相同，容不赘述。
又，在本第三实施例中，亦可在不增加壳体31厚度的条件下，在该缓冲室35内部设置斜隔板(图中未示)，其设置方式可参考图6，而可于该缓冲室35内部分隔出一子缓冲室(图中未示)，以产生更多层的缓冲室，而能达到逐层减压的效果，并可使得该壳体内气室的压力可操作达到更高压的环境。
本发明在前述三实施例中，描述出薄膜设置于各种不同位置的状态，然此为举例而已，并无意用以限制本发明的范围，以第三实施例的图12所示架构为例，薄膜除了可设置于外孔上，亦可仅设置于观视孔与气孔其中之一，或薄膜亦可设置于观视孔、气孔与外孔其中之二或全部设置，亦可设置于下方而不以上方为限。又，以第三实施例的架构配合图14所示，薄膜352可设置于上方的观视孔331以及下方的气孔341，而可同样具有半封闭的效果，而具有与前述实施例相同的功效以及相同的操作方式。
而前述诸多实施例中，该薄膜设置的位置仅为举例说明的用，并非以靠近某一室(容室，气室，缓冲室)的一端为限制，故其等效的变化，应为本发明的申请专利范围所涵盖。换言之，增设薄膜亦为本发明申请专利范围所涵盖。
另外，前述诸实施例中，各该容室内可供置入活体细胞样品，活体细胞样品可固定于该容室的内壁面或内侧壁面，或是在第一实施例中把活体细胞样品固定于一该观视孔上设置的薄膜，其固定方法是在薄膜与容室内壁面涂布一层细胞固定剂，例如惯用的右旋旋光性的聚离胺酸(poly-D-lysine)等类型材料。
由上可知，本发明的优点在于一、可提供一观察样品或活体细胞的环境本发明可于该容室中置入一般样品或活体细胞，以配合供电子显微镜进行观测，解决了公知技术无法对活体细胞进行观测的问题。
二、不会损坏电子显微镜本发明在该容室内注入液体或气体时，可由该等气室以及缓冲室来达到降压以及抽气的效果，可将蒸气完全自该缓冲室抽出，避免了该壳体内的蒸气逸出，不仅观测上更为容易、清淅，且不会损坏电子显微镜。
三、本发明的半封闭式观测环境的壳体厚度极薄，故不受限于高解析电子显微镜(high resolution transmission electron microscope HRTEM)两极块间极窄间隔的限制。
本发明所描述的各组件，仅为举例说明，并非用来限制本发明的范围，本发明的范围仍应以申请专利范围为准，由本发明所衍生的其它的变化及转用，亦应为本发明的申请专利范围所涵盖。
权利要求
1.一种电子显微镜用的半封闭式观测环境，包含有一壳体，内部以至少二隔板分隔而形成一容室，以及位于该容室下方的一气室，以及位于该气室下方的至少一缓冲室，该容室的顶面具有至少一观视孔设于该壳体，且该容室的底面具有至少一观视孔设于该隔板并连通于该气室，该气室的底面具有至少一气孔设于另一隔板并连通于该缓冲室，该缓冲室的底面具有至少一外孔设于该壳体并连通于外界，该容室上下方的二该观视孔与该气孔以及该外孔为同轴，且位于上方的该观视孔封设一薄膜；该壳体于该气室的一侧设有至少一注气孔，又该壳体于该缓冲室的一侧设有至少一抽气孔。
2.依据权利要求1所述的电子显微镜用的半封闭式观测环境，其特征在于，其中各该观视孔的孔径介于5μm-500μm之间。
3.依据权利要求1所述的电子显微镜用的半封闭式观测环境，其特征在于，其中该薄膜设于该观视孔靠近该容室的一端。
4.依据权利要求3所述的电子显微镜用的半封闭式观测环境，其特征在于，其中该薄膜的至少一端面设有复数肋条。
5.依据权利要求4所述的电子显微镜用的半封闭式观测环境，其特征在于，其中该等肋条以平行或交叉或同心圆或辐射状的方式布设于各该薄膜上。
6.依据权利要求3所述的电子显微镜用的封闭式观测环境，其特征在于，其中各该薄膜以微影蚀刻法一体成型于该壳体上。
7.依据权利要求6所述的电子显微镜用的封闭式观测环境，其特征在于，其中该等肋条与各该薄膜一体成型。
8.依据权利要求1所述的电子显微镜用的半封闭式观测环境，其特征在于，其中该壳体于该容室的一侧设有一注入孔，另一侧设有一流出孔。
9.一种电子显微镜用的半封闭式观测环境，包含有一壳体，内部以至少二隔板分隔而形成一容室，以及至少一气室涵盖于该容室的上下方，以及位于该气室下方的一缓冲室，该容室的顶底面各具有至少一观视孔设于该隔板并连通于该气室，该气室的顶底面各具有至少一气孔设于另一隔板并连通于该缓冲室，该缓冲室的底面具有至少一外孔设于该壳体并连通于外界，该容室上下方的二该观视孔与该气室上下方的二该气孔以及该外孔为同轴，且位于上方的该气孔封设一薄膜；该壳体于该气室的一侧设有至少一注气孔，又该壳体于该缓冲室的一侧设有至少一抽气孔。
10.依据权利要求9所述的电子显微镜用的半封闭式观测环境，其特征在于，其中该薄膜设于该气孔靠近于该气室的一端。
11.依据权利要求9所述的电子显微镜用的半封闭式观测环境，其特征在于，其中该壳体于该容室的一侧设有一注入孔，并于该容室的另一侧设有一流出孔。
12.一种电子显微镜用的半封闭式观测环境，包含有一壳体，内部以至少二隔板分隔而形成一容室，以及至少一气室涵盖于该容室的上下方，以及至少一缓冲室涵盖于该气室的上下方，该容室的顶底面各具有至少一观视孔设于该隔板并连通于该气室，该气室的顶底面各具有至少一气孔设于另一隔板并连通于该缓冲室，该缓冲室的顶底面各具有至少一外孔设于该壳体并连通于外界，该容室上下方的二该观视孔与该气室上下方的二该气孔以及该缓冲室上下方的二该外孔为同轴，且位于上方的该外孔封设一薄膜；该壳体于该气室的一侧设有至少一注气孔，又该壳体于该缓冲室的一侧设有至少一抽气孔。
13.依据权利要求12所述的电子显微镜用的半封闭式观测环境，其特征在于，其中各该薄膜设于该外孔靠近于该缓冲室的一端。
14.依据权利要求12所述的电子显微镜用的半封闭式观测环境，其特征在于，其中该壳体于该容室的一侧设有一注入孔，并于该容室的另一侧设有一流出孔。
全文摘要
本发明是有关一种电子显微镜用的半封闭式观测环境，包含有一壳体，内部是以隔板分隔形成一容室，以及形成位于该容室下方的一气室，以及形成位于该气室下方的一缓冲室，该容室的顶面具有至少一观视孔设于该壳体，底面具有至少一观视孔设于该隔板并连通于该气室，该气室的底面具有至少一气孔设于另一隔板并连通于该缓冲室，该缓冲室的底面具有至少一外孔设于该壳体并连通于外界，该二观视孔与该气孔以及该外孔系同轴，且位于上方的该观视孔封设一薄膜；该壳体于该气室的一侧设有至少一注气孔，又该壳体于该缓冲室的一侧设有至少一抽气孔；由此可达到提供电子显微镜的观测环境，并且仍能具有清淅的观测结果。
文档编号H01J37/26GK1979747SQ200510130410
公开日2007年6月13日 申请日期2005年12月9日 优先权日2005年12月9日
发明者赵治宇, 谢文俊 申请人:李炳寰