专利名称：准分子放电管的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种被用作光化学反应用的紫外线光源的放电管，特别是一种将外管和内管配置在同轴上、具有双重管结构的准分子放电管。
背景领域准分子放电管具有能强烈的放射出单一波长的真空紫外光的特长，例如使用氙气作为放电气体的准分子放电管中，放射出波长172nm的真空紫外光是公知的。此外，在氪和氯的混合气体的情况下，放射出波长222nm的紫外光。通过改变容器内的放电用气体，可以放射出各种波长的光。现有的准分子放电管往往结构复杂，制作工艺繁复，制作成本高。
实用新型内容本实用新型旨在提供一种制作简单，成本低廉，紫外线发光效率高且使用寿命长的准分子放电管。
为解决上述技术问题，本实用新型所采用的技术方案的基本构思是一种准分子放电管，将外管和内管相套，形成双重管的结构，外管和内管两端相互封闭，形成一个内管之外外管之内的密闭的充气空间，内管内侧填有反光金属细料，金属细料连接引出线，两者一起构成内电极；外管外侧缠绕线圈状的耐紫外线金属丝作为外电极。
本实用新型还可以外管和内管均为石英玻璃管，在内管内侧填充的反光金属细料为软性的铝质的材料，内电极中间插入冷却用金属水管，充气空间内抽成真空后注入惰性气体、卤素气体、卤化惰性气体或者卤化汞气体，外管外侧缠绕的耐紫外线金属丝可以是镍丝或者不锈钢丝，其直径一般为0.3～1mm，绕线之间的间隔距离一般为0.5～9mm。
本实用新型由于在内管内侧填有反光金属细料，所以反光效果好，且不需要特殊的内电极电镀膜设备，制造工艺简单，成本大大降低，管长可以不限，管径可粗可细，多支放电管并排时，可以形成一个相对均匀的面光源。
图1为本实用新型的结构示意图图2为本实用新型的纵截面图其中1、外管，2、内管，3、耐紫外线金属丝，4、外电极，5、反光金属细料，6、内电极，7、充气空间具体实施方式
以下结合附图对本实用新型的具体实施方式
作进一步详细的描述一种准分子放电管，将石英玻璃的外管1与内管2相套配置在同轴上，外管1和内管2两端相互封闭，形成一个外管1内侧和内管2外侧的空心圆柱体状的密闭充气空间7。充气空间7内抽成真空后注入惰性气体、卤素气体、卤化惰性气体或者卤化汞气体，在内管2内侧填有软性的铝质反光金属细料5，金属细料5连接引出线并且与引出线一起构成内电极6；内电极6中间还可以插入冷却用金属水管(未图示)，外管1外侧缠绕有线圈状的耐紫外线金属丝3作为外电极4，耐紫外线金属丝3可以是镍丝或者不锈钢丝，其直径一般为0.3～1mm，绕线之间的间隔距离一般为0.5～9mm。
当两极间加高频高压交流电后，准分子放电管能从缠绕的金属丝间发出波长较为单一的紫外线。
权利要求1.一种准分子放电管，将外管和内管相套，形成双重管的结构，外管和内管两端相互封闭，形成一个内管之外外管之内的密闭的充气空间，其特征在于，内管内侧填有反光金属细料，金属细料连接引出线，两者一起构成内电极；外管外侧缠绕线圈状的耐紫外线金属丝作为外电极。
2.根据权利要求1所述的准分子放电管，其特征在于，外管和内管均为石英玻璃管。
3.根据权利要求1或2所述的准分子放电管，其特征在于，内管内侧填充的反光金属细料为软性的铝质材料。
4.根据权利要求3所述的准分子放电管，其特征在于，内电极中间可插入冷却用金属水管。
5.根据权利要求1所述的准分子放电管，其特征在于，充气空间内抽成真空后注入惰性气体、卤素气体、卤化惰性气体或者卤化汞气体。
6.根据权利要求1所述的准分子放电管，其特征在于，外管外侧缠绕的耐紫外线金属丝为镍丝、不锈钢丝。
7.根据权利要求6所述的准分子放电管，其特征在于，耐紫外线金属丝直径一般为0.3～1mm。
8.根据权利要求1所述的准分子放电管，其特征在于，外管外侧缠绕的耐紫外线金属丝之间的间隔距离为0.5～9mm。
专利摘要本实用新型目的在于提供一种准分子放电管，该准分子放电管将外管和内管相套配置在同轴上，两管两端相互封闭，形成一个密闭的充气空间。内管内侧填有反光金属细料，金属细料连接引出线，两者一起构成内电极，外管外侧缠绕线圈状的金属丝作为外电极。当两极间加高频高压交流电后，准分子放电管能从缠绕的金属丝间发出波长较为单一的紫外线。本实用新型具有制作工艺简单，制作成本低，使用寿命长的优点。
文档编号H01J11/20GK2886800SQ200620039229
公开日2007年4月4日 申请日期2006年1月25日 优先权日2006年1月25日
发明者王国征 申请人:上海国达特殊光源有限公司