专利名称:折弯型下栅控结构的平板显示器及其制作工艺的制作方法
技术领域:
本发明属于平板显示技术领域、微电子科学与技术领域、真空科学与技术领域以及纳米科学与技术领域的相互交叉领域,涉及到平板场致发射显示器的器件制作,具体涉及到碳纳米管阴极的平板场致发射显示器的器件制作方面的内容,特别涉及一种折弯型下栅控结构的平板显示器及其制作工艺。
背景技术:
显示器件是光电显示系统中的核心,也一直是活动图像的主要显示手段。目前,平板显示技术已经有了飞跃的发展,在高清晰度电视,可视电话,计算机显示器,汽车用数字化终端以及军事系统等应用目标的推动下,显示技术正在朝向高分辨率、大显示容量、完全平板化以及大型化方向发展。碳纳米管是一种薄薄的石墨层卷曲结构物质,具有小的尖端曲率半径,能够在外界电场强度的作用下发射出大量的电子,也就是优秀的冷场致发射功能。利用这一工作原理,已经进行了碳纳米管阴极的场致发射平板显示器的研制。这种显示器具有高清晰度、高显示分辨率、高图像质量等优点,业已成为了下一代平板显示器件的发展方向。
栅极结构是三极结构碳纳米管阴极场致发射平板显示器中最为关键的控制元件之一,它直接决定着碳纳米管阴极的电子发射。尽管目前栅极结构的控制模式多种多样,但实质上是一致的,那就是将外界施加的电压转换为碳纳米管阴极表面顶端的强大的电场强度,迫使碳纳米管发射出大量的电子。由于所发射的电子要受到栅极结构正电压的作用而被栅极进行部分电子截留,也就是栅极电流过于偏大的形成原因;而受到具体制作工艺以及制作材料的影响,栅极结构和碳纳米管阴极结构之间的距离不能很近,这也是栅极电压居高不下的主要原因。此外,碳纳米管阴极的形状也会对所形成的电场强度有着一定的影响作用,也会间接导致栅极电压有些偏高。对于这些实际问题,目前还没有一个比较完美的解决办法,都需要众多研究人员认真的考虑和解决。
此外,在三极结构的平板场致发射显示器件当中,在确保栅极结构对碳纳米管阴极具有良好控制作用的前提下,还需要尽可能的降低总体器件成本,进行稳定可靠、成本低廉、性能优良、高质量的器件制作。
发明内容
本发明的目的在于克服上述平板显示器件中存在的缺点和不足而提供一种成本低廉、制作过程稳定可靠、制作成功率高、结构简单的折弯型下栅控结构的平板显示器及其制作工艺。
本发明的目的是这样实现的,包括由阳极玻璃面板、阴极玻璃面板和四周玻璃围框所构成的密封真空腔;设置在阳极玻璃面板上有阳极导电层以及制备在阳极导电层上面的荧光粉层;位于阳极玻璃面板和阴极玻璃面板之间的支撑墙结构以及消气剂附属元件;在阴极玻璃面板上设置有栅极引线层、碳纳米管以及折弯型下栅控结构。
所述的折弯型下栅控结构的衬底材料为钠钙玻璃、硼硅玻璃,也就是阴极玻璃面板;阴极玻璃面板上的印刷的绝缘浆料层形成阻滞层;阻滞层上面的刻蚀后的金属层形成栅极引线层;栅极引线层上面的印刷的绝缘浆料层形成间隔一层;间隔一层的上下表面均为平面,下表面要覆盖住栅极引线层以及空余的阻滞层部分;间隔一层中存在斜面孔,即整个斜面孔为一个尖端朝向正下方的倒置尖角圆锥型形状,斜面孔在间隔一层上表面处所形成的截面为中空的圆型孔,此处的倒置尖角圆锥型的底面直径最大,然后从间隔一层的上表面开始,依次逐渐向间隔一层的内部凹陷,直至到达间隔一层的下表面位置为止,斜面孔的内侧壁为一个直线倾斜面;间隔一层斜面孔中的底部要暴露出栅极引线层;间隔一层斜面孔中内侧壁上的刻蚀后的金属层形成调控栅极层;调控栅极层要布满间隔一层斜面孔的内侧壁,且和底部的栅极引线层是相互连通的;间隔一层斜面孔中印刷的绝缘浆料层形成间隔二层;间隔二层要填充满斜面孔,其上表面与间隔一层的上表面相平齐;间隔一层和间隔二层上表面的印刷的绝缘浆料层形成间隔三层;间隔三层的上下表面均为平面,其下表面要完全覆盖住间隔一层和间隔二层的上表面;间隔三层中存在异型孔,即此异型孔为一个尖角向下的倒置直角三角型形状,其侧面直角边形成了异型孔的竖直侧壁,其底部直角边开口于间隔三层的上表面,其斜边垂直于调控栅极层方向,整个倒置直角三角型环绕在调控栅极层的周围,形成一个直角三角环形形状;间隔三层的上表面上刻蚀后的金属层形成阴极引线层;间隔三层中异型孔的斜边侧壁上的刻蚀后的金属层形成阴极过渡层;阴极过渡层布满异型孔斜边侧壁上;阴极过渡层上面的刻蚀后的金属层形成阴极导电层;阴极引线层、阴极过渡层以及阴极导电层都是相互连通的;阴极引线层上面的印刷的绝缘浆料层形成阴极覆盖层;碳纳米管制备在阴极导电层上面。
所述的折弯型下栅控结构的固定位置为安装固定在阴极玻璃面板上;栅极引线层可以为金属金、银、铝、钼、铬;调控栅极层可以为金属金、银、铝、钼、铬;阴极引线层的走向和栅极引线层的走向是相互垂直的;阴极引线层可以为金属金、银、铝、铜、钼、铬、锡、铅、铟;阴极过渡层可以为金属金、银、铝、铜、钼、铬、锡;阴极导电层可以为金属铁、钴、镍。
一种折弯型下栅控结构的平板显示器的制作工艺,其制作工艺如下
1)阴极玻璃面板的制作对整体平板玻璃进行划割,制作出阴极玻璃面板;2)阻滞层的制作在阴极玻璃面板上印刷绝缘浆料层,经烘烤、烧结工艺后形成阻滞层;3)栅极引线层的制作在阻滞层的上面制备出一个金属层,刻蚀后形成栅极引线层;4)间隔一层的制作在栅极引线层的上面印刷绝缘浆料层,经烘烤、烧结工艺后形成间隔一层;5)调控栅极层的制作在间隔一层斜面孔中内侧壁上制备出一个金属层,刻蚀后形成调控栅极层;6)间隔二层的制作在间隔一层斜面孔中印刷绝缘浆料层,经烘烤、烧结工艺后形成间隔二层;7)间隔三层的制作在间隔一层和间隔二层的上表面上印刷绝缘浆料,经烘烤、烧结工艺后形成间隔三层;8)阴极引线层的制作在间隔三层的上表面上制备出一个金属层,刻蚀后形成阴极引线层;9)阴极过渡层的制作在间隔三层异型孔斜边侧壁上制备出一个金属层,刻蚀后形成阴极过渡层;10)阴极导电层的制作在阴极过渡层的上表面上制备出一个金属层,刻蚀后形成阴极导电层;11)阴极覆盖层的制作在阴极引线层的上面印刷绝缘浆料层,经烘烤、烧结工艺后形成阴极覆盖层;12)折弯型下栅控结构的表面清洁处理对折弯型下栅控结构的表面进行清洁处理,除掉杂质和灰尘;
13)碳纳米管的制备将碳纳米管制备在阴极导电层上面;14)阳极玻璃面板的制作对整体平板玻璃进行划割,制作出阳极玻璃面板;15)阳极导电层的制作在阳极玻璃面板上蒸镀一层锡铟氧化物膜层;刻蚀后形成阳极导电层;16)绝缘浆料层的制作在阳极导电层的非显示区域印刷绝缘浆料层;17)荧光粉层的制作在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层;18)器件装配将阴极玻璃面板、阳极玻璃面板、支撑墙结构和四周玻璃围框装配到一起,并将消气剂放入到空腔当中,用低熔点玻璃粉固定;19)成品制作对已经装配好的器件进行封装工艺形成成品件。
所述步骤16具体为在阳极导电层的非显示区域印刷绝缘浆料层,用于防止寄生电子发射;经过烘烤(烘烤温度150℃,保持时间5分钟)之后,放置在烧结炉中进行高温烧结(烧结温度580℃,保持时间10分钟)。
所述步骤17具体为在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层;在烘箱当中进行烘烤(烘烤温度120℃,保持时间10分钟)。
所述步骤19具体为对已经装配好的器件进行如下的封装工艺将样品器件放入烘箱当中进行烘烤;放入烧结炉当中进行烧结;在排气台上进行器件排气、封离,在烤消机上对器件内部的消气剂进行烤消,最后加装管脚形成成品件。
本发明具有如下的积极效果首先,在所述的折弯型下栅控结构中,分别制作了栅极引线层和调控栅极层结构。其中栅极引线层能够将外界电压传递到器件内部,而呈现V字型的调控栅极层则能够将外界电压装换成碳纳米管阴极表面顶端的强大电场强度,迫使碳纳米管发射出大量的电子。由于所发射的电子束在阳极高电压作用下直接飞向阳极,不会受到底部栅极结构的截留,这样就极大地减小了栅极的工作电流,有助于增强器件的显示亮度;由于调控栅极层的末端可以尽可能的接近于碳纳米管阴极,从而能够极大的降低栅极结构的工作电压。
其次,在所述的折弯型下栅控结构中,将碳纳米管阴极制备在了呈现斜面型的阴极导电层的上面。改变了宏观碳纳米管阴极的表面形状,有助于增强碳纳米管阴极的表面电场强度,间接降低栅极的工作电压。极大地增加了碳纳米管阴极的电子发射面积,使得更多的碳纳米管阴极都参与电子发射,有利于提高阳极工作电流。将栅极结构和阴极结构高度集成到一起,有助于促进整体器件的高度集成化发展;此外,在所述的折弯型下栅控结构中,并没有采用特殊的结构制作材料,也没有采用特殊的器件制作工艺,这在很大程度上就进一步降低了整体平板显示器件的制作成本,简化了器件的制作过程,能够进行大面积的器件制作,有利于进行商业化的大规模生产。
图1给出了折弯型下栅控结构的纵向结构示意图;图2给出了折弯型下栅控结构的横向结构示意图;图3给出了带有折弯型下栅控结构发射结构的、碳纳米管场致发射平面显示器的结构示意图。
具体实施例方式
下面结合附图和实施例对本发明进一步说明,但本发明并不限于实施例。
所述的一种带有折弯型下栅控结构的平板显示器,包括由阳极玻璃面板[13]、阴极玻璃面板[1]和四周玻璃围框[18]所构成的密封真空腔;在阳极玻璃面板上有阳极导电层[14]以及制备在阳极导电层上面的荧光粉层[16];在阴极玻璃面板上有栅极引线层[3]、碳纳米管[12]以及折弯型下栅控结构;位于阳极玻璃面板和阴极玻璃面板之间的支撑墙结构[17]以及消气剂[19]附属元件。
所述的折弯型下栅控结构包括阴极玻璃面板[1]、阻滞层[2]、栅极引线层[3]、间隔一层[4]、调控栅极层[5]、间隔二层[6]、间隔三层[7]、阴极引线层[8]、阴极过渡层[9]、阴极导电层[10]、阴极覆盖层[11]和碳纳米管[12]部分。
所述的折弯型下栅控结构的衬底材料为玻璃,如钠钙玻璃、硼硅玻璃,也就是阴极玻璃面板;阴极玻璃面板上的印刷的绝缘浆料层形成阻滞层;阻滞层上面的刻蚀后的金属层形成栅极引线层;栅极引线层上面的印刷的绝缘浆料层形成间隔一层;间隔一层的上下表面均为平面,下表面要覆盖住栅极引线层以及空余的阻滞层部分;间隔一层中存在斜面孔,即整个斜面孔为一个尖端朝向正下方的倒置尖角圆锥型形状,斜面孔在间隔一层上表面处所形成的截面为中空的圆型孔,此处的倒置尖角圆锥型的底面直径最大,然后从间隔一层的上表面开始,依次逐渐向间隔一层的内部凹陷,直至到达间隔一层的下表面位置为止,斜面孔的内侧壁为一个直线倾斜面;间隔一层斜面孔中的底部要暴露出栅极引线层;间隔一层斜面孔中内侧壁上的刻蚀后的金属层形成调控栅极层;调控栅极层要布满间隔一层斜面孔的内侧壁,且和底部的栅极引线层是相互连通的;间隔一层斜面孔中印刷的绝缘浆料层形成间隔二层;间隔二层要填充满斜面孔,其上表面与间隔一层的上表面相平齐;间隔一层和间隔二层上表面的印刷的绝缘浆料层形成间隔三层;间隔三层的上下表面均为平面,其下表面要完全覆盖住间隔一层和间隔二层的上表面;间隔三层中存在异型孔,即此异型孔为一个尖角向下的倒置直角三角型形状,其侧面直角边形成了异型孔的竖直侧壁,其底部直角边开口于间隔三层的上表面,其斜边垂直于调控栅极层方向,整个倒置直角三角型环绕在调控栅极层的周围,形成一个直角三角环形形状;间隔三层的上表面上刻蚀后的金属层形成阴极引线层;间隔三层中异型孔的斜边侧壁上的刻蚀后的金属层形成阴极过渡层;阴极过渡层布满异型孔斜边侧壁上;阴极过渡层上面的刻蚀后的金属层形成阴极导电层;阴极引线层、阴极过渡层以及阴极导电层都是相互连通的;阴极引线层上面的印刷的绝缘浆料层形成阴极覆盖层;碳纳米管制备在阴极导电层上面。
所述的折弯型下栅控结构的固定位置为安装固定在阴极玻璃面板上;栅极引线层可以为金属金、银、铝、钼、铬;调控栅极层可以为金属金、银、铝、钼、铬;阴极引线层的走向和栅极引线层的走向是相互垂直的;阴极引线层可以为金属金、银、铝、铜、钼、铬、锡、铅、铟;阴极过渡层可以为金属金、银、铝、铜、钼、铬、锡;阴极导电层可以为金属铁、钴、镍。
一种带有折弯型下栅控结构的平板显示器的制作工艺,其制作工艺如下1)阴极玻璃面板[1]的制作对整体平板钠钙玻璃进行划割,制作出阴极玻璃面板;2)阻滞层[2]的制作在阴极玻璃面板上印刷绝缘浆料层,经烘烤、烧结工艺后形成阻滞层;3)栅极引线层[3]的制作在阻滞层的上面制备出一个金属铬层,刻蚀后形成栅极引线层;4)间隔一层[4]的制作在栅极引线层的上面印刷绝缘浆料层,经烘烤、烧结工艺后形成间隔一层;5)调控栅极层[5]的制作在间隔一层斜面孔中内侧壁上制备出一个金属铬层,刻蚀后形成调控栅极层;6)间隔二层[6]的制作在间隔一层斜面孔中印刷绝缘浆料层,经烘烤、烧结工艺后形成间隔二层;7)间隔三层[7]的制作在间隔一层和间隔二层的上表面上印刷绝缘浆料,经烘烤、烧结工艺后形成间隔三层;8)阴极引线层[8]的制作在间隔三层的上表而上制备出一个金属钼层,刻蚀后形成阴极引线层;9)阴极过渡层[9]的制作在间隔三层异型孔斜边侧壁上制备出一个金属铬层,刻蚀后形成阴极过渡层;10)阴极导电层[10]的制作在阴极过渡层的上表面上制备出一个金属镍层,刻蚀后形成阴极导电层;11)阴极覆盖层[11]的制作在阴极引线层的上面印刷绝缘浆料层,经烘烤、烧结工艺后形成阴极覆盖层;12)折弯型下栅控结构的表面清洁处理对折弯型下栅控结构的表面进行清洁处理,除掉杂质和灰尘;13)碳纳米管[12]的制备将碳纳米管制备在阴极导电层上面;14)碳纳米管的后处理对碳纳米管进行后处理,改善场致发射特性;15)阳极玻璃面板[13]的制作对整体平板钠钙玻璃进行划割,制作出阳极玻璃面板;16)阳极导电层[14]的制作在阳极玻璃面板上蒸镀一层锡铟氧化物膜层;刻蚀后形成阳极导电层;17)绝缘浆料层[15]的制作在阳极导电层的非显示区域印刷绝缘浆料层;18)荧光粉层[16]的制作在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层;19)器件装配将阴极玻璃面板、阳极玻璃面板、支撑墙结构[17]和四周玻璃围框[18]装配到一起,并将消气剂[19]放入到空腔当中,用低熔点玻璃粉固定。在玻璃面板的四周涂抹好低熔点玻璃粉,用夹子固定;20)成品制作对已经装配好的器件进行封装工艺形成成品件。
所述步骤17具体为在阳极导电层的非显示区域印刷绝缘浆料层,用于防止寄生电子发射;经过烘烤(烘烤温度150℃,保持时间5分钟)之后,放置在烧结炉中进行高温烧结(烧结温度580℃,保持时间10分钟)。
所述步骤18具体为在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层;在烘箱当中进行烘烤(烘烤温度120℃,保持时间10分钟)。
所述步骤20具体为对已经装配好的器件进行如下的封装工艺将样品器件放入烘箱当中进行烘烤;放入烧结炉当中进行烧结;在排气台上进行器件排气、封离,在烤消机上对器件内部的消气剂进行烤消,最后加装管脚形成成品件。
权利要求
1.一种折弯型下栅控结构的平板显示器,包括由阳极玻璃面板[13]、阴极玻璃面板[1]和四周玻璃围框[18]所构成的密封真空腔;设置在阳极玻璃面板上的阳极导电层[14]以及制备在阳极导电层上面的荧光粉层[16];位于阳极玻璃面板和阴极玻璃面板之间的支撑墙结构[17]以及消气剂附属元件[19],其特征在于在阴极玻璃面板上设置有栅极引线层[3]、碳纳米管[12]以及折弯型下栅控结构。
2.根据权利要求1所述的折弯型下栅控结构的平板显示器,其特征在于所述的折弯型下栅控结构的衬底材料为钠钙玻璃、硼硅玻璃,也就是阴极玻璃面板;阴极玻璃面板上的印刷的绝缘浆料层形成阻滞层;阻滞层上面的刻蚀后的金属层形成栅极引线层;栅极引线层上面的印刷的绝缘浆料层形成间隔一层;间隔一层的上下表面均为平面,下表面要覆盖住栅极引线层以及空余的阻滞层部分;间隔一层中存在斜面孔,即整个斜面孔为一个尖端朝向正下方的倒置尖角圆锥型形状,斜面孔在间隔一层上表面处所形成的截面为中空的圆型孔,此处的倒置尖角圆锥型的底面直径最大,然后从间隔一层的上表面开始,依次逐渐向间隔一层的内部凹陷,直至到达间隔一层的下表面位置为止,斜面孔的内侧壁为一个直线倾斜面;间隔一层斜面孔中的底部要暴露出栅极引线层;间隔一层斜面孔中内侧壁上的刻蚀后的金属层形成调控栅极层;调控栅极层要布满间隔一层斜面孔的内侧壁,且和底部的栅极引线层是相互连通的;间隔一层斜面孔中印刷的绝缘浆料层形成间隔二层;间隔二层要填充满斜面孔,其上表面与间隔一层的上表面相平齐;间隔一层和间隔二层上表面的印刷的绝缘浆料层形成间隔三层;间隔三层的上下表面均为平面,其下表面要完全覆盖住间隔一层和间隔二层的上表面;间隔三层中存在异型孔,即此异型孔为一个尖角向下的倒置直角三角型形状,其侧面直角边形成了异型孔的竖直侧壁,其底部直角边开口于间隔三层的上表面,其斜边垂直于调控栅极层方向,整个倒置直角三角型环绕在调控栅极层的周围,形成一个直角三角环形形状;间隔三层的上表面上刻蚀后的金属层形成阴极引线层;间隔三层中异型孔的斜边侧壁上的刻蚀后的金属层形成阴极过渡层;阴极过渡层布满异型孔斜边侧壁上;阴极过渡层上面的刻蚀后的金属层形成阴极导电层;阴极引线层、阴极过渡层以及阴极导电层都是相互连通的;阴极引线层上面的印刷的绝缘浆料层形成阴极覆盖层;碳纳米管制备在阴极导电层上面。
3.根据权利要求2所述的折弯型下栅控结构的平板显示器,其特征在于所述的折弯型下栅控结构的固定位置为安装固定在阴极玻璃面板上;栅极引线层为金属金、银、铝、钼、铬;调控栅极层为金属金、银、铝、钼、铬;阴极引线层的走向和栅极引线层的走向相互垂直;阴极引线层为金属金、银、铝、铜、钼、铬、锡、铅、铟;阴极过渡层为金属金、银、铝、铜、钼、铬、锡;阴极导电层为金属铁、钴、镍。
4.一种折弯型下栅控结构的平板显示器的制作工艺,其特征在于,其制作工艺如下1)阴极玻璃面板[1]的制作对整体平板玻璃进行划割,制作出阴极玻璃面板;2)阻滞层[2]的制作在阴极玻璃面板上印刷绝缘浆料层,经烘烤、烧结工艺后形成阻滞层;3)栅极引线层[3]的制作在阻滞层的上面制备出一个金属层,刻蚀后形成栅极引线层;4)间隔一层[4]的制作在栅极引线层的上面印刷绝缘浆料层,经烘烤、烧结工艺后形成间隔一层;5)调控栅极层[5]的制作在间隔一层斜面孔中内侧壁上制备出一个金属层,刻蚀后形成调控栅极层;6)间隔二层[6]的制作在间隔一层斜面孔中印刷绝缘浆料层,经烘烤、烧结工艺后形成间隔二层;7)间隔三层[7]的制作在间隔一层和间隔二层的上表面上印刷绝缘浆料,经烘烤、烧结工艺后形成间隔三层;8)阴极引线层[8]的制作在间隔三层的上表面上制备出一个金属层,刻蚀后形成阴极引线层;9)阴极过渡层[9]的制作在间隔三层异型孔斜边侧壁上制备出一个金属铬层,刻蚀后形成阴极过渡层;10)阴极导电层[10]的制作在阴极过渡层的上表面上制备出一个金属层,刻蚀后形成阴极导电层;11)阴极覆盖层[11]的制作在阴极引线层的上面印刷绝缘浆料层,经烘烤、烧结工艺后形成阴极覆盖层;12)折弯型下栅控结构的表面清洁处理对折弯型下栅控结构的表面进行清洁处理,除掉杂质和灰尘;13)碳纳米管[12]的制备将碳纳米管制备在阴极导电层上面;14)阳极玻璃面板[13]的制作对整体平板钠钙玻璃进行划割,制作出阳极玻璃面板;15)阳极导电层[14]的制作在阳极玻璃面板上蒸镀一层锡铟氧化物膜层;刻蚀后形成阳极导电层;16)绝缘浆料层[15]的制作在阳极导电层的非显示区域印刷绝缘浆料层;17)荧光粉层[16]的制作在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层;18)器件装配将阴极玻璃面板、阳极玻璃面板、支撑墙结构[17]和四周玻璃围框[18]装配到一起,并将消气剂[19]放入到空腔当中,用低熔点玻璃粉固定;19)成品制作对已经装配好的器件进行封装工艺形成成品件。
5.根据权利要求4所述的折弯型下栅控结构的平板显示器的制作工艺,其特征在于所述步骤16具体为在阳极导电层的非显示区域印刷绝缘浆料层,用于防止寄生电子发射;经过烘烤,烘烤温度150℃,保持时间5分钟,之后,放置在烧结炉中进行高温烧结,烧结温度580℃,保持时间10分钟。
6.根据权利要求4所述的折弯型下栅控结构的平板显示器的制作工艺,其特征在于所述步骤17具体为在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层;在烘箱当中进行烘烤,烘烤温度120℃,保持时间10分钟。
7.根据权利要求4所述的折弯型下栅控结构的平板显示器的制作工艺,其特征在于所述步骤19具体为对已经装配好的器件进行如下的封装工艺将样品器件放入烘箱当中进行烘烤;放入烧结炉当中进行烧结;在排气台上进行器件排气、封离,在烤消机上对器件内部的消气剂进行烤消,最后加装管脚形成成品件。
全文摘要
本发明涉及一种折弯型下栅控结构的平板显示器及其制作工艺,包括由阳极玻璃面板、阴极玻璃面板和四周玻璃围框所构成的密封真空腔;设置在阳极玻璃面板上的阳极导电层以及制备在阳极导电层上面的荧光粉层;在阴极玻璃面板上设置有栅极引线层、碳纳米管以及折弯型下栅控结构;位于阳极玻璃面板和阴极玻璃面板之间的支撑墙结构以及消气剂附属元件,能够进一步增大碳纳米管阴极的电子发射面积,降低栅极结构的工作电压,提高器件的阳极电流,具有制作过程稳定可靠、制作工艺简单、制作成本低廉、结构简单的优点。
文档编号H01J29/04GK101075539SQ20071005460
公开日2007年11月21日 申请日期2007年6月19日 优先权日2007年6月19日
发明者李玉魁 申请人:中原工学院