多单位钉型样品台支架的制作方法

文档序号:2893102阅读:229来源:国知局
专利名称:多单位钉型样品台支架的制作方法
技术领域
本实用新型涉及一种新型的多单位钉型样品台支架,属于电镜制造的技术领域。技术背景样品台支架是用于摆放各种形状的样品台,诸如圆柱形样品台和钉型样品台,但 一般样品台支架只是单纯的摆放同一种类型的样品台,而且不同公司都有自己专用的样品 台,很少有兼容的。一方面,不同公司生产的样品台支架可以固定的样品台种类不同。一般 而言,Cambridge, Leica, ZEISS/LEO, FEI/Philips, CamScan, Tescan, Hitachi 等公司的扫 描电镜专用钉型样品台,无法有效固定在JEOL、ISS/ABT/T0PC0N等公司的扫描电镜专用圆 柱型样品台上;另一方面,JE0L-5610LV型电镜由于样品在样品室中的有效观测范围较小, 标准样品台支架也只有一个和四个的样式,严重影响了电镜的使用效率。
发明内容本实用新型所要解决的技术问题就是针对JE0L-5610LV型电镜所提供的标准样 品台支架的现状提供一种新型的多单位钉型样品台支架,可以固定钉型样品台,而且,增加 了一次性固定的样品台数量,有利于拓展JE0L-5610LV型电镜对不同样品台的适应性,提 高使用效率,节省换样时间。本实用新型技术的技术方案具体是这样的一种多单位钉型样品台支架,由圆台 样品台支架构成,其特征在于,在该圆台样品台支架上,垂直地设有6个圆孔,该6个圆孔的 圆心分别位于一个同心圆的6个等分点上;同时,在该圆台样品台支架的圆心处也设有一 个垂直的圆孔。所述6个圆孔所在的同心圆的直径为26mm。本实用新型推荐所述的圆台样品台支架的直径为32mm ;厚度为5mm IOmm ;所 述6个圆孔所在的同心圆的直径为26mm。换言之,本实用新型是在直径为32mm厚度为5mm IOmm的圆台样品台支架上, 在以圆台圆心为中心,以其圆心上偏左45°方向和上偏右45°方向直线距离为13mm处为 中心、以其圆心下偏左45°方向和下偏右45°方向直线距离为13mm处为中心、以其圆心水 平向右和水平向左直线距离为13mm处为中心,各开有一个直径为3. 5mm的圆孔,可以固定 七个专用于 Cambridge,Lei, ZEISS/LEO, FEI/Philips, CamScan, Tescan, Hitachi 等公司扫 描电镜的标准钉型样品台。本实用新型可以固定钉型样品台,而且,增加了一次性固定的样品台数量,将 JE0L-5610LV型扫描电镜一次性容纳的样品台数量由标准配置的一个或四个增加到了七 个,有利于拓展JE0L-5610型电镜对不同样品台的适应性,提高使用效率,节省换样时间。

图1是本实用新型结构示意图。
具体实施方式
实施例1,多单位钉型样品台支架,参照图1 由圆台样品台支架构成,在该圆台样品台支架1上,垂直地设有6个圆孔2,该6个圆孔的圆心分别位于一个同心圆的6个等分 点上;同时,在该圆台样品台支架的圆心处也设有一个垂直的圆孔3。所述7个圆孔的直径 为13mm ;所述6个圆孔所在的同心圆的直径为26mm。
权利要求一种多单位钉型样品台支架,由圆台样品台支架构成,其特征在于,在该圆台样品台支架上,垂直地设有6个圆孔,该6个圆孔的圆心分别位于一个同心圆的6个等分点上;同时,在该圆台样品台支架的圆心处也设有一个垂直的圆孔;所述7个圆孔的直径为13mm。
2.根据权利要求1所述的多单位钉型样品台支架,由圆台样品台支架构成,其特征在 于,所述的圆台样品台支架的直径为32mm;厚度为5mm IOmm;所述6个圆孔所在的同心圆 的直径为26mm。
3.根据权利要求1或2所述的复合型多单位钉型样品台支架,由圆台样品台支架 构成,其特征在于,该复合型多单位钉型样品台支架及其上的圆孔,用于固定七个专用于 Cambridge, Lei, ZEISS/LEO, FEI/Philips, CamScan, Tescan,或 Hitachi 司扫描电镜的标准 钉型样品台。
专利摘要多单位钉型样品台支架,由圆台样品台支架构成,其特征在于,在该圆台样品台支架上,垂直地设有6个圆孔,该6个圆孔的圆心分别位于一个同心圆的6个等分点上;同时,在该圆台样品台支架的圆心处也设有一个垂直的圆孔。优化方案中,所述的圆台样品台支架的直径为32mm;厚度为5mm~10mm;所述6个圆孔所在的同心圆的直径为26mm。本实用新型可以固定钉型样品,而且,增加了一次性固定的样品台数量,将JEOL-5610LV型扫描电镜一次性容纳的样品台数量由标准配置的一个或四个增加到了七个,有利于拓展JEOL-5610型电镜对不同样品台的适应性,提高使用效率,节省换样时间。
文档编号H01J37/20GK201590395SQ200920282540
公开日2010年9月22日 申请日期2009年12月25日 优先权日2009年12月25日
发明者景颖杰, 莫祥银 申请人:南京师范大学
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