专利名称：准分子灯的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种在放电容器内形成反射膜的准分子灯，尤其涉及一种具有可适用 于设置光量监测的装置的监测用的采光口的准分子灯。
背景技术：
作为现有的准分子灯，被提案有双重管型、圆筒型、方型等的各种形状。这些准分 子灯，不管形状都被期待高输出化。作为实现这种高输出化的技术，公知有在放电容器内形 成反射膜所成的准分子灯，例如日本特开2007-335350号公报所示。依照该现有技术，在准分子灯的方型等放电容器的内面，由反射紫外光的二氧化 硅主体的微粒子所形成的反射膜被形成于除了光放射面以外的部分。另外，在该放电容器 的光放射面的外表面、及其相反侧的外表面设有一对外部电极。形成于该光放射面的外部 电极，为了发挥输出光的所谓本来的功能，例如使用栅格状地涂布金属糊的光透射性电极。一方面，作为形成于不输出相对于上述光放射面的光的一侧的外表面的外部电 极，在功能上不需要光透射性，很多情形，从制造工序的简化、在该放电容器内所发生的放 电的稳定性等的观点出发，与上述光放射面同样地进行原样使用光透射性电极。另外，在准分子灯中，如日本特开2005-322632号公报(图3)所示，公知有在光透 射性电极的端部附加的整体状电极。在该公报中，针对于其作用效果上并不一定明确记载， 但该端部的整体状电极，确保管轴方向的照度均勻性，可期待扩展有效发光区域的效果。即，在光透射性电极的端部，与中央部附近相比较，所放射的紫外光的强度必定降 低。该紫外光的强度降低，在有效发光区域会发生照度不均勻，所以有无法充分地确保有效 发光区域自身的长度的缺点，而要充分地确保该有效发光区域，则会产生准分子灯的全长 度变长的问题，而在外部电极的端部侧设置整体状电极，期待可解决这些问题。这是考虑在整体状电极部分的放电密度比在光透射性电极的放电密度还要高，由 此防止在电极端部的照度降低，其结果，可实现在有效发光区域的照度均勻化。还有，也公知因改善准分子灯的起动性的目的，在放电空间内面设置导电性物质 (起动辅助电极)。作为此种现有技术，例如有日本特开平8-329903号公报。依照该公报， 记载有在设于放电容器外表面的一对电极的一方端部附近即在该放电容器内面，设置导电 性物质作为起动辅助电极的情形。由此，通过在准分子灯的放电容器内面，在起动辅助电极 与外部电极之间发生沿面放电，由此被期待降低在外部电极间所发生的放电容器内的主放 电的放电开始电压。其结果，具有即使以低起动电压也可确实地点亮准分子灯的效果。可是，在该起动辅助电极与外部电极之间，在放电容器内面所发生的沿面放电，不 仅在准分子灯的起动时，在之后的一般点灯时，也继续发生。由于该继续发生的沿面放电、 或所配置的起动辅助电极本身，有引起该准分子灯的管轴方向的照度不均勻的问题。尤其 是若将该起动辅助电极配置于准分子灯的轴方向的中央部附近，则该起动辅助电极自身相 对于放射光成为影子，且成为沿面放电存在于中央部附近，而有显著损坏该准分子灯的管 轴方向的照度均勻性的问题。
因此，设置此种起动辅助电极时，为了不影响从该准分子灯所放射的光的均勻性， 优选设置于轴方向的端部侧。另一方面，也公知监测从准分子灯所放射的紫外光的光量的情形。作为此种技术，例如公知有日本特开2005-322632号公报等。在该公报中记载有为了监测从准分子灯所放 射的紫外光的光量，在该准分子灯的非光透射性电极的轴方向的端部附近设有采光口。如 此地将采光口配置于准分子灯的端部附近，是为了在保持对于从该准分子灯所放射的光的 轴方向的照度均勻性的基础上，尽量不成为阻碍。根据如上述的几种现有技术，可假设在具有在端部设置整体状电极所成的一对光 透射性电极、设于放电容器内的起动辅助电极、及形成于除了放电容器内表面的光放射面 以外的部分的反射膜的准分子灯中，在形成光监测用采光口时，在上述反射膜的管轴方向 的端部形成该采光口的结构为容易想到的。专利文献1 日本特开2007-335350号公报专利文献2 日本特开平8-329903号公报专利文献3 日本特开2005-322632号公报图3是表示这些现有的准分子灯的结构的概略图，图3(a)是俯视图，图3 (b)是其 A-A剖面图。方型放电管1具有由石英玻璃所构成的放电容器11，在该放电容器11所对置 的一对面的外表面，例如以金属糊等形成有栅格状地形成的光透射性的外部电极2。另外， 在该外部电极2的端部形成有整体状电极3。一方面，在相当于形成有上述整体状电极3的部分的上述放电容器11的内面，以 一部分重叠于该整体状电极3的方式，配置形成有起动辅助电极6。另外，在除了该放电容 器11内面的光放射面以外的部分，为了反射通过该外部电极2间的放电所发生的紫外光， 例如形成有由二氧化硅主体的微粒子所构成的反射膜4。另外，在该反射膜4上，为了监测在放电容器11内所发生的紫外光而形成有输出 光的采光口 5，但该采光口 5以尽量不影响照度均勻性的方式，形成于放电容器11的管轴方 向的端部附近。图4是说明从放电容器内部一侧观看上述准分子灯的放电容器端部附近的沿面 放电的概念图。若点亮准分子灯，则在放电容器11的内面，沿面放电12发生在上述起动辅助电极 6与整体状电极3或外部电极2之间。该沿面放电12为了在准分子灯点灯时以低电压容易 地发生，因而该沿面放电12成为导火索而可降低准分子灯的点灯电压。然而，如上述地，该沿面放电12在除了准分子灯的起动时以外的通常点灯时也发 生，使得该沿面放电12也会放电至设于放电容器11的端部附近的光监测用的采光口 5，其 与来自该采光口 5的应该监测的准分子光混在一起，使得该沿面放电12成为阻碍，有无法 正确地测出从准分子灯所放射的光量的问题。
发明内容
鉴于上述现有技术的问题，在本发明中，准分子灯，在设置于放电容器的外表面的 一对光透射性外部电极的端部设置有整体状电极，在上述放电容器的内面以与该整体状电 极一部分重叠的方式形成有起动辅助电极，在上述放电容器的内表面形成有反射膜，并且，在该反射膜的管轴方向的端部附近形成有光监测用的采光口，其特征为在上述整体状电极上形成沿管轴方向延伸的枝状电极，上述起动辅助电极被配置为一部分重叠于该枝状电极。另外，上述的准分子灯，其特征为，上述采光口通过被缺口部、及上述整体状电极的端缘隔开而形成，所述缺口部被形成为沿该反射膜的轴方向延伸并在端部开口。通过采用此种结构，能够距离光监测用采光口尽量远地配置起动辅助电极，不会受到在起动辅助电极与外部电极间所发生的沿面放电的影响而可进行光监测，发挥可正确 地检测出从该准分子灯所放射的紫外光的效果。另外，通过将采光口被延伸到反射膜端部的缺口部与整体状电极的端缘隔开而形 成，由此也具有容易地形成采光口的效果。
图1是表示本发明的第1实施例的准分子灯的结构的概略图。图2是表示本发明的第2实施例的准分子灯的结构的概念图。图3是表示现有的准分子灯的结构的概念图。图4是从现有的准分子灯的放电管的内表面观看的沿面放电的概念图。图中，1 方型放电管；2 外部电极；3 整体状电极；4 反射膜；5 采光口 ；6 起动 辅助电极；8 枝状电极；10 缺口部；11 放电容器。
具体实施例方式图1是表示本发明的准分子灯的第1实施例的概略图，图1(a)是俯视图，而图 1(b)是其B-B剖面图。在图中，在形成于光透射性电极2的端部的整体状电极(Χ夕状電極)3上，一体 地形成有在其上下端朝与管轴方向的光透射性电极相反的方向延伸的枝状电极8、8。另外，在相当于形成有此枝状电极8的部分的上述放电容器11的内面，重叠其一 部分地形成有起动辅助电极6。针对于其他结构，与图3所示相同。该枝状电极8、8，由于具有增加采光口 5与起动辅助电极6之间的距离L的作用， 因而即使将采光口 5配置于对配光特性影响少的准分子灯的端部附近，在灯点亮时从起动 辅助电极6向外部电极2所发生的沿面放电，也不会波及到上述采光口 5，不会影响到从该 采光口 5进行监测的光量，发挥可正确地监测来自灯的放射光的作用效果。图2是表示本发明的准分子灯的第2实施例的概略图。该第2实施例的基本的结构，即，有关于整体状电极3与枝状电极8、8及起动辅助 电极6为与上述第1实施例相同，仅采光口 5的形状不相同。在本实施例中，在放电容器11内面的反射膜4上，形成有沿轴方向延伸并在其端 部形成有开口的缺口部10，上述采光口 5是通过该缺口部10和上述整体状电极3的端缘 3a被隔开而形成。上述采光口 5虽是事先将掩模带粘贴于放电容器11内，形成反射膜4之后，通过 剥离该带所形成的，但由于通过以在反射膜4的端部进行开口的方式延伸的缺口部10而形 成，因而其作成变得容易。
另外，在上述实施例的说明中，虽然放电容器11作为方型管形状进行了说明，但并不限定于此，当然可采用圆型管形状等的各种形状。
权利要求
一种准分子灯，在设置于放电容器的外表面的一对光透射性外部电极的端部设置有整体状电极，在上述放电容器的内面以与该整体状电极一部分重叠的方式形成有起动辅助电极，在上述放电容器的内表面形成有反射膜，并且，在该反射膜的管轴方向的端部附近形成有光监测用的采光口，其特征为在上述整体状电极上形成沿管轴方向延伸的枝状电极，上述起动辅助电极被配置为一部分重叠于该枝状电极。
2.如权利要求1所述的准分子灯，其特征为上述采光口通过被缺口部、及上述整体状电极的端缘隔开而形成，所述缺口部被形成 为沿该反射膜的轴方向延伸并在端部开口。
全文摘要
提供一种准分子灯，在一对光透射性电极的端部形成整体状电极，在放电容器的内面形成有起动辅助电极，在放电容器的非光输出一侧的内表面形成反射膜，在该反射膜的端部形成有光监测用的采光口，其特征为在上述整体状电极上形成沿管轴方向延伸的枝状电极，上述起动辅助电极被配置为一部分重叠于该枝状电极，由此从上述起动辅助电极延伸至整体状电极所发生的沿面放电不会波及至上述采光口，可正确地进行光监测。
文档编号H01J61/04GK101847564SQ20101015066
公开日2010年9月29日 申请日期2010年3月23日 优先权日2009年3月23日
发明者竹添法隆 申请人:优志旺电机株式会社