专利名称：电子束发生装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种通过使用激光来产生电子束的装置。
背景技术：
通常，电子枪是指一种使电子流以细的束的形式会聚，以便排出的设备，例如电子显微镜、行波管、布劳恩(Braim)管等等。
现有技术的电子枪使用电磁波来加速穿过耦合器内部的电子束。也就是，使电磁波穿过形成在耦合器中的耦合孔入射到耦合器的内部。然而，耦合孔导致了耦合器内部的电场失去均衡性。电场失去均衡性使电子束的发射度增大，导致电子束的质量下降。
发明内容
技术问题 因此，本发明的目的是提供一种能够减少电子束发射度的电子束发生装置。
本发明的技术目标不限于上面所提到的，并且本领域技术人员通过下面的描述可以清楚地认识到至此未提及的其它任何技术目标。
技术方案 为了实现上述目的，本发明提供一种用于产生电子束的装置，包括外壳，所述外壳包括产生电子束的后部；具有电子束发射孔的前部，所述电子束发射孔用来将所述电子束发射到外部；以及将所述后部与所述前部相连接的侧部，所述侧部具有第一孔，并且面对所述第一孔的相对的侧部具有第二孔以便减少所述第一孔引起的电场的不均衡；以及波导管，所述波导管安装在所述侧部上以便通过所述第一孔向所述外壳的内部供给电磁波， 其中由激光产生的所述电子束入射到所述外壳的内部并且被供给到所述外壳的内部的所述电磁波加速。
可以使所述激光通过所述前部被入射到所述外壳的内部。
所述装置可以进一步包括第一抽吸口，所述第一抽吸口安装在所述侧部并且通过所述第二孔排出所述外壳的内部的空气，以使所述外壳的内部成为真空。
所述第二孔的形状可以与所述第一孔的形状不同。
所述第二孔可以形成为在一个方向伸长的形状。
所述第二孔可以是基本椭圆的形状或者类似跑道的形状。
所述侧部可以包括第一和第二侧部，所述前部可以与所述第一侧部相联结，所述第一和第二侧部可以由连接部相连接，所述第二侧部可以与所述后部相联结，并且所述第一和第二孔可以形成在所述第一外壳或第二外壳上。
所述外壳可以包括入射孔和发射孔，激光通过所述入射孔被入射到所述外壳的内部，在所述外壳的内部被反射的所述激光通过所述发射孔被发射出。
可以使激光通过所述电子束发射孔被入射，并且可以使从所述后部被反射的激光通过所述电子束发射孔被发射出。
3 第三孔可以形成在所述外壳的所述侧部上的第一孔与第二孔之间的中部，第四孔可以形成在面对所述第三孔的相对的侧部上，以便减小由所述第一孔引起的电场的不均 所述第三孔和第四孔可以具有在一个方向伸长的形状。
所述第三孔和第四孔可以是基本椭圆的形状或者类似跑道的形状。
所述第二孔到第四孔可以具有相同的形状。
第二抽吸口可以安装在第三孔所形成的位置处，第三抽吸口可以安装在第四孔所形成的位置处。
有益效果 根据本发明的示例性实施例，由于电场的均衡性得以改善，因此能够减少电子束的发射度。
此外，与现有技术的激光输入孔和激光输出孔分别形成在外壳侧部的电子束发生装置相比，在本发明的一个示例性实施例中，只有一个孔形成在外壳的前部，用来输入和输出激光束，并且也用作电子束发射孔，这样便于制造。
本发明的技术效果不限于上述技术效果，并且本领域技术人员通过下面的描述可以清楚地理解未提及的其它技术效果。
从下面结合附图给出的优选实施例的描述中，本发明的上述和其它目的和特征将变得更加明显，附图中 图1是示意性地示出在理想条件下没有耦合孔的外壳的剖视图，图2是示出在理想条件下没有耦合孔的外壳的电场的曲线图； 图3是示意性地示出具有单个耦合孔的外壳的剖视图，图4是示出具有单个耦合孔的外壳的电场的曲线图； 图5是示意性地示出具有耦合孔和单个抽吸孔的外壳的剖视图，图6是示出具有具有耦合孔和单个抽吸孔的外壳的电场的曲线图； 图7是示意性地示出具有耦合孔和三个抽吸孔的外壳的剖视图，图8是示出具有具有耦合孔和三个抽吸孔的外壳的电场的曲线图； 图9是根据本发明一个示例性实施例的电子束发生装置的模拟设备的布局视图； 图10是根据本发明第一示例性实施例的电子束发生装置的透视图； 图11是根据本发明第一示例性实施例的电子束发生装置垂直于χ轴切开的剖视图； 图12是根据本发明第一示例性实施例的电子束发生装置垂直于ζ轴切开的剖面透视图； 图13是示出根据本发明第一示例性实施例的电子束发生装置的抽吸孔的形状的示意图； 图14是示出根据本发明第一示例性实施例的电子束发生装置的Ll与傅立叶系数 (Fourier coefficient)之间关系的曲线图； 图15是根据本发明第二示例性实施例的电子束发生装置的透视图； 图16是根据本发明第二示例性实施例的电子束发生装置垂直于χ轴切开的侧面剖视图； 图17是根据本发明第二示例性实施例的电子束发生装置垂直于ζ轴切开的侧面剖面透视图； 图18是根据本发明第二示例性实施例的电子束发生装置垂直于ζ轴切开的剖面透视图； 图19是示出根据本发明第二示例性实施例的电子束发生装置的L2与傅立叶系数之间关系的曲线图； 图20是示出根据本发明第一和第二示例性实施例的电场的角度分布的曲线图； 以及 图21是示出根据本发明第二示例性实施例的相对于ζ轴的y轴方向的标准化发射度的模拟结果的曲线图。
具体实施例方式在下文中，将参照附图描述本发明的示例性实施例。然而，本发明的所述实施例可以改变为其它的一些形式，并且本发明的范围不应当被认为是局限于下面的实施例。本发明的实施例旨在为本领域技术人员更全面地解释本发明。因此，附图中所示的元件的形状等被夸大来强调有区别的说明，并且附图中由相同的附图标记所标识的元件表示相同的元件。
需要功率大但发射度小的用于产生电子束的装置。发射度ε有三个分量并且由下面所示的等式1来表示 [等式1]
权利要求
1.一种用于产生电子束的装置，所述装置包括外壳，所述外壳包括产生电子束的后部；具有电子束发射孔的前部，所述电子束发射孔用来将所述电子束发射到外部；以及将所述后部与所述前部相连接的侧部，所述侧部具有第一孔，并且面对所述第一孔的相对的侧部具有第二孔以便减少所述第一孔引起的电场的不均衡；以及波导管，所述波导管安装在所述侧部上以便通过所述第一孔向所述外壳的内部供给电磁波，其中由入射到所述外壳的内部的激光产生所述电子束，并且所述电子束被供给到所述外壳的内部的所述电磁波加速。
2.根据权利要求1所述的装置，其中，所述激光通过所述前部被入射到所述外壳的内部。
3.根据权利要求1所述的装置，进一步包括第一抽吸口，所述第一抽吸口安装在所述侧部，并且通过所述第二孔排出所述外壳内部的空气，以使所述外壳的内部成为真空。
4.根据权利要求1所述的装置，其中，所述第二孔的形状与所述第一孔的形状不同。
5.根据权利要求1所述的装置，其中，所述第二孔形成为在一个方向伸长的形状。
6.根据权利要求5所述的装置，其中，所述第二孔是基本椭圆的形状或者类似跑道的形状。
7.根据权利要求1所述的装置，其中，所述侧部包括第一和第二侧部，所述前部与所述第一侧部相联结，所述第一和第二侧部由连接部相连接，所述第二侧部与所述后部相联结， 并且所述第一和第二孔形成在所述第一外壳或第二外壳上。
8.根据权利要求1所述的装置，其中，所述外壳包括入射孔和发射孔，激光通过所述入射孔被入射到所述外壳的内部，在所述外壳的内部被反射的所述激光通过所述发射孔被发射。
9.根据权利要求1所述的装置，其中，使激光通过所述电子束发射孔被入射，并且使从所述后部被反射的激光通过所述电子束发射孔被发射。
10.根据权利要求1所述的装置，其中，第三孔形成在所述外壳的所述侧部上的第一孔与第二孔之间的中部，第四孔形成在面对所述第三孔的相对的侧部上，以便减小由所述第一孔引起的电场的不均衡。
11.根据权利要求10所述的装置，其中，所述第三孔和第四孔具有在一个方向伸长的形状。
12.根据权利要求11所述的装置，其中，所述第三孔和第四孔是基本椭圆的形状或者类似跑道的形状。
13.根据权利要求10所述的装置，其中，所述第二孔到第四孔具有相同的形状。
14.根据权利要求10所述的装置，其中，第二抽吸口安装在第三孔所形成的位置处，第三抽吸口安装在第四孔所形成的位置处。
全文摘要
本发明涉及一种能够减少电子束发射度的电子束发生装置。为此目的，根据本发明的所述电子束发生装置包括外壳，所述外壳包括产生电子束的后表面部；具有电子束发射孔的前表面部，所述电子束发射孔用来将所产生的电子束发射到外部；以及将所述后表面部与所述前表面部相连接的侧表面部，其中所述侧表面部具有第一孔，并且面对所述第一孔的相对的侧部具有第二孔以便减少所述第一孔引起的电场的不均衡；以及波导管，所述波导管安装在所述侧表面部上以便通过所述第一孔将电磁波供给到所述外壳的内部。提供到所述外壳内的激光束产生电子束，所产生的电子束被供给到所述外壳内的所述电磁波加速。
文档编号H01J23/06GK102187422SQ201080002969
公开日2011年9月14日 申请日期2010年8月10日 优先权日2009年8月21日
发明者朴龙云, 朴成柱, 高仁洙, 金昶范, 洪周浩, 文成益 申请人:浦项工科大学校产学协力团