专利名称：一种带状束流离子源电源控制系统的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种带状束流离子源电源控制系统，尤其的涉及离子注入机，属于半导体器件制造设备领域。
背景技术：
离子源是离子注入机的ー个重要部件，其作用在于使需要注入的物质(如硼、磷、神)的原子电离成为离子，其性能好坏对整机的性能影响极大，尤其对束流的強度、品质、束流能量及整机注入的稳定性有着决定性的影响。离子源的性能，除与本身的结构设计有关外，还与使气体电离产生离子的灯丝电源、偏压电源和弧压电源有极大关系。对这几个电源的控制是离子源能产生所需离子的关键。带装束流离子源要求从离子源发出的离子束具有较大的宽度，本专利所涉及的离子源束流宽度超过了 300mm，为了使离子源产生较为均匀 的束流，满足集成电路エ艺和生产的要求，必须保证离子源电源控制系统的稳定和高效。
发明内容
本发明即是针对上述要求而提出的ー种结构简单、可靠性高的帯状束流离子源电源控制系统。本发明通过以下技术方案来实现一种带状束流离子源电源控制系统，包括主控计算机(I)、光纤通信控制卡(2)、I/O信号控制器(3)、灯丝电源(4)、偏压电源(5)、弧压电源出)。所述的光纤通信控制卡
(2)插在主控计算机⑴的PCI插槽上，光纤通信控制卡⑵和I/O信号控制器(3)之间通过光纤连接传输数据。灯丝电源(4)、偏压电源(5)、弧压电源￠)的控制端分别和远程I/O信号板(3)的信号端连接，同时这三种电源的电源输出端分别和离子源灯丝(7)、离子源阴极⑶和弧室壁(9)相连。本发明具有如下显著优点I. I/O信号控制器(3)到内光纤通信控制卡(2)之间的连接使用光纤，有效的防止了离子源打火对信号传输的干扰。2.使用两个灯丝电源(4)和两个偏压电源(5)，分别加在离子源两个灯丝(7)和阴极(8)上，这种连接方便对两个灯丝所加电源的独立控制，有利于在弧室两端产生较宽的均匀离子束流。
下面结合附图和具体实施例对本发明作进ー步的介绍，但不作为对本发明的限定。图I为ー种帯状束流离子源电源控制系统的原理框图；图2为ー种帯状束流离子源电源控制系统的离子源电源连接示意图。
具体实施例方式如參考图I所示，一种带状束流离子源电源控制系统，包括主控计算机(I)、光纤通信控制卡(2)、I/O信号控制器(3)、灯丝电源(4)、偏压电源(5)、弧压电源(6)。光纤通信控制卡2插在主控计算机(I)的PCI插槽上，光纤通信控制卡⑵和I/O信号控制器(3)之间通过光纤连接传输数据。光纤通讯控制卡(2)将主控计算机(I)发出的命令数据通过光纤传输到I/O信号控制器(3)，I/O信号控制器(3)将接收到的光信号转换为电信号，经过地址确认，发送给灯丝电源(4)、偏压电源(5)、弧压电源(6)的控制端，从而设定这五个电源的输出电流或是电压。同时，这五个电源的电流或是电压反馈值也从各自的控制端通过I/O信号控制器(3)传送给光纤通信控制卡(2)，从而主控计算机(I)能够读取这些反馈值。如參考图2所示，为离子源电源连接示意图，因为要产生的离子是正离子，所以偏压电源(5)的正极接在离子源阴极上，负极和离子源灯丝(7)相连，而弧压电源(6)的正极 和离子源弧室壁(8)等电位。以上所述已对本发明的内容做了详尽说明。对本领域一般技术人员而言，在不背离本发明精神的前提下对它所做的任何显而易见的改动，都构成对本发明专利的侵犯，将承担相应的法律责任。
权利要求
1.本发明提供一种带状束流离子源电源控制系统，包括主控计算机(I)、光纤通信控制卡(2)、I/O信号控制器(3)、灯丝电源(4)、偏压电源(5)、弧压电源(6)。其特征在于灯丝电源⑷是两个，偏压电源(5)是两个，弧压电源(6)是ー个。
2.权利I中所述的光纤通信卡(2)插在主控计算机⑴的PCI插槽上，光纤通信卡(2)和I/O信号控制器(3)之间通过光纤连接传输数据。两个灯丝电源(4)、两个偏压电源(5)、ー个弧压电源(6)的控制端分别和I/O信号控制器(3)的信号端用导线连接，同时这三种电源的电源输出端分别和离子源灯丝(7)、阴极(8)和弧室壁(9)相连。
全文摘要
本发明公开了一种带状束流离子源电源控制系统，包括主控计算机(1)、光纤通信控制卡(2)、I/O信号控制器(3)、灯丝电源(4)、偏压电源(5)、弧压电源(6)。其特征在于光纤通信卡(2)插在主控计算机(1)的PCI插槽上，光纤通信卡(2)和I/O信号控制器(3)之间通过光纤连接传输数据。两个灯丝电源(4)、两个偏压电源(5)、一个弧压电源(6)的控制端分别和I/O信号控制器(3)的信号端用导线连接，同时这三种电源的电源输出端分别和离子源灯丝(7)、阴极(8)和弧室壁(9)相连。
文档编号H01J37/302GK102867721SQ20111018647
公开日2013年1月9日 申请日期2011年7月5日 优先权日2011年7月5日
发明者张继恒, 唐景庭, 孙勇 申请人:北京中科信电子装备有限公司