专利名称：一种宽带束流离子源引出电极运动控制系统的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种宽带束流离子源引出电极运动控制系统，尤其的涉及离子注入机，属于半导体器件制造设备领域。
背景技术：
在半导体制造工艺设备离子注入机中，离子源引出电极是整机设备关键部件之一，其与离子源本体结合在一起构成离子注入机的核心部件——离子源系统；其决定了离子注入机诸多性能指标，不仅决定离子源系统的引出束流大小、引出能量大小、引出束流品质及束稳定性能，同时与离子注入机其他光学部件匹配结合决定整机离子光学系统的束流传输效率和整机的生产效率。 宽带束流离子源引出电极采用的是加减速三电极结构，反复实验及长期使用情况表明，引出电极上的引出缝相对于离子源腔体的引出缝之间位置对离子引出束流及束品质有着极其重要的影响。带装束流离子源要求从离子源发出的离子束具有较大的宽度，本专利所涉及的离子源束流宽度超过了 300mm，为了使这么宽的束流能有效引出，满足集成电路工艺和生产的要求，必须保证引出电极的引出缝和离子源腔体的引出缝在同一水平面上，并且保持平行。
发明内容
本发明即是针对上述要求而提出的一种结构简单、可靠性高的宽带束流离子源引出电极运动控制系统。本发明通过以下技术方案来实现一种宽带束流离子源引出电极运动控制系统，包括主控计算机(I)、光纤通信卡
(2)、四轴电机运动控制卡(3)、Y1轴直流电机⑷、Y2轴直流电机(5)、Z1轴直流电机(6)、Z2轴直流电机(7)、Y1轴直线位移电位器(8)、Y2轴直线位移电位器(9)、Z1轴直线位移电位器(10)、Z1轴直线位移电位器(11)、条行引出电极(12)。光纤通信卡(2)插在主控计算机⑴的PCI插槽上，光纤通信卡(2)和四轴电机运动控制卡(3)之间通过光纤连接传递信号，四轴电机运动控制卡(3)通过控制四个直流电机的运动，经过丝杠传动，调整引出电极在Yl轴、Y2轴、Zl轴、Z2轴四个方向的位移，从而使引出电极的引出缝和离子源腔体的引出缝在同一水平面上，并且保持平行，距离可调。本发明具有如下显著优点I.四轴电机运动控制卡(3)到光纤通信卡(2)之间的连接使用光纤，有效的防止了离子源打火对信号传输的干扰。2.通过对引出电极Y1、Y2轴、Zl轴、Z2轴四个方向的位移通过电极运动控制进行调整，可以调节引出电极的引出缝和离子源的引出缝之间的相对位置，从而有效地调整引出束流的大小和品质。
下面结合附图和具体实施例对本发明作进一步的介绍，但不作为对本发明的限定。图I为一种宽带束流离子源引出电极运动控制系统的原理框图；图2为一种宽带束流 离子源引出电极运动方向示意图。
具体实施例方式如参考图I所示，一种宽带束流离子源引出电极运动控制系统，包括主控计算机(I)、光纤通信卡(2)、四轴电机运动控制卡(3)、Y1轴直流电机(4)、Y2轴直流电机(5)、Z1轴直流电机(6)、Z2轴直流电机(7)、Y1轴直线位移电位器(8)、Y2轴直线位移电位器(9)、Zl轴直线位移电位器(10)、Zl轴直线位移电位器(11)。光纤通信卡(2)插在主控计算机
(I)的PCI插槽上，光纤通信卡(2)将主控计算机⑴发出的Yl轴、Υ2轴、Zl轴、Ζ2轴位移命令信号通过光纤传送给四轴电机运动控制卡(3)，四轴电机运动控制卡(3)驱动相应的直流电机转动，经过丝杠传动，带动机械结构直线运动，直线位移电位器将检测到的位移信号转变为电信号反馈给四轴电机运动控制卡(3)，四轴电机运动控制卡(3)经过内部的PID电路调节直流电机的转速，使得直流电机在引出电极运动到相应的设定位置时停止转动。通过设定引出电极四个轴向的位移，从而调节引出电极的引出缝和离子源的引出缝之间的相对位置。如参考图2所示，为宽带束流离子源引出电极运动方向示意图。条形引出电极
(II)通过左连接杆(13)和右连接杆(14)通过精密滑道悬挂在基座(12)上，经过电机带动，两个连接杆可以分别前后左右移动，左连接杆(13)竖直方向定为Yl方向，水平方向定为Zl方向，右连接杆(14)竖直方向定为Υ2方向，水平方向定为Ζ2方向。以上所述已对本发明的内容做了详尽说明。对本领域一般技术人员而言，在不背离本发明精神的前提下对它所做的任何显而易见的改动，都构成对本发明专利的侵犯，将承担相应的法律责任。
权利要求
1.本发明提供宽带束流离子源引出电极运动控制系统，包括主控计算机(I)、光纤通信卡(2)、四轴电机运动控制卡(3)、Y1轴直流电机(4)、Y2轴直流电机(5)、Z1轴直流电机(6)、Z2轴直流电机(7)、Y1轴直线位移电位器(8)、Y2轴直线位移电位器(9)、Z1轴直线位移电位器(10)、Zl轴直线位移电位器(11)、条行引出电极(12)。
2.权利I中所述的光纤通信卡(2)插在主控计算机⑴的PCI插槽上，光纤通信卡(2)和四轴电机运动控制卡⑶之间通过光纤连接传递信号。
3.权利I中所述的四轴电机运动控制卡(3)控制四个直流电机的运动，调整引出电极在Yl轴、Y2轴、Zl轴、Z2轴四个方向的位移，从而使引出电极的引出缝和离子源腔体的引出缝在同一水平面上，并且保持平行，距离可调。
全文摘要
本发明公开了一种宽带束流离子源引出电极运动控制系统，包括主控计算机(1)、光纤通信卡(2)、四轴电机运动控制卡(3)、Y1轴直流电机(4)、Y2轴直流电机(5)、Z1轴直流电机(6)、Z2轴直流电机(7)、Y1轴直线位移电位器(8)、Y2轴直线位移电位器(9)、Z1轴直线位移电位器(10)、Z1轴直线位移电位器(11)、条行引出电极(12)。其特征在于光纤通信卡(2)插在主控计算机(1)的PCI插槽上，光纤通信卡(2)和四轴电机运动控制卡(3)之间通过光纤连接传递信号，四轴电机运动控制卡(3)通过控制四个直流电机的运动，经过丝杠传动，调整引出电极在Y1轴、Y2轴、Z1轴、Z2轴四个方向的位移，从而使引出电极的引出缝和离子源腔体的引出缝在同一水平面上，并且保持平行，距离可调。
文档编号H01J37/317GK102956427SQ20111024115
公开日2013年3月6日 申请日期2011年8月22日 优先权日2011年8月22日
发明者张继恒, 伍三忠, 彭立波 申请人:北京中科信电子装备有限公司