专利名称：一种扫描抑制电极的装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及离子注入机中一种扫描抑制电极的装置。
背景技术：
离子注入机是半导体エ艺中离子掺杂的典型设备，离子源产生需要掺杂的离子束，通过引出电极，引出离子源的离子束，在经过加速管，提供离子束所需要的能量，分析器分离出需要的离子束，其他的离子被筛选出来，扫描板是提高离子束流质量的关键部分，扫描由两块对称的喇叭形电极板组成，两块电极板上所加扫描电压(偏转电压)相位相差180°。该扫描系统为对称扫描，即以中心对称向两边扫开。不需要的离子最終会偏离离子束运动轨道，打到扫描抑制电极上，扫描抑制电源接到扫描抑制电极上，扫描抑制电源在负输出的直流高压电源的基础上增加了ー个2.5mA的恒流泄放，2.5mA的恒流泄放是由一正IOKV高压电源和4M大功高压电阻构成，，正IOKV高压电源工作在2.5mA的恒流模式。
发明内容
本实发明通过以下技术方案实现:扫描抑制电极和电极支撑分别如图1、图2所示。通过销孔(5)固定电极支撑，石墨电极⑶的沉孔⑴与电极支撑的通孔⑷共同固定石墨电极(3)，定位销(6)用于电极定位，保证电极稳固。引束出口(2)提供离子运动通道，被筛选出的离子将打到抑制电极上，被抑制电极吸收，这样提高了束流的纯度，保证测量束流的精度。本发明具有如下显著优点:1.简单可靠，易于加工制造。2.提高了束流的纯度，保证束流的品质。
图1扫描抑制电极图2电极支撑
具体实施例方式下面结合附图1和2具体实施例对本发明作进ー步介绍，但不作为对本发明的限定。扫描抑制电极和电极支撑分别如图1、图2所示。通过销孔(5)固定电极支撑，石墨电极⑶的沉孔⑴与电极支撑的通孔⑷共同固定石墨电极(3)，定位销(6)用于电极定位，保证电极稳固。引束出口(2)提供离子运动通道.
以上所述已对本发明的内容做了详尽说明。对本领域一般技术人员而言，在不背离本发明的前提下对它所做的任何显而易见的改动，都构成对本发明专利的侵犯，将承担相应的法律责任。
权利要求
1. 一种扫描抑制电极的装置。包括:沉孔(I)、引束出口(2)、石墨电极(3)、通孔⑷、销孔(5)、定位销(6)。其特征在于:如权利要求1所述的石墨电极⑶的沉孔⑴与电极支撑的通孔⑷固定石墨电极⑶。
2.如权利要求1所述的定位销(6)用于电极定位，保证电极稳固。
3.如权利要求1所述的销孔(5)固定电极支撑。
4.如权利要求1所述的引束出口(2)提供离子运动通道。
全文摘要
一种扫描抑制电极的装置。包括沉孔(1)、引束出口(2)、石墨电极(3)、通孔(4)、销孔(5)、定位销(6)。该装置特征在于，扫描抑制电极主要是吸附打到抑制电极上的离子，提高了束流的纯度。说明书对装置进行了详细阐述。
文档编号H01J37/04GK103137401SQ201110390399
公开日2013年6月5日 申请日期2011年11月25日 优先权日2011年11月25日
发明者林萍 申请人:北京中科信电子装备有限公司