专利名称：真空镀增透膜提高灯具玻璃的光通量的方法
真空镀增透膜提高灯具玻璃的光通量的方法技术领域：
本发明涉及真空镀膜的方法，尤其涉及一种真空镀增透膜提高灯具玻璃的光通量的方法。背景技术：
目前，节能成为一项市场热点，LED灯具节能环保，在市面上得到广泛的应用，LED 灯具的灯罩盖板一般为玻璃或塑料材质，而玻璃或塑料材质的透光率不高，为89%左右，影响了 LED灯光的透过率，大量的LED灯光被灯罩盖板反射和吸收，使得灯罩的发热大，不节能。
发明内容
本发明针对现有技术中LED灯具的灯罩盖板透光率不足提供一种真空镀增透膜提高灯具灯罩盖板的光通量的方法。
本发明是通过以下技术方案来实现的一种真空镀增透膜提高灯具玻璃的光通量的方法，包括以下步骤
(1)提供工件玻璃或塑料；
(2)将工件玻璃或塑料进行前处理，以使工件玻璃或塑料的表面清洁；
(3)将经前处理的工件玻璃或塑料装载在工件架上，由传动系统将工件架导入真空室；
(4)在真空室内预先设有靶材，靶材的材质为Nb、Si或者为Ti、Si，然后向真空室内通入Ar和&的混合气体，使真空室的真空度达到KT1Pa ；
(5)给靶材通电，使Ar和仏的混合气体电离，电离后的粒子轰击靶材，使靶材Nb、 Si或者Ti、Si以原子形式逸出，Nb、Si或者Ti、Si原子向下沉积的过程中和A电离后的氧原子结合形成Nb205、SiO2或者Ti02、SiO2,并沉积在工件玻璃或塑料的表面；
(6)控制真空室内传动系统的运动速度，在工件玻璃或塑料表面先沉积8-12nm的 Nb2O5或者SiO2,然后在Nb2O5或者SW2上再沉积100-120nm的SiO2,使工件玻璃或塑料的透光率从89%提高到94% ；
(7)取出工件玻璃或塑料，再进行前处理，以使工件玻璃或塑料的表面清洁；
(8)将经前处理的工件玻璃或塑料非膜面朝上装载在工件架上，由传动系统将工件架导入真空室；
(9)重复步骤(4)、(5)、(6)，使工件玻璃或塑料双面镀膜，将单面增透膜的透光率由94%提高到98%。
下面对以上技术方案作进一步阐述
所述步骤C3)及步骤(7)将工件玻璃或塑料进行前处理，前处理包括用纯度大于 15ΜΩ的纯净水来清洗工件玻璃或塑料表面。
本发明的有益效果在于将LED灯罩盖板的玻璃或塑料的透光率由89%提高到98 %，减少了灯罩盖板的反射光和吸收光，灯罩发热少，光照照度提高，起到了节能的作用。具体实施方式
一种真空镀增透膜提高灯具玻璃的光通量的方法，包括以下步骤
(1)提供工件玻璃或塑料；
(2)将工件玻璃或塑料进行前处理，以使工件玻璃或塑料的表面清洁；
(3)将经前处理的工件玻璃或塑料装载在工件架上，由传动系统将工件架导入真空室；
(4)在真空室内预先设有靶材，靶材的材质为Nb、Si或者为Ti、Si，然后向真空室内通入Ar和&的混合气体，使真空室的真空度达到KT1Pa ；
(5)给靶材通电，使Ar和仏的混合气体电离，电离后的粒子轰击靶材，使靶材Nb、 Si或者Ti、Si以原子形式逸出，Nb、Si或者Ti、Si原子向下沉积的过程中和A电离后的氧原子结合形成Nb205、SiO2或者Ti02、SiO2,并沉积在工件玻璃或塑料的表面；
(6)控制真空室内传动系统的运动速度，在工件玻璃或塑料表面先沉积8-12nm的 Nb2O5或者SiO2,然后在Nb2O5或者SW2上再沉积100-120nm的SiO2,使工件玻璃或塑料的透光率从89%提高到94% ；
(7)取出工件玻璃或塑料，再进行前处理，以使工件玻璃或塑料的表面清洁；
(8)将经前处理的工件玻璃或塑料非膜面朝上装载在工件架上，由传动系统将工件架导入真空室；
(9)重复步骤⑷、(5)、(6)，使工件玻璃或塑料双面镀膜，将单面增透膜的透光率由94%提高到98%。
下面对以上技术方案作进一步阐述
所述步骤( 及步骤(7)将工件玻璃或塑料进行前处理，前处理包括用纯度大于 15ΜΩ的纯净水来清洗工件玻璃或塑料表面。
根据上述说明书的揭示和教导，本发明所属领域的技术人员还可以对上述实施方式进行适当的变更和修改。因此，本发明并不局限于上面揭示和描述的具体实施方式
，对本发明的一些修改和变更也应当落入本发明的权利要求的保护范围内。此外，尽管本说明书中使用了一些特定的术语，但这些术语只是为了方便说明，并不对本发明构成任何限制。
权利要求
1.一种真空镀增透膜提高灯具玻璃的光通量的方法，其特征在于包括以下步骤(1)提供工件玻璃或塑料；(2)将工件玻璃或塑料进行前处理，以使工件玻璃或塑料的表面清洁；(3)将经前处理的工件玻璃或塑料装载在工件架上，由传动系统将工件架导入真空室；(4)在真空室内预先设有靶材，靶材的材质为Nb、Si或者为Ti、Si，然后向真空室内通入Ar和&的混合气体，使真空室的真空度达到KT1Pa ；(5)给靶材通电，使Ar和&的混合气体电离，电离后的粒子轰击靶材，使靶材Nb、Si或者Ti、Si以原子形式逸出，Nb、Si或者Ti、Si原子向下沉积的过程中和&电离后的氧原子结合形成Nb205、SiO2或者Ti02、SiO2,并沉积在工件玻璃或塑料的表面；(6)控制真空室内传动系统的运动速度，在工件玻璃或塑料表面先沉积8-12nm的Nb2O5 或者SiO2,然后在Nb2O5或者SW2上再沉积100-120nm的SiO2,使工件玻璃或塑料的透光率从89%提高到94% ；(7)取出工件玻璃或塑料，再进行前处理，以使工件玻璃或塑料的表面清洁；(8)将经前处理的工件玻璃或塑料非膜面朝上装载在工件架上，由传动系统将工件架导入真空室；(9)重复步骤0)、(5)、(6)，使工件玻璃或塑料双面镀膜，将单面增透膜的透光率由 94%提高到98%。
2.根据权利要求1所述的真空镀不导电膜的方法，其特征在于所述步骤(3)及步骤 (7)将工件玻璃或塑料进行前处理，前处理包括用纯度大于15ΜΩ的纯净水来清洗工件玻璃或塑料表面。
全文摘要
本发明提供了一种真空镀增透膜提高灯具玻璃的光通量的方法，包括以下步骤先提供工件玻璃或塑料，再将工件玻璃或塑料进行前处理，以使工件玻璃或塑料的表面清洁；然后将经前处理的工件玻璃或塑料装载在工件架上，由传动系统将工件架导入真空室；在真空室内预先设有靶材，靶材的材质为Nb、Si或者为Ti、Si，然后向真空室内通入Ar和O2的混合气体；给靶材通电，使Ar和O2的混合气体电离，Nb、Si或者为Ti、Si，和O2电离后的氧原子结合形成Nb2O5、SiO2或者TiO2、SiO2，并沉积在工件玻璃或塑料的表面；其有益效果在于将LED灯罩盖板的玻璃或塑料的透光率由89％提高到98％，减少了灯罩盖板的反射光和吸收光，灯罩发热少，光照照度提高，起到了节能的作用。
文档编号F21V3/04GK102506383SQ201110418330
公开日2012年6月20日 申请日期2011年12月14日 优先权日2011年12月14日
发明者熊树林 申请人:深圳市杰瑞表面技术有限公司