专利名称：热阴极电离真空计和真空变送器的可拆装壳体的管式规管的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及真空测量技术领域中的真空计和真空变送器，具体涉及一种热阴极电离真空计和热阴极电离真空变送器的规管。
技术背景 真空计和真空变送器是用于测量及控制低于1个大气压的气体压力的专用电子仪器。真空计的规管是真空计的传感部件。真空变送器的规管是真空变送器的传感部件。 真空计的规管和真空变送器的规管都是一套安装和固定在一个真空气密性壳体内部的真空传感元件。用于安装和固定真空传感元件的真空气密性壳体的一端有一个符合真空行业相关标准的用于连接待测真空系统的真空气密性连接接口，另一端则有一个真空气密性绝缘电引线座。真空气密性连接接口和真空气密性绝缘电引线座之间用一段通径足以容纳整个真空传感元件的真空气密性筒体来连接。真空传感元件被安装和固定在真空气密性壳体内部的真空气密性绝缘电引线座的引线支杆上，被真空气密性筒体所包围。如果真空计规管的真空传感元件采用在控制条件下，加热阴极，发射电子，电离待测真空系统内气体，测量所产生的离子流的原理来测量该待测真空系统的气体压力，就是热阴极电离真空计规管。如果真空变送器规管的真空传感元件采用在控制条件下，加热阴极，发射电子，电离待测真空系统内气体，测量所产生的离子流的原理来测量该待测真空系统的气体压力， 就是热阴极电离真空变送器规管。热阴极电离真空计规管的真空传感元件主要由一根或一组热阴极，一个栅极以及一个收集极等电极组成。常用的热阴极电离真空计规管主要有三极管式热阴极电离真空计规管和B-A式热阴极电离真空计规管两种类型。三极管式的热阴极电离真空计规管和B-A 式的热阴极电离真空计规管之间的区别主要在于其真空传感元件中的热阴极和收集极的结构和相对位置的不同。热阴极电离真空计规管的真空气密性绝缘电引线座除了用于在真空气密性壳体内部安装和固定真空传感元件的各种电极零件，还用于热阴极电离真空计规管内部的真空传感元件与热阴极电离真空计规管外部的真空计电控单元之间的电气连接。 热阴极电离真空计电控单元和热阴极电离真空计规管之间通过线缆及接插件进行分体式连接，构成传统的热阴极电离真空计。常用的热阴极电离真空变送器规管主要有三极管式热阴极电离真空变送器规管和B-A式热阴极电离真空变送器规管两种类型。三极管式的热阴极电离真空变送器规管和 B-A式的热阴极电离真空变送器规管之间的区别主要在于其真空传感元件中的热阴极和收集极的结构和相对位置的不同。热阴极电离真空变送器规管的真空气密性绝缘电引线座除了用于在真空气密性壳体内部安装和固定真空传感元件的各种电极零件，还用于热阴极电离真空变送器规管内部的真空传感元件与热阴极电离真空变送器规管外部的真空变送器电控单元之间的电气连接。热阴极电离真空变送器电控单元和热阴极电离真空变送器规管之间通过线缆接头进行整体式连接，构成现代的热阴极电离真空变送器。[0007]图1是一种常见的组焊式全包围壳体结构的热阴极电离真空计和真空变送器的管式规管。在真空气密性筒体3的上端焊接或熔接有一个真空气密性连接接口 1 ；在真空气密性筒体3的下端通过一个焊接或熔接环4与一个真空气密性绝缘电引线座5焊接或熔接；在真空气密性筒体3的内部有一套真空传感元件2 ；真空传感元件2安装和固定在真空气密性绝缘电引线座5上端的引线支杆上。真空气密性连接接口 1的有效通径可小于，等于或大于真空传感元件2的最大直径。
热阴极电离真空计和真空变送器的管式规管的这种组焊式全包围壳体结构，始终将真空传感元件2包围在真空气密性筒体3的内部，其规管灵敏度参数不容易受到待测真空系统壳体结构的干扰，从而保证了测量的可靠性。但是这种组焊式全包围壳体结构却因为难于无损拆解，所以很难对已经损坏了真空传感元件2的这种热阴极电离真空计和真空变送器的管式规管进行维修，造成了资源的浪费。如果图1中真空气密性连接接口 1的有效通径足以大于真空传感元件2最大直径，再缩短乃至取消真空气密性筒体3和焊接或熔接环4，就得到图2中的一种常见的可拆卸开放式管座结构的热阴极电离真空计和真空变送器的裸式规管。在一个大通径真空气密性连接接口 IA的有效通径区域内焊接或熔接一个真空气密性绝缘电引线座5，真空传感元件2位于真空气密性绝缘电引线座5上端的引线支杆上，既可以采用永固式的焊接或熔接连接，也可以采用可拆式的紧固或插拔连接；大通径真空气密性连接接口 IA的有效通径大于真空传感元件2的最大直径；大通径真空气密性连接接口 IA的密封面朝上，用于与待测真空系统相应的真空气密性连接接口连接。这种热阴极电离真空计和真空变送器的裸式规管在安装到待测真空系统之后，其真空传感元件2将直接插入该待测真空系统之中的相应壳体结构的内部，被相应的邻近区域所包围。热阴极电离真空计和真空变送器的裸式规管的这种可拆卸开放式管座结构，很便于将已经损坏了真空传感元件2的这种热阴极电离真空计和真空变送器的裸式规管从待测真空系统上拆卸下来进行维修。但是在使用过程中直接装入待测真空系统内部，以该待测真空系统相应的邻近区域壳体作为该热阴极电离真空计和真空变送器的裸式规管真空传感元件2的壳体组成部分，则该热阴极电离真空计和真空变送器的裸式规管的灵敏度参数不可避免地受到待测真空系统壳体结构随机性差异的干扰，从而可能降低测量的可靠性。同时，热阴极电离真空计和真空变送器的裸式规管的这种可拆卸开放式管座结构使得真空传感元件2在包装、储运、安装或拆卸等过程中都可能裸露在外，必须更加小心谨慎， 避免意外，否则很容易损坏，造成损失。
实用新型内容本实用新型的目的是针对上述背景技术中图1所述的热阴极电离真空计和真空变送器的管式规管的组焊式全包围壳体结构，以及图2所述的热阴极电离真空计和真空变送器的裸式规管的可拆卸开放式管座壳体结构的特点进行优化组合，提供一种热阴极电离真空计和真空变送器的可拆装壳体结构的管式规管，既便于对已经损坏了真空传感元件2 的热阴极电离真空计和真空变送器的管式规管进行维修，又不受待测真空系统随机性差异的干扰，具有稳定可靠的规管灵敏度参数，而且在包装、储运、安装或拆卸等过程中，也不容易损坏真空传感元件2和真空气密性绝缘电引线座5。[0012]图3是本实用新型的一种有可拆卸外罩、内筒和双密封圈的可拆装壳体结构的热阴极电离真空计和真空变送器的管式规管。其特征在于在一个真空气密性连接法兰4A的有效通径区域内焊接或熔接一个真空气密性绝缘电引线座5，真空传感元件2位于真空气密性绝缘电引线座5上端的引线支杆上，既可以采用永固式的焊接或熔接连接，也可以采用可拆式的紧固或插拔连接；真空气密性连接法兰4A的有效通径大于真空传感元件2的最大直径；真空气密性连接法兰4A的密封面朝上，且密封面具有和超高真空金属密封法兰相类似的刀口或凸缘或台阶等密封结构；真空气密性连接法兰8的密封面朝下，且密封面也具有和超高真空金属密封法兰相类似的刀口或凸缘或台阶等密封结构；在真空气密性连接法兰4A的密封面和真空气密性连接法兰8的密封面之间，有一个采用硬度较大的电真空金属材料制成的真空气密性筒体3A ；真空气密性筒体3A的上下两个端面也具有和超高真空金属密封法兰相类似的刀口或凸缘或台阶等密封结构；真空气密性筒体3A的下端面与真空气密性连接法兰4A上端的密封面之间，有一个采用硬度较小的电真空金属材料制成的超高真空金属密封圈9进行可靠的超高真空气密性连接；真空气密性筒体3A的上端面与真空气密性连接法兰8下端的密封面之间，有另一个采用硬度较小的电真空金属材料制成的超高真空金属密封圈9进行可靠的超高真空气密性连接；所有超高真空气密性连接的连接 力用螺栓或螺钉紧固件组7来提供；在真空气密性连接法兰4A和真空气密性连接法兰8之间有一个包围在螺栓或螺钉紧固件组7外侧的装饰性外罩10 ；装饰性外罩10的外形横截面可以是圆筒形，也可以是多边筒形；真空气密性连接法兰4A和真空气密性连接法兰8的外形可以与装饰性外罩10的外形保持一致，也可以不一致。真空气密性连接法兰4A和真空气密性连接法兰8的结构类型既可以是固定法兰，也可以是活套法兰。装饰性外罩10和真空气密性筒体3A也可以合并加工成由同一种采用硬度较大的电真空金属材料制成的一个整体零件。真空气密性连接法兰8上端的连接管则与带有一个真空气密性连接接口 1的连接管焊接或熔接。在真空气密性连接法兰4A下端和真空气密性绝缘电引线座5的外侧有一个引线座保护环6;引线座保护环6的高度大于真空气密性绝缘电引线座5的高度；弓丨线座保护环6的直径大于与真空气密性绝缘电引线座5配接的真空计电缆插头的直径。如果将图3中的真空气密性筒体3A的上端面与真空气密性连接法兰8下端的密封面之间的超高真空金属密封圈9取消之后直接焊接或熔接起来，形成一个带真空气密性筒体3B的异型真空气密性连接法兰8A，就得到图4所示的本实用新型的一种有可拆卸外罩、内筒和单密封圈的可拆装壳体结构的热阴极电离真空计和真空变送器的管式规管。在一个真空气密性连接法兰4A的有效通径区域内焊接或熔接一个真空气密性绝缘电引线座 5，真空传感元件2位于真空气密性绝缘电引线座5上端的引线支杆上，既可以采用永固式的焊接或熔接连接，也可以采用可拆式的紧固或插拔连接；真空气密性连接法兰4A的有效通径大于真空传感元件2的最大直径；真空气密性连接法兰4A的密封面朝上，且密封面具有和超高真空金属密封法兰相类似的刀口或凸缘或台阶等密封结构；异型真空气密性连接法兰8A下端的连接管则与一个采用硬度较大的电真空金属材料制成的真空气密性筒体3B 的上端面焊接或熔接相连；真空气密性筒体3B的下端面具有和超高真空金属密封法兰相类似的刀口或凸缘或台阶等密封结构，构成了异型真空气密性连接法兰8A的密封面；真空气密性筒体3B的下端面与真空气密性连接法兰4A上端的密封面配对，通过一个采用硬度较小的电真空金属材料制成的超高真空金属密封圈9，用螺栓或螺钉紧固件组7来进行可靠的超高真空气密性连接；在真空气密性连接法兰4A和异型真空气密性连接法兰8B之间有一个包围在螺栓或螺钉紧固件组7外侧的装饰性外罩10 ；装饰性外罩10的外形横截面可以是圆筒形，也可以是多边筒形；真空气密性连接法兰4A和异型真空气密性连接法兰8B 的外形可以与装饰性外罩10的外形保持一致，也可以不一致；真空气密性连接法兰4A和异型真空气密性连接法兰8A的结构类型既可以是固定法兰，也可以是活套法兰；装饰性外罩 10和真空气密性筒体3B也可以合并加工成由同一种采用硬度较大的电真空金属材料制成的一个整体零件；甚至异型真空气密性连接法兰8A，装饰性外罩10和真空气密性筒体3B 也可以合并加工成由同一种采用硬度较大的电真空金属材料制成的一个整体零件；异型真空气密性连接法兰8A上端的连接管则与带有一个真空气密性连接接口 1的连接管焊接或熔接。在真空气密性连接法兰4A下端和真空气密性绝缘电引线座5的外侧有一个引线座保护环6 ；引线座保护环6的高度大于真空气密性绝缘电引线座5的高度；引线座保护环6 的直径大于与真空气密性绝缘电引线座5配接的真空计电缆插头的直径。 如果将图3中的真空气密性筒体3A和任意一个超高真空金属密封圈9取消，并将另一个超高真空金属密封圈9的厚度加大到等于原来的真空气密性筒体3A与两个超高真空金属密封圈9的厚度之和的程度，就得到图5所示的本实用新型的一种有可拆卸外罩、筒圈合一的可拆装壳体结构的热阴极电离真空计和真空变送器的管式规管。在一个真空气密性连接法兰4A的有效通径区域内焊接或熔接一个真空气密性绝缘电引线座5，真空传感元件2位于真空气密性绝缘电引线座5上端的引线支杆上，既可以采用永固式的焊接或熔接连接，也可以采用可拆式的紧固或插拔连接；真空气密性连接法兰4A的有效通径大于真空传感元件2的最大直径；真空气密性连接法兰4A的密封面朝上，且密封面具有和超高真空金属密封法兰相类似的刀口或凸缘或台阶等密封结构；真空气密性连接法兰8的密封面朝下，且密封面也具有和超高真空金属密封法兰相类似的刀口或凸缘或台阶等密封结构；在真空气密性连接法兰4A的密封面和真空气密性连接法兰8的密封面之间，通过一个采用硬度较小的电真空金属材料制成的加长型超高真空金属密封圈9A，用螺栓或螺钉紧固件组7 来进行可靠的超高真空气密性连接；加长型超高真空金属密封圈9A的厚度大致等于图3中一个真空气密性筒体3A与两个超高真空金属密封圈9的厚度之和；加长型超高真空金属密封圈9A环绕在真空传感元件2的周围；在真空气密性连接法兰4A和真空气密性连接法兰 8之间有一个包围在螺栓或螺钉紧固件组7外侧的装饰性外罩10 ；装饰性外罩10的外形横截面可以是圆筒形，也可以是多边筒形；真空气密性连接法兰4A和真空气密性连接法兰8 的外形可以与装饰性外罩10的外形保持一致，也可以不一致。真空气密性连接法兰4A和真空气密性连接法兰8的结构类型既可以是固定法兰，也可以是活套法兰。装饰性外罩10 和加长型超高真空金属密封圈9A也可以合并加工成由同一种采用硬度较小的电真空金属材料制成的一个整体零件。真空气密性连接法兰8上端的连接管则与带有一个真空气密性连接接口 1的连接管焊接或熔接。在真空气密性连接法兰4A下端和真空气密性绝缘电引线座5的外侧有一个引线座保护环6 ；引线座保护环6的高度大于真空气密性绝缘电引线座5的高度；引线座保护环6的直径大于与真空气密性绝缘电引线座5配接的真空计电缆插头的直径。如果将图3中的装饰性外罩10、真空气密性筒体3A、和任意一个超高真空金属密封圈9 一并取消，并将真空气密性连接法兰8上端的接管长度大致按照真空气密性筒体3A的长度来加长，就得到图6所示的本实用新型的一种无可拆卸外罩，筒圈分离的可拆装壳体结构的热阴极电离真空计和真空变送器的管式规管。在一个真空气密性连接法兰4A的有效通径区域内焊接或熔接一个真空气密性绝缘电引线座5，真空传感元件2位于真空气密性绝缘电引线座5上端的引线支杆上，既可以采用永固式的焊接或熔接连接，也可以采用可拆式的紧固或插拔连接；真空气密性连接法兰4A的有效通径大于真空传感元件2的最大直径；真空气密性连接法兰4A的密封面朝上，且密封面具有和超高真空金属密封法兰相类似的刀口或凸缘或台阶等密封结构；真空气密性连接法兰8的密封面朝下，且密封面也具有和超高真空金属密封法兰相类似的刀口或凸缘或台阶等密封结构；在真空气密性连接法兰4A的密封面和真空气密性连接法兰8的密封面之间，通过一个采用硬度较小的电真空金属材料制成的超高真空金属密封圈9，用螺栓或螺钉紧固件组7来进行可靠的超高真空气密性连接；真空气密性连接法兰8上端的连接管与真空气密性筒体3C的下端面焊接或熔接；真空气密性筒体3C环绕在真空传感元件2的周围；真空气密性筒体3C的上端面与带有一个真空气密性连接接口 1的连接管焊接或熔接；真空气密性连接法兰4A和真空气密性连接法兰8的结构类型既可以是固定法兰，也可以是活套法兰。在真空气密性连接法兰4A下端和真空气密性绝缘电引线座5的外侧有一个引线座保护环6 ；引线座保护环6的高度大于真空气密性绝缘电引线座5的高度；引线座保护环6的直径大于与真空气密性绝缘电引线座5配接的真空计电缆插头的直径。
图1是背景技术中所述的一种常见的组焊式全包围壳体结构的热阴极电离真空计和真空变送器的管式规管。图2是背景技术中所述的一种常见的可拆卸开放式管座结构的热阴极电离真空计和真空变送器的裸式规管。图3是本实用新型的一种有可拆卸外罩、内筒和双密封圈的可拆装壳体结构的热阴极电离真空计和真空变送器的管式规管。图4是本实用新型的一种有可拆卸外罩、内筒和单密封圈的可拆装壳体结构的热阴极电离真空计和真空变送器的管式规管。图5是本实用新型的一种有可拆卸外罩、筒圈合一的可拆装壳体结构的热阴极电离真空计和真空变送器的管式规管。图6是本实用新型的一种无可拆卸外罩，筒圈分离的可拆装壳体结构的热阴极电离真空计和真空变送器的管式规管。图1、图2、图3、图4、图5和图6中的符号说明真空气密性连接接口 1、大通径真空气密性连接接口 1A、真空传感元件2、真空气密性筒体3、真空气密性筒体3A、真空气密性筒体3B、焊接或熔接环4、真空气密性连接法兰4A、真空气密性绝缘电引线座5、引线座保护环6、螺栓或螺钉紧固件组7、真空气密性连接法兰8、异型真空气密性连接法兰8A、超高真空金属密封圈9、加长型超高真空金属密封圈9A、装饰性外罩10。
具体实施方式
以下结合附图，并用最佳的实施例之一对本实用新型作出详细的说明。[0024]图5所示是本实用新型的一种有可拆卸外罩、筒圈合一的可拆装壳体结构的热阴极电离真空计和真空变送器的管式规管。是将图3中的真空气密性筒体3A和任意一个超高真空金属密封圈9取消，并将另一个超高真空金属密封圈9的厚度加大到等于原来的真空气密性筒体3A与两个超高真空金属密封圈9的厚度之和的程度演化而来。 在一个真空气密性连接法兰4A的有效通径区域内焊接或熔接一个真空气密性绝缘电引线座5，真空传感元件2位于真空气密性绝缘电引线座5上端的引线支杆上，既可以采用永固式的焊接或熔接连接，也可以采用可拆式的紧固或插拔连接；空气密性连接法兰 4A的有效通径大于真空传感元件2的最大直径；真空气密性连接法兰4A的密封面朝上，且密封面具有和超高真空金属密封法兰相类似的刀口或凸缘或台阶等密封结构；真空气密性连接法兰8的密封面朝下，且密封面也具有和超高真空金属密封法兰相类似的刀口或凸缘或台阶等密封结构；在真空气密性连接法兰4A的密封面和真空气密性连接法兰8的密封面之间，通过一个采用硬度较小的电真空金属材料制成的加长型超高真空金属密封圈9A，用螺栓或螺钉紧固件组7来进行可靠的超高真空气密性连接；加长型超高真空金属密封圈9A 的厚度大致等于图3中一个真空气密性筒体3A与两个超高真空金属密封圈9的厚度之和； 加长型超高真空金属密封圈9A环绕在真空传感元件2的周围；在真空气密性连接法兰4A 和真空气密性连接法兰8之间有一个包围在螺栓或螺钉紧固件组7外侧的装饰性外罩10 ； 装饰性外罩10的外形横截面可以是圆筒形，也可以是多边筒形；真空气密性连接法兰4A和真空气密性连接法兰8的外形可以与装饰性外罩10的外形保持一致，也可以不一致。真空气密性连接法兰4A和真空气密性连接法兰8的结构类型既可以是固定法兰，也可以是活套法兰。装饰性外罩10和加长型超高真空金属密封圈9A也可以合并加工成由同一种采用硬度较小的电真空金属材料制成的一个整体零件。真空气密性连接法兰8上端的连接管则与带有一个真空气密性连接接口 1的连接管焊接或熔接。在真空气密性连接法兰4A下端和真空气密性绝缘电引线座5的外侧有一个引线座保护环6 ；引线座保护环6的高度大于真空气密性绝缘电引线座5的高度；引线座保护环6的直径大于与真空气密性绝缘电引线座 5配接的真空计电缆插头的直径。以上实施例是本实用新型在一种有可拆卸外罩、筒圈合一的可拆装壳体结构的热阴极电离真空计和真空变送器的管式规管上的一种较优选的具体实施方式
。本实用新型的其它较优选的实施方式还包括一种有可拆卸外罩、内筒和单密封圈的可拆装壳体结构的热阴极电离真空计和真空变送器的管式规管，一种无可拆卸外罩，筒圈分离的可拆装壳体结构的热阴极电离真空计和真空变送器的管式规管和一种有可拆卸外罩、内筒和双密封圈的可拆装壳体结构的热阴极电离真空计和真空变送器的管式规管。本领域技术人员在本技术方案范围内进行的通常变化和替换应包含在本实用新型的保护范围内。
权利要求1.一种热阴极电离真空计和真空变送器的可拆装壳体的管式规管，其特征在于在一个真空气密性连接法兰(4A)的有效通径区域内焊接或熔接一个真空气密性绝缘电引线座(5)，真空传感元件(2)位于真空气密性绝缘电引线座(5)上端的引线支杆上，既可以采用永固式的焊接或熔接连接，也可以采用可拆式的紧固或插拔连接；真空气密性连接法兰 (4A)的有效通径大于真空传感元件(2)的最大直径；真空气密性连接法兰(4A)的密封面朝上，且密封面具有和超高真空金属密封法兰相类似的刀口或凸缘或台阶等密封结构。
2.—种权利要求1所述的热阴极电离真空计和真空变送器的可拆装壳体的管式规管， 其特征在于真空气密性连接法兰(8)的密封面朝下，且密封面也具有和超高真空金属密封法兰相类似的刀口或凸缘或台阶等密封结构；在真空气密性连接法兰(4A)的密封面和真空气密性连接法兰(8)的密封面之间，有一个采用硬度较大的电真空金属材料制成的真空气密性筒体(3A)；真空气密性筒体(3A)的上下两个端面也具有和超高真空金属密封法兰相类似的刀口或凸缘或台阶等密封结构。
3.—种权利要求2所述的热阴极电离真空计和真空变送器的可拆装壳体的管式规管， 其特征在于真空气密性筒体(3A)的下端面与真空气密性连接法兰(4A)上端的密封面之间，有一个采用硬度较小的电真空金属材料制成的超高真空金属密封圈(9)进行可靠的超高真空气密性连接；真空气密性筒体(3A)的上端面与真空气密性连接法兰(8)下端的密封面之间，有另一个采用硬度较小的电真空金属材料制成的超高真空金属密封圈(9)进行可靠的超高真空气密性连接；所有超高真空气密性连接的连接力用螺栓或螺钉紧固件组(7) 来提供。
4.一种权利要求3所述的热阴极电离真空计和真空变送器的可拆装壳体的管式规管， 其特征在于在真空气密性连接法兰(4A)和真空气密性连接法兰(8)之间有一个包围在螺栓或螺钉紧固件组(7)外侧的装饰性外罩(10)；装饰性外罩(10)的外形横截面可以是圆筒形，也可以是多边筒形；真空气密性连接法兰(4A)和真空气密性连接法兰(8)的外形可以与装饰性外罩(10)的外形保持一致，也可以不一致。
5.一种权利要求4所述的热阴极电离真空计和真空变送器的可拆装壳体的管式规管， 其特征在于真空气密性连接法兰(4A)和真空气密性连接法兰(8)的结构类型既可以是固定法兰，也可以是活套法兰。
6.一种权利要求5所述的热阴极电离真空计和真空变送器的可拆装壳体的管式规管， 其特征在于装饰性外罩(10)和真空气密性筒体(3A)也可以合并加工成由同一种采用硬度较大的电真空金属材料制成的一个整体零件。
7.—种权利要求6所述的热阴极电离真空计和真空变送器的可拆装壳体的管式规管， 其特征在于在真空气密性连接法兰(4A)下端和真空气密性绝缘电引线座(5)的外侧有一个引线座保护环(6)；引线座保护环(6)的高度大于真空气密性绝缘电引线座(5)的高度； 引线座保护环(6)的直径大于与真空气密性绝缘电引线座(5)配接的真空计电缆插头的直径。
8.—种权利要求7所述的热阴极电离真空计和真空变送器的可拆装壳体的管式规管， 其特征在于将其中的真空气密性筒体(3A)的上端面与真空气密性连接法兰(8)下端的密封面之间的超高真空金属密封圈(9)取消之后直接焊接或熔接起来，形成一个带真空气密性筒体(3B)的异型真空气密性连接法兰(8A)；异型真空气密性连接法兰(8A)下端的连接管与一个采用硬度较大的电真空金属材料制成的真空气密性筒体(3B)的上端面焊接或熔接相连；真空气密性筒体(3B)的下端面具有和超高真空金属密封法兰相类似的刀口或凸缘或台阶等密封结构，构成了异型真空气密性连接法兰(M)的密封面；真空气密性筒体 (3B)的下端面与真空气密性连接法兰(4A)上端的密封面配对，通过一个采用硬度较小的电真空金属材料制成的超高真空金属密封圈(9)，用螺栓或螺钉紧固件组(7)来进行可靠的超高真空气密性连接；装饰性外罩(10)和真空气密性筒体(3B)也可以合并加工成由同一种采用硬度较大的电真空金属材料制成的一个整体零件；甚至异型真空气密性连接法兰 (8A)，装饰性外罩(10)和真空气密性筒体(3B)也可以合并加工成由同一种采用硬度较大的电真空金属材料制成的一个整体零件；异型真空气密性连接法兰(M)上端的连接管则与带有一个真空气密性连接接口(1)的连接管焊接或熔接。
9.一种权利要求7所述的热阴极电离真空计和真空变送器的可拆装壳体的管式规管， 其特征在于将其中的真空气密性筒体(3A)和任意一个超高真空金属密封圈(9)取消，并将另一个超高真空金属密封圈(9)的厚度加大到等于原来的真空气密性筒体(3A)与两个超高真空金属密封圈(9)的厚度之和的程度；在真空气密性连接法兰(4A)的密封面和真空气密性连接法兰(8)的密封面之间，通过一个采用硬度较小的电真空金属材料制成的加长型超高真空金属密封圈(9A)，用螺栓或螺钉紧固件组(7)来进行可靠的超高真空气密性连接；装饰性外罩(10)和加长型超高真空金属密封圈(9A)也可以合并加工成由同一种采用硬度较小的电真空金属材料制成的一个整体零件。
10.一种权利要求7所述的热阴极电离真空计和真空变送器的可拆装壳体的管式规管，其特征在于将其中的装饰性外罩(10)、真空气密性筒体(3A)、和任意一个超高真空金属密封圈(9) 一并取消，并将真空气密性连接法兰(8)上端的接管长度大致按照真空气密性筒体(3A)的长度来加长；在真空气密性连接法兰(4A)的密封面和真空气密性连接法兰(8)的密封面之间，通过一个采用硬度较小的电真空金属材料制成的超高真空金属密封圈(9)，用螺栓或螺钉紧固件组(7)来进行可靠的超高真空气密性连接；真空气密性连接法兰 (8)上端的连接管与真空气密性筒体(3C)的下端面焊接或熔接；真空气密性筒体(3C)环绕在真空传感元件(2)的周围；真空气密性筒体(3C)的上端面与带有一个真空气密性连接接口(1)的连接管焊接或熔接；真空气密性连接法兰(4A)和真空气密性连接法兰(8)的结构类型既可以是固定法兰，也可以是活套法兰。
专利摘要一种热阴极电离真空计和真空变送器的可拆装壳体的管式规管，由上下两个真空气密性法兰、一个上下两端都具有与超高真空法兰类似的刀口或凸缘或台阶等密封结构的真空气密性筒体、两个超高真空金属密封圈和一组螺栓或螺钉紧固件来实现。真空气密性筒体也可以直接和上端那个真空气密性法兰焊接成一个异型真空气密性法兰，只用一个超高真空金属密封圈。真空气密性筒体和两个超高真空金属密封圈也可以只用一个加长型的超高真空金属密封圈直接替换。真空气密性筒体也可以移焊到上端那个真空气密性法兰的上端接管上，只用一个超高真空金属密封圈。
文档编号H01J41/04GK202075094SQ20112005465
公开日2011年12月14日 申请日期2011年3月4日 优先权日2011年3月4日
发明者岳经友, 朱世洪, 罗世敏 申请人:成都正华电子仪器有限公司