专利名称：一种离子注入设备排气联锁延时系统及其方法
技术领域：
本发明涉及半导体集成电路的制造领域，尤其涉及一种离子注入设备排气联锁延时系统及其方法。
背景技术：
在相关设备正常工作时，传统的高电流离子注入机排气连锁系统中的动力排气系统若出现压力波动时会触发连锁保护信号，需要在IOs时间范围内对连锁保护信号进行复位，而由于需要人工对联锁保护信号进行复位操作需要一定的时间，若操作不及时，在触发联锁保护信号IOs之后才对联锁保护信号进行复位或者此时排气系统压力恢复到预设安全范围之内，均会触发设备的真空系统停止工作。图I是本发明背景技术中传统离子注入设备排气联锁系统工作的流程示意图；如 图I所示，检查动力排气系统的压力波动动后，触发联锁保护系统发送联锁信号，若在IOs内联锁信号进行了复位操作则返回检查动力排气系统的压力波动动步骤，若在IOs内没有对联锁信号进行了复位操作则触发真空系统跳掉，设备停止运转；由于对联锁信号进行复位操作为人工操作，而其操作的时间在IOs之内，很多时候操作人员在动力排气系统在允许时间范围内恢复正常后是来不及进行对联锁信号进行复位操作的，这样就造成设备的非正常停机，使得生产效率大大降低；而每次真空系统跳掉后需要3个小时的时间进行设备恢复，而在正常工作时3个小时内制品站点可产出约180枚制品，且每次真空系统跳掉后还 会影响50多枚制品，造成不必要的报废；即这种非正常停机会不仅造成生产效率的降低，还会使得生产废品率的上升和产品良率的降低。
发明内容
本发明公开了一种离子注入设备排气联锁延时系统，包括动力排气系统、联锁保护系统和真空系统，其中，还包括
一延时触发装置；
所述动力排气系统、联锁保护系统、延时触发装置依次进行通信连接，所述真空系统通过一判断装置与所述延时触发装置进行通信连接；
其中，所述判断装置还与所述动力排气系统进行通信连接。上述的离子注入设备排气联锁延时系统，其中，所述延迟触发装置为延时继电器。上述的离子注入设备排气联锁延时系统，其中，所述延迟触发装置延时时间为IOs0还公开了一种离子注入设备排气联锁延时方法，其中，包括以下步骤
步骤SI :检查到动力排气系统的压力波动，并触发联锁保护系统发送触发联锁信号至延时触发装置；
步骤S2 :延时触发装置对触发联锁信号进行延迟，判断装置判断动力排气系统的压力在延迟的IOs内是否恢复正常；步骤S3 :若动力排气系统的压力恢复正常则进行下一次动力排气系统的压力波动检测，若动力排气系统的压力没有恢复正常，则触发真空系统跳掉。上述的离子注入设备排气联锁延时方法，其中，所述延迟触发装置为延时继电器。上述的离子注入设备排气联锁延时方法，其中，所述延迟触发装置延时时间为IOs0综上所述，由于采用了上述技术方案，本发明提出一种离子注入设备排气联锁延时系统及其方法，通过设置延时装置能够自动的在设备在可承受的排气系统压力范围内，有效的减少由于排气压力波动而引起设备真空系统非正常的停止工作，进而保证机台的连续正常工作，为当前机台内产品的运行提供良好的工艺环境，不仅提高设备的正常利用率，还可显著减少由于排气压力波动而停机所造成的对生产产品的质量影响，从而有效防止产品报废，提闻广品的良率。
图I是本发明背景技术中传统工艺沉积小线宽处氮化硅薄膜的结构示意 图2是本发明离子注入设备排气联锁延时系统的结构示意 图3是本发明离子注入设备排气联锁延时系统的电路结构示意 图4是本发明离子注入设备排气联锁延时方法的流程示意图。
具体实施例方式 下面结合附图对本发明的具体实施方式
作进一步的说明
图2是本发明离子注入设备排气联锁延时系统的结构示意 图3是本发明离子注入设备排气联锁延时系统的电路结构示意 图4是本发明离子注入设备排气联锁延时方法的流程示意图。如图2-3所示,一种离子注入设备排气联锁延时系统(exhaust interlock sensordelay system)，包括依次通信连接的动力排气系统11、联锁保护系统12、延时触发装置
13、判断装置14和真空系统15，其中，判断装置14还与动力排气系统通信连接，延迟触发装置13为延时继电器。在联锁保护系统12的连锁开关之间增加的延时继电器K0，在连锁开关闭合时，J14的2、3接点接通，KO闭合；而当动力排气系统11的压力出现瞬间波动时，J14的2、3节点断开，KO线圈失电，延时启动，以保持10秒内电路正常工作；若IOs内压力依然失常，则J14的2、3节点保持断开，电路在保持10秒后触发真空系统15跳掉。具体的，当动力排气系统11的压力产生波动，即压力不再正常的工作范围时，会触发联锁保护系统12发送触发联锁信号至延时触发装置13，延时触发装置13对该触发联锁信号进行IOs的延迟，在延迟的这IOs内判断装置14对动力排气系统11中的压力进行再次的检测，若检测到动力排气系统11中的压力在延迟的IOs内恢复正常，则继续下一次对动力排气系统11的压力的重新检测；若检测到动力排气系统11中的压力在延迟的IOs没有恢复到正常范围，则上述触发联塑信号则触发真空系统15跳掉，使得运行的设备停止工作。由于延迟的IOs的排气压力波动是完全在设备能力范围内，这样就能有效的避免设备的非正常停机。如图4所示，一种离子注入设备排气联锁延时方法，包括以下步骤首先，当检查到动力排气系统的压力波动时，触发联锁保护系统发送触发联锁信号至延时触发装置。然后，延时触发装置对触发联锁信号进行IOs延迟，判断装置判断动力排气系统的压力在延迟的IOs内是否恢复正常。最后，若动力排气系统的压力恢复正常则进行下一次动力排气系统的压力波动检测，若动力排气系统的压力没有恢复正常，则触发真空系统跳掉。其中，延迟触发装置为延时继电器。综上所述，由于采用了上述技术方案，本发明提出一种离子注入设备排气联锁延时系统及其方法，通过设置延时装置能够自动的在设备在可承受的排气系统压力范围内，有效的减少由于排气压力波动而引起设备真空系统非正常的停止工作，进而保证机台的连续正常工作，为当前机台内产品的运行提供良好的工艺环境，不仅提高设备的正常利用率，还可显著减少由于排气压力波动而停机所造成的对生产产品的质量影响，从而有效防止产品报废，提闻广品的良率。 通过说明和附图，给出了具体实施方式
的特定结构的典型实施例，基于本发明精神，还可作其他的转换。尽管上述发明提出了现有的较佳实施例，然而，这些内容并不作为局限。对于本领域的技术人员而言，阅读上述说明后，各种变化和修正无疑将显而易见。因此，所附的权利要求书应看作是涵盖本发明的真实意图和范围的全部变化和修正。在权利要求书范围内任何和所有等价的范围与内容，都应认为仍属本发明的意图和范围内。
权利要求
1.一种离子注入设备排气联锁延时系统，包括动力排气系统、联锁保护系统和真空系统，其特征在于，还包括 一延时触发装置； 所述动力排气系统、联锁保护系统、延时触发装置依次进行通信连接，所述真空系统通过一判断装置与所述延时触发装置进行通信连接； 其中，所述判断装置还与所述动力排气系统进行通信连接。
2.根据权利要求I所述的离子注入设备排气联锁延时系统，其特征在于，所述延迟触发装置为延时继电器。
3.根据权利要求I或2所述的离子注入设备排气联锁延时系统，其特征在于，所述延迟触发装置延时时间为10s。
4.一种离子注入设备排气联锁延时方法，其特征在于，包括以下步骤 步骤SI :检查到动力排气系统的压力波动，并触发联锁保护系统发送触发联锁信号至延时触发装置； 步骤S2 :延时触发装置对触发联锁信号进行延迟，判断装置判断动力排气系统的压力在延迟的IOs内是否恢复正常； 步骤S3 :若动力排气系统的压力恢复正常则进行下一次动力排气系统的压力波动检测，若动力排气系统的压力没有恢复正常，则触发真空系统跳掉。
5.根据权利要求4所述的离子注入设备排气联锁延时方法，其特征在于，所述延迟触发装置为延时继电器。
6.根据权利要求4或5所述的离子注入设备排气联锁延时方法，其特征在于，所述延迟触发装置延时时间为10s。
全文摘要
本发明涉及半导体制造领域，尤其涉及一种离子注入设备排气联锁延时系统及其方法。本发明提出一种离子注入设备排气联锁延时系统及其方法，通过设置延时装置能够自动的在设备在可承受的排气系统压力范围内，有效的减少由于排气压力波动而引起设备真空系统非正常的停止工作，进而保证机台的连续正常工作，为当前机台内产品的运行提供良好的工艺环境，不仅提高设备的正常利用率，还可显著减少由于排气压力波动而停机所造成的对生产产品的质量影响，从而有效防止产品报废，提高产品的良率。
文档编号H01J37/317GK102723253SQ20121020449
公开日2012年10月10日 申请日期2012年6月20日 优先权日2012年6月20日
发明者严骏, 石庆球, 裴雷洪 申请人:上海华力微电子有限公司