专利名称：用于光电倍增管的排气台的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种排气台，特别是一种用于光电倍增管的排气台。
背景技术：
光电倍增管是一种真空管，通过排气台制作其光电阴极面的过程称为排气过程。排气过程包括真空去气、气体充入、碱源等物质的导入与激活等步骤，排气过程中的杂质气体和各种工作气体的含量直接影响光电倍增管的性能，因此，在排气过程中要尽量减少排气台内的杂质气体，即提高排气台内的真空度，并且要严格控制各种工作气体的进气量。传统技术中用于光电倍增管的排气台的结构框图如
图1所示，该排气台主要包括载物台1、真空计2、主控阀3、真空泵4、机械泵5、供气阀6、工作气体7和温度控制系统8。真空泵4采用扩散泵，通过主控阀3与载物台I连接，并与机械泵5配合使用以调节真空度；供气阀6连接工作气体7与载物台I并控制各种气体的进气顺序和进气量；温度控制系统8用于控制排气各环节所需的温度环境。此外，在载物台I与主控阀3之间设有真空计2，根据真空计2的读数控制各阀门的工作状态。但是，这种排气台必须使用玻璃材质的阀门，而玻璃材质的阀门要求工作人员手动进行控制，造成排气过程中工作·人员要一直对排气台的电源、温度控制系统、阀门等各部分的工作状态进行看护，特别是在真空去气和碱源等物质的导入与激活步骤中，消耗了大量工时，严重地制约了工作效率的提高。
·[0005]虽然可以采用电控玻璃阀门，如2008年10月I日公开的中国专利“全自动玻璃真空系统排气台”(公开号为CN101276717)中讲到的，通过可编程控制器实现电控玻璃阀门的自动接通和断开，以提高工作效率，但电控玻璃阀门的接通和断开过程是缓慢的，因而这种方式并不适用于光电倍增管这类对真空度和进气量要求较高的器件。
实用新型内容本实用新型提供了一种用于光电倍增管的排气台，以解决现有技术中排气台工作效率低的问题。本实用新型提供的用于光电倍增管的排气台包括载物台、真空计、主控阀、真空泵、机械泵、供气阀、工作气体和温度控制系统，其特征在于所述排气台还包括程序控制系统，所述主控阀和供气阀为电磁阀门，所述真空泵为分子泵；上述排气台中，主控阀与载物台的连接处设有金属玻璃过渡装置；分子泵与主控阀之间设有迷宫；分子泵与机械泵之间设有前级阀，机械泵通过预抽阀与载物台连接，且前级阀和预抽阀为电磁阀门；上述排气台的主控阀为插板阀，玻璃金属过渡装置为插接密封件或金属玻璃过渡节。与传统技术相比，本实用新型的排气台有如下优点I)采用电磁阀门和分子泵，通过程序控制系统不但可以实现整个排气过程的自动化控制，在无人看护的夜间自动进行排气过程，大大提高了工作效率，而且可以采用手动操作的方式，使得该排气台的使用方式非常灵活；2)与扩散泵相比，由于分子泵具有较快的抽气速度并且不会产生油性杂质气体，使得排气台具有更高的极限真空度；3)由于采用电磁阀门，当真空计的读数达到设定值时，电磁阀门能够瞬间闭合，因而可以对排气台内各种气体的进气量进行严格控制。附图
图1为传统技术中用于光电倍增管的排气台结构框图。图2为本实用新型中用于光电倍增管的排气台结构框图。
具体实施方式
如图2所示，本实用新型的排气台结构包括载物台1、真空计20、主控阀30、真空泵40、机械泵5、供气阀60、工作气体7、温度控制系统8和程序控制系统90。载物台I用于装配光电倍增管，通过供气阀60与工作气体7连接，并通过主控阀30与真空泵40连接。真空泵40还与机械泵5连接，用于去除排气台内的杂质气体，保证光电倍增管排气过程中所需的真空度。载物台I与主控阀30之间设有真空计20，根据真空计20调节供气阀60的工作状态， 可以对进入光电倍增管的气体的顺序和进气量进行控制。程序控制系统90采用PLC等可编程逻辑控制器，对温度控制系统8、各种阀门、电源等进行控制，因此，主控阀30和供气阀60需采用电磁阀门，特别是当载物台I与主控阀30的连接处尺寸较大时，主控阀30需要采用插板阀。真空计20采用冷规，这样当真空计20检测到光电倍增管内的进气量达到设定值时，真空计20立即向程序控制系统90发出信号，进而供气阀60在程序控制系统90的作用下断开，进气过程停止，从而实现了对工作气体的进气量进行严格控制。为了避免金属质电磁阀门与载物台等玻璃质材料连接处的气密性对排气台内的真空度造成影响，采用分子泵作为真空泵40。为了防止排气过程中光电倍增管炸裂后的玻璃碎片进入分子泵，在分子泵与主控阀30之间设有迷宫41，迷宫41为入口与出口不直接导通的结构，比如内部为凹凸交错结构；为了保证分子泵在启动时不会因为真空度过低而造成损坏，分子泵与机械泵5之间设有前级阀42，并且机械泵5通过预抽阀43与载物台I连接，前级阀42和预抽阀43均为电磁阀门并受程序控制系统90控制。抽真空过程中，首先断开前级阀42，接通预抽阀43，通过机械泵5进行预抽气，以去除排气台内的大部分杂质气体；然后，接通前级阀42，断开预抽阀43，采用分子泵抽气以获取更高的真空度。此外，为了进一步提高排气台的气密性，在主控阀30与载物台I的连接处设有金属玻璃过渡装置，如插接密封件、金属玻璃过渡节等。上述排气台中，所有阀门都采用电磁阀门，这样既可以手动控制各阀门，也可以通过PLC等程序控制系统自动控制各阀门的工作状态，只要把光电倍增管接在排气台上，就可以自动完成整个排气过程，特别是在无人看护的夜间也能自动运行，大大提高了白天的工作效率；在整个排气过程中，或者在排气过程的某些环节中，也可以使用手动操作的方式，以便处理排气中的各种突发问题，使得该排气台的使用方式非常灵活。
权利要求1.一种用于光电倍增管的排气台，包括载物台、真空计、主控阀、真空泵、机械泵、供气阀、工作气体和温度控制系统，其特征在于所述排气台还包括程序控制系统，所述主控阀和供气阀为电磁阀门，所述真空泵为分子泵。
2.如权利要求1所述用于光电倍增管的排气台，其特征在于所述主控阀与载物台的连接处设有金属玻璃过渡装置。
3.如权利要求2所述用于光电倍增管的排气台，其特征在于所述分子泵与机械泵之间设有前级阀，机械泵通过预抽阀与载物台连接，所述前级阀和预抽阀为电磁阀门。
4.如权利要求1所述用于光电倍增管的排气台，其特征在于所述主控阀为插板阀。
5.如权利要求2或3所述用于光电倍增管的排气台，其特征在于所述主控阀为插板阀。
6.如权利要求2或3所述用于光电倍增管的排气台，其特征在于所述金属玻璃过渡装置为插接密封件或金属玻璃过渡节。
7.如权利要求5所述用于光电倍增管的排气台，其特征在于所述金属玻璃过渡装置为插接密封件或金属玻璃过渡节。
8.如权利要求4或7所述用于光电倍增管的排气台，其特征在于所述真空计为冷规。
9.如权利要求6所述用于光电倍增管的排气台，其特征在于所述真空计为冷规。
专利摘要本实用新型涉及一种用于光电倍增管的排气台，包括载物台、真空计、主控阀、真空泵、机械泵、供气阀、工作气体和温度控制系统，所述排气台还包括程序控制系统，所述主控阀和供气阀为电磁阀门，所述真空泵为分子泵。本实用新型的排气台使用方式灵活、工作效率高，并且能够对排气台内各种气体的进气量进行严格控制。
文档编号H01J9/385GK202905652SQ20122033118
公开日2013年4月24日 申请日期2012年7月5日 优先权日2012年7月5日
发明者司永辉, 滕人法, 高建波, 杨爱军 申请人:北京滨松光子技术股份有限公司