专利名称：耐场强平面电极的制作方法
技术领域：
本实用新型属于光电子学成像系统中平面电极结构的改进。
平面电极是光电子学成像系统中广泛应用的一种电极形式，在工作中电极间加有高压电场，电子从一侧电极逸出，在电场驱动下，电子加速运动到达另一侧电极荧光屏上成像，由于电子逸出时受横向速度的影响，到达第二电极时，电子图像产生弥散，降低了成像的空间分辨率。为了系统地得到较高的空间分辨率，可以从两个途径来解决问题，即提高电极场强和缩小两电极间隙，但这样很容易造成电极击穿打火，毁坏整个成像系统。
本实用新型的目的是提出一种耐场强平面电极的结构，使之在较高场强下，不易造成电极击穿打火，实现成像系统的空间分辨率及亮度的提高。
本实用新型的技术方案是以如下方式实现的在平面电极两相对面的其中一面镀有2-3μm厚的绝缘耐压层。
本实用新型所设计的耐场强平面电极，由于制有绝缘耐压层，从而使电极间隙减小到300-400μm，使电极耐压上升到10KV以上，克服了系统因场强击穿打火的问题，保证了整个系统的正常工作。同时由于场强的增加，大大减小了电子弥散的影响，使成像亮度增加，空间分辨率倍增。其具有结构简单、制作容易的优点。
附
图1为本实用新型所设计耐场强平面电极的一种实施例的结构示意图，图中1为微通道板，2为输出电极，3为绝缘耐压层，4为纤维面板，5为荧光屏(输入电极)。
以下结合附图来说明本实用新型的实施例。
附图中为双近贴变像管结构示意，其只是本实用新型的一个非限定性的实施例。在微通道板的输出电极2端面上，用溅射镀膜的方法镀有三氧化二铝玻璃绝缘耐压层3，其厚度为2-3μm。在测试时与荧光屏4(输出电极)间隔300-400μm，在微通道板上加电压后，经测试工作电场强度可达十几千伏/毫米，来出现击穿打火现象，电子达到荧光屏时，几乎没有弥散影响，成像亮度好，空间分辨率倍增。本实用新型所设计的耐场强平面电极可广泛应用于当前飞跃发展的成像系统和诊断技术中去，如X射线增强器、条纹像机，MCP选通分幅像机，CCD等需要较高空间分辨率的仪器、设备。
权利要求1，一种用于光电子学成像系统中的耐场强平面电极，其特征在于在平面电极两相对面的其中一面镀有2-3μm厚的绝缘耐压层。
专利摘要一种耐场强平面电极，本实用新型的特点是在平面电极两相对面的其中一面镀有绝缘耐压层，从而使电极工作时的电场强度达十几千伏/毫米，电子移动几乎不产生弥散、成像系统的空间分辨率和增益得到很大提高，这一技术可广泛应用于光电子学的成像系统和诊断技术中。
文档编号H01J1/30GK2252406SQ95245038
公开日1997年4月16日 申请日期1995年9月22日 优先权日1995年9月22日
发明者常增虎, 刘秀琴 申请人:中国科学院西安光学精密机械研究所