专利名称：放电加工装置以及放电加工方法
技术领域：
本发明涉及在加工用电极与被加工物体之间加入电压，使其发生放电从而进行加工的放电加工装置以及放电加工方法，特别是，涉及实现电极驱动的X轴，Y轴，Z轴方向的高速响应性，进而谋求提高加工精度的放电加工装置以及放电加工方法。
第17图中，101是加工用电极，102是被加工物体，103是加工液，104是加工槽，1201是安装了加工用电极101的电极安装单元，501是支撑电极安装单元1201的顶部单元，502是驱动加工用电极101、电极安装单元1201和顶部单元501的顶部驱动单元，503是立柱单元，504是驱动加工用电极101、电极安装单元1201、顶部单元501、顶部驱动单元502和立柱单元503的立柱驱动单元，505是滑鞍单元，506是驱动加工用电极101、电极安装单元1201、顶部单元501、顶部驱动单元502、立柱单元503、立柱驱动单元504和滑鞍单元505的滑鞍驱动单元，507是顶部单元。顶部驱动单元502，立柱驱动单元504，滑鞍驱动单元506例如由AC电机和滚珠构成，分别成为用于把电极向Z方向定位的驱动单元，用于向Y方向定位的驱动单元，用于将X方向定位的驱动单元。另外，119是用于在加工用电极101和被加工物体102之间供给加工能量的加工用电源，120是用于检测加工状态的加工状态检测装置，1202是用于分别向顶部驱动单元502，立柱驱动单元504，滑鞍驱动单元506供给驱动电流进行定位的伺服放大器，1203是向伺服放大器1202以及加工用电源119提供指令值的控制装置。进而，122示出在加工用电极101与被加工物体102之间正在进行的放电加工处理。
第18图示出用于控制第17图所示的放电加工装置的放电加工状态的电极间控制系统。图中，301是放电加工处理单元，302是加工状态检测单元，303是目标值设定单元，304是加工轨迹设定单元，1301是加工控制单元，1302是XYZ驱动控制单元，1303是电流放大器单元，1304是XYZ驱动单元，1305是由XYZ驱动控制单元1302、电流放大器单元1303和XYZ驱动单元1304构成的XYZ驱动装置。放电加工处理单元301对应于放电加工处理单元122，加工状态检测单元302对应于加工状态检测装置120，XYZ驱动控制单元1302和电流放大器单元1303对应于伺服放大器1202，XYZ驱动单元1304对应于顶部驱动单元502、立柱驱动单元504、滑鞍驱动单元506。另外，目标值设定单元303、加工轨迹设定单元304、加工控制单元1301构成控制装置1203。另外，y是放电加工处理的状态量，ym是用加工状态检测单元302检测出的检测值，r是用目标值设定单元303设定的目标值，e是从目标值r和检测值ym求出的偏差，Rp是用加工轨迹设定单元304设定的加工轨迹矢量，Up是对于XYZ驱动控制单元1302的位置指令值，Uc是对于电流放大器单元1303的电流指令值，Ic是对于XYZ驱动单元1304供给的电流量，St是从XYZ驱动单元1304获得的位置检测值，Mp表示由XYZ驱动单元1304操作的电极位置操作量。对于XYZ驱动控制单元1302的位置指令值Up是在加工控制单元1301中通过偏差e和加工轨迹矢量Rp而求出。位置指令值Up由于加工轨迹矢量Rp用正交坐标系(XYZ)给出，因此成为相同的正交坐标系(XYZ)。另外，位置检测值St是X方向，Y方向，Z方向的检测值。从而，在XYZ驱动控制单元1302中，把位置指令值Up与位置检测值St进行比较，求出对于电流放大器1303的电流指令值Uc。电流指令值Uc分别提供给顶部驱动单元502，立柱驱动单元504，滑鞍驱动单元506这3台电流放大器。即在第18图所示的现有的电极间控制系统中，用加工状态检测单元302例如检测出平均电极间电压，通过XYZ驱动装置1305移动加工用电极，使得其检测值与预定的目标值一致，从而实现稳定的加工状态。
但是，加工状态不规则地变动，为了维持稳定的加工状态，重要的是XYZ驱动装置的高速响应性。在不能够维持稳定的加工状态时，频繁地发生短路状态或者集中电弧状态，减少有助于加工的有效放电状态，因此导致加工速度的降低。另外，通过频繁地发生短路状态或者集中电弧状态，在加工面上或者形成裂缝或凹痕，或者局部地发生电极的异常消耗，其结果导致加工面品质的降低或者加工精度的恶化。在不能够期待XYZ驱动装置的高速响应性的情况下，通过选择使加工中的电极间距离比较宽的加工条件以维持稳定的加工状态，但是这将难以实现高精度的加工。
在日本专利2714851号「放电加工处理控制装置」的专利公报中，作为解决上述那样的加工电极驱动装置的高速响应性的问题的一种方法，记载了为了沿着同轴方向使加工用电极以及被加工物体中的至少一方移动，把频率特性不同的多个加工驱动机构组合起来，用其组合起来的驱动系统构成电极间控制系统的方案。但是，并没有说明对于X方向，Y方向，Z方向的所有方向都能够实现高速响应的具体的驱动机构，另外，也没有涉及到伴随为了维持稳定加工状态所利用的跳跃动作或者摇摆动作的加工控制方法或者加工控制装置。
另外，在特开平1-234162号公开公报(日本专利申请)中公开的加工方法中，考察了在研磨加工机中，代替现有的电机和滚珠进行的向工具的工件的切入动作，具备磁轴承主轴，根据预先确定的目标值使主轴沿着主轴径方向移动，高速地进行向工具的工件的切入动作的方法，能够改善加工效率或者加工精度。在放电加工处理中，加工用电极根据加工轨迹沿着XYZ方向驱动，必须根据放电加工状态决定其驱动量使得加工稳定。另外，有时通过加工，驱动量从数μm到数十cm，在用磁轴承主轴能够驱动的驱动量下有时不能够进行加工。特别是，在上述特开平1-234162号公开公报中公开的加工方法中，由于不是控制驱动方向那样的结构，因此即使适用在放电加工中，也难以得到良好的加工结果。
在现有的放电加工装置中，在把加工用电极101向X轴，Y轴以及Z轴的各方向驱动时，顶部驱动单元502除去加工用电极101以外，还需要把电极安装单元1201和顶部单元502向Z轴方向驱动，立柱驱动单元504除去加工用电极101以外，还需要把电极安装单元1201，顶部单元501，顶部驱动单元502和立柱单元503向Y轴驱动，滑鞍驱动单元506需要把加工用电极101，电极安装单元1201，顶部单元501，顶部驱动单元502，立柱单元503，立柱驱动单元504和滑鞍单元505向X轴驱动。因此，在实现各个驱动单元的响应性的基础上，存在着除去加工用电极101以外，还必须考虑与加工用电极101同时向X轴，Y轴以及Z轴的各方向驱动的部分的质量增加这样的问题。这时的响应性成为顶部驱动单元502的响应性＞立柱驱动单元504的响应性＞滑鞍驱动单元506的响应性，根据滑鞍驱动单元506的响应性决定加工状态的控制性能，其结果，成为改善加工速度以及加工精度方面的障碍。
本发明是为解决上述的课题而产生的，目的在于得到能够抑制必须与加工用电极同时向X轴，Y轴以及Z轴的各方向驱动的部分的质量增加，能够实现X轴，Y轴以及Z轴方向的高速响应性，能够改善加工速度以及加工精度的放电加工装置。
另外，作为本发明第2种结构的放电加工装置，它具备安装加工用电极的电极安装装置；具有沿着径向非接触地驱动电极安装装置的径向驱动装置以及沿着轴向非接触地驱动电极安装装置的轴向驱动装置的电极驱动装置；调整电极驱动装置或者被加工物体的位置的位置调整装置；检测放电加工状态的加工状态检测装置；设定放电加工状态的控制目标的目标值设定装置；设定加工轨迹的加工轨迹设定装置；考虑由加工轨迹设定装置设定的加工轨迹的同时协调电极驱动装置与位置调整装置，调整加工用电极与被加工物体的相对位置，使得由加工状态检测装置检测出的检测值与由目标值设定装置设定的目标值一致的协调加工控制装置。由此，能够实现电极驱动的X轴，Y轴，Z轴方向的高速响应性，即使在加工状态不规则地变动的情况下也实现稳定的加工状态，同时，通过由位置调整装置随着加工的进行而调整电极驱动装置的位置，从而能够不受电极驱动单元的移动距离的限制，具有能够改善加工速度，进而能够改善加工精度的效果。
作为本发明第3种结构的放电加工装置，在作为第2种结构的放电加工装置中，协调加工控制装置具有用于由位置调整装置进行跳跃动作的跳跃动作控制装置。由此，在实现电极驱动的X轴，Y轴，Z轴方向的高速响应性的同时，不受电极驱动装置的驱动距离的限制，能够在强制地排出通过跳跃动作在电极间滞留的加工切屑的同时进行加工，具有即使加深加工深度也能够改善加工速度，进而能够改善加工精度的效果。
另外，作为本发明第4种结构的放电加工装置，在作为第2种结构的放电加工装置中，协调加工控制装置具有用于由电极驱动装置进行摇摆动作的摇摆动作控制装置。由此，具有通过X轴，Y轴，Z轴方向的高速响应性维持更稳定的摇摆加工状态，能够改善加工速度和加工精度的效果。
另外，作为本发明第5种结构的加工放电装置，在作为第2种结构的加工放电装置中，协调加工控制单元具有用于由位置调整装置进行跳跃动作的跳跃动作控制装置和用于由电极驱动装置进行摇摆动作的摇摆动作控制装置。由此，实现X轴，Y轴，Z轴方向的高速响应性的同时，不受电极驱动装置的驱动距离的限制，能够在强制地排出通过跳跃动作在电极间滞留的加工切屑的同时进行加工，具有即使加深加工深度也能够改善加工速度，进而改善加工精度的效果。
另外，作为本发明第6种结构的加工放电装置在作为第1种结构或者作为第2种结构的加工放电装置中，电极驱动装置具有用于使电极安装装置旋转的旋转驱动装置和至少检测旋转角度与旋转角速度中的至少一种的旋转检测装置，加工控制装置或者协调加工控制装置具有旋转控制装置。由此，在实现X轴，Y轴，Z轴方向的高速响应性的同时不受电极驱动装置的驱动距离的限制，能够在强制地排出通过跳跃动作在电极间滞留的加工切屑的同时进行加工，具有即使加深加工深度也能够改善加工速度，进而能够改善加工精度的效果。
如果依据本发明第7种结构的放电加工方法，则由于沿着径向非接触地驱动安装加工用电极的电极安装装置的同时沿着轴向非接触地驱动电极安装装置，调整用于进行驱动的装置或者被加工物体的位置，在考虑所设定的加工轨迹的同时，调整加工用电极对于被加工物体的位置，使得被检测出的放电加工状态的检测值与所设定的放电加工状态的目标值一致，因此抑制必须与加工用电极同时驱动的部分的质量增加，能够实现电极驱动的X轴，Y轴、Z轴方向的高速响应性，即使在加工状态不规则地变动的情况下也能够维持稳定的加工状态，具有能够改善加工速度，进而能够改善加工精度的效果。
如果依据本发明第8种结构的放电加工方法，则由于沿着径向非接触地驱动安装加工用电极的电极安装装置的同时沿着轴向非接触地驱动电极安装装置，调整用于进行驱动的装置或者被加工物体的位置，在考虑所设定的加工轨迹的同时，协调上述驱动和上述调整的各装置，调整加工用电极对于被加工物体的位置，使得被检测出的放电加工状态的检测值与所设定的放电加工状态的目标值一致，因此能够实现电极驱动的X轴，Y轴、Z轴方向的高速响应性，即使在加工状态不规则地变动的情况下也能够维持稳定的加工状态，同时，通过由位置调整装置随着加工的进行而调整电极驱动装置的位置，从而不受电极驱动单元的驱动距离的限制，具有能够改善加工速度，进而能够改善加工精度的效果。
作为本发明第9种结构的加工放电装置，它具备包括用于使线形加工用电极穿过的贯通孔，并且包括该电极的保持以及传送机构的电极安装装置；包括至少沿着轴向非接触地驱动该电极安装装置的轴向驱动装置的电极驱动装置；检测放电加工状态的加工状态检测装置；设定放电加工状态的控制目标的目标值设定装置；由该电极驱动装置调整该加工用电极的位置使得由该加工状态检测装置检出的检测值与由该目标值设定装置设定的目标值一致的加工控制装置；调整该电极的保持或者传送的电极供给控制装置。由此，能够实现轴向的高速响应性，即使在加工状态不规则地变动的情况下也能够始终以维持稳定的加工状态。
作为本发明第10种结构的放电加工装置，在作上述作为第9种结构的放电加工装置中，具备向上述电极驱动装置具有的贯通孔自动地供给线形加工用电极的加工电极自动供给装置。由此，除去第9种结构的效果以外，还能够连续地高效地进行孔加工。
作为本发明第11种结构的放电加工装置，在上述作为第9或者上述作为第10种结构的放电加工装置中，在上述电极驱动装置中具备用于使上述电极安装装置旋转的旋转驱动装置。由此，除去第9种或者第10种结构的效果以外，在孔加工的情况下通过使电极旋转的同时进行加工，能够实现稳定的加工。
图2是示出
图1所示的放电加工装置中的电极驱动单元的电磁铁单元以及位置检测单元的配置的结构图。
图3是示出图1所示的放电加工装置中的电极间控制系统的框图。
图4是示出图3所示的电极间控制系统的工作内容的流程图。
图5是表示作为本发明实施例2的放电加工装置的结构的结构图。
图6是示出图5所示的放电加工装置中的电极间控制系统的框图。
图7是详细地示出图6所示的电极间控制系统的框图。
图8是示出图5所示的电极间控制系统的动作内容的流程图。
图9是示出作为本发明实施例3的放电加工装置中的电极间控制系统的一部分的框图。
图10是示出作为本发明实施例4的放电加工装置中的电极间控制系统的一部分的框图。
图11是示出作为本发明实施例5的放电加工装置中的电极驱动装置的结构图。
图12是示出具有图11所示的电极驱动装置的放电加工装置中的电极间控制系统的一部分的框图。
图13是示出作为本发明实施例6的放电加工装置的概略的结构图。
图14是用于控制图13所示的放电加工装置中的放电加工状态的电极间控制系统以及电极供给控制系统的框图。
图15是示出图14所示的电极供给控制系统中的动作内容的流程图。
图16是表示作为本发明实施例6的其它的放电加工装置具有的特征部分的概略的结构图。
图17是示出现有的放电加工装置的结构图。
图18是示出图17所示的放电加工装置中的电极间控制系统的框图。
用于实施发明的最佳形态实施例1第1图是示出作为本发明实施例1的放电加工装置的概略结构的结构图。图中，101是加工用电极，102是被加工物体，103是加工液，104是加工槽，105是电极驱动单元，106是安装加工用电极101的电极安装单元，107以及108是沿着径向非接触地支撑以及驱动电极安装单元106的径向电磁铁单元，109以及110是检测电极安装单元106的径向位置的径向位置检测单元，111以及112是沿着轴向非接触地支撑以及驱动电极安装单元106的轴向电磁铁单元，113是检测电极安装单元106的轴向位置的轴向位置检测单元，114以及115是辅助支撑电极安装单元106的辅助轴承单元，116是作为电极安装单元106的一部分的绝缘单元，117是在加工用电极101上供给加工电流的馈电单元。另外，118是用于向电极驱动单元105的电磁铁单元供给电流的电流放大器，119是在加工用电极101和被加工物体102上供给能量的加工用电源，120是用于检测加工状态的加工状态检测装置，121是向电流放大器118以及加工用电源119提供指令值的控制装置。进而，122示出在加工用电极101与被加工物体102之间进行的放电加工处理。
第2图的(A)是示出在电极驱动单元105中的径向电磁铁单元107以及108和径向位置检测单元109以及110的配置的结构图。如第1图以及第2图的(A)所示，4个径向电磁铁单元107在上部沿着径向非接触地支撑以及驱动电极安装单元106，4个径向电磁铁单元108在下部沿着径向非接触地支撑以及驱动电极安装单元106。另外，与各个径向电磁铁单元相对应，在上部配置4个径向位置检测单元109，在下部配置4个径向位置检测单元110。第2图的(B)是示出在电极驱动单元105中沿着轴向非接触地支撑以及驱动的轴向电磁铁单元111以及112和检测轴向位置的轴向位置检测单元113的配置的结构图。如第1图以及第2图的(B)所示，2个轴向电磁铁单元111以及112沿着轴向非接触地支撑以及驱动电极安装单元106。另外，配置2个轴向位置检测单元113。如以上那样，通过径向电磁铁单元107以及108和径向位置检测单元109以及110，构成沿着径向驱动加工用电极的径向驱动单元，通过轴向电磁铁单元111以及112和轴向位置检测单元113，构成沿着轴向驱动加工用电极的轴向驱动单元。由此，能够非接触地支撑电极安装单元106，能够向XYZ轴方向细微地驱动加工用电极101。
第3图是用于控制第1图所示的放电加工装置的放电加工状态的电极间控制系统的框图。在第3图中，301是放电加工处理单元，302是加工状态检测单元，303是目标值设定单元，304是加工轨迹设定单元，305是加工控制单元，306是电极驱动控制单元。307是电流放大器单元，308是电极驱动单元，309是由电极驱动控制单元306、电流放大器单元307和电极驱动单元308构成的电极驱动装置单元。放电加工处理单元301对应于放电加工处理122，加工状态检测单元302对应于加工状态检测装置120，电流放大器单元307对应于电流放大器单元118，电极驱动单元308对应于电极驱动单元105。
另外，目标值设定单元303，加工轨迹设定单元304，加工控制单元305，电极驱动控制单元306构成控制装置121。另外，y表示放电加工处理的状态量，ym表示由加工状态检测单元302检测出的检测值，r表示由目标值设定单元303设定的目标值，e表示从目标值r和检测值ym求出的偏差，Rp表示由加工轨迹设定单元设定的加工轨迹矢量，Up表示对于电极驱动控制单元306的指令值，Uc表示对于电流放大器单元307的电流指令值，Ic表示向电极驱动单元308供给的电流量，Sm表示从电极驱动单元308得到的位置检测值，Mp表示由电极驱动单元308操作的电极位置操作量。
对于电极驱动控制装置306的位置指令值Up是在加工控制单元305中根据偏差e和加工轨迹矢量Rp而求出。位置指令值Up由于加工轨迹矢量Rp用正交坐标系(XYZ)给出，因此成为相同的正交坐标系(XYZ)。另一方面，位置检测值Sm是径向以及轴向的检测值。另外，在电极驱动单元308中，如第1图以及第2图所示，在上部由4个径向电磁铁，在下部由4个径向电磁铁，2个轴向电磁铁驱动加工电极。从而，电极驱动控制单元306中，在位置指令值Up中进行坐标变换，求径向以及轴向中的位置指令值，与位置检测值Sm进行比较，求对于电流放大器单元307的电流指令值Uc。电流指令值Uc提供给径向电磁铁单元107以及108用的8台电流放大器，轴向电磁铁单元111以及112用的2台电流放大器。
第4图示出第3图所示的电极间控制系统的动作内容。电极间控制系统一般用微机的软件处理实现，在第4图中示出第k次处理。S401是在第3图的加工状态检测单元302中的处理，例如作为电极间平均电压ym(k)检测放电加工处理的状态量y。其次在S402中从该电极间平均电压ym(k)和目标值r求偏差e(k)。即，S402是从第3图所示的加工状态处理单元302和目标值设定单元303的输出求偏差的处理。然后，在S403中对于偏差e(k)进行比例+积分补偿，从补偿所得到的量和加工轨迹矢量Rp而求指令值Up(k)。这里，kp是比例增益，ki是积分增益，Up(k)是XYZ轴方向的各个指令值，Up(k)用正交坐标系给出。
在S404中，进行根据Up(k)对于径向以及轴向的坐标变换，求径向以及轴向的各自的目标值Rm(k)。然后，根据目标值Rm(k)和来自径向位置检测单元109、110以及轴向位置检测单元113的检测值Sm(k)求偏差Em(k)。而且，对于偏差Em(k)进行比例+积分补偿，求对于电流放大器单元307的指令值Uc(k)。这里，T是坐标变换矩阵，Kpm是比例增益，kim是积分增益，S404中的运算以矩阵运算的形式汇总叙述。S404的处理在第3图中的电极驱动控制单元306中进行。
如上述那样，在作为本发明实施例1的放电加工装置中，如果依据电极驱动单元105，则由于构成了通过径向电磁铁单元107、108，轴向电磁铁单元111、112沿着径向以及轴向仅非接触地驱动安装了加工用电极101的电极安装单元106，因此能够抑制必须与加工用电极101同时驱动的部分的质量增加。
另外，在电极间控制系统中，由于构成为由加工状态检测单元302检测电极间平均电压ym(k)，根据该检测值ym(k)，目标值r和加工轨迹矢量Rp求应该驱动加工用电极101的XYZ坐标系统中的指令值Up(k)，通过对该指令值Up(k)进行坐标变换求对于电极驱动单元105的径向驱动装置单元以及轴向驱动单元的目标值Rm(k)，根据其目标值Rm(k)通过电极驱动单元105使加工用电极101向径向以及轴向移动，因此在通过电极驱动单元105使加工用电极101沿着加工轨迹矢量Rp向XYZ方向移动的同时，能够使其检测值ym(k)与目标值r一致，能够实现稳定的加工状态。因此，能够实现X轴，Y轴以及Z轴方向的高速响应性，即使在加工状态不规则地变动的情况下也能够维持稳定的加工状态。从而，能够实现加工速度的改善，进而实现加工精度的提高。
以上，在电极驱动单元105的径向驱动单元以及轴向驱动单元中使用了电磁铁，而在轴向驱动装置单元中，为了消除加工用电极101或者电极安装单元106的自重部分也可以添加永久磁铁，把永久磁铁与电磁铁组合起来构成电极驱动单元105，也能够起到与上述相同的作用效果。
另外，以上说明了通过根据平均电极间电压而检测加工状态从而构成电极间控制系统的情况，而也可以通过根据放电脉冲的无负荷时间检测加工状态构成电极间控制系统，也能够起到与上述相同的作用效果。
另外，以上进行了比例+积分补偿，而也可以构成为比例补偿或者比例+积分+微分补偿的反馈控制系统或者前馈控制系统等，也能够起到与上述相同的作用效果。
实施例2
第5图是示出作为本发明实施例2放电加工装置的结构图。在第5图中，101～104，501～507，1202与现有例示出的结构相同。另外，118，119，1202与实施例1的结构相同。另外，508是对用于向伺服放大器1202，电极驱动单元105的电磁铁单元供给电流的电流放大器118以及加工用电极119提供指令值的控制装置。第5图中，由顶部单元501，顶部驱动单元502，立柱单元503，立柱驱动单元504，滑鞍单元505，滑鞍驱动单元506构成的位置调整单元调整电极驱动单元105的位置。电极驱动单元105安装在顶部单元501上，顶部单元501由顶部驱动单元502向Z轴方向驱动，顶部驱动单元502安装在立柱单元503上，立柱单元503由立柱驱动单元504向Y轴方向驱动，立柱驱动单元504安装在滑鞍单元505上，滑鞍单元505由滑鞍驱动单元506向X轴方向驱动。
然而，电极驱动单元105的驱动范围最大是数百μm～1mm左右，有时在进行加工方面其移动距离不充分。因此，通过使电极驱动单元105和由顶部驱动单元502，立柱驱动单元504，滑鞍驱动单元506构成的位置调整单元协调动作，调整加工用电极101与被加工物体102的相对位置，能够扩大实际的驱动范围。
第6图是用于控制作为本发明实施例2的放电加工装置中的放电加工状态的电极间控制系统的框图。在第6图中，与第3图相同的符号表示相同或者相当的部分，并且省略其说明。601是协调加工控制单元，602是位置调整装置单元，相当于现有的XYZ驱动控制单元。Upl示出对于电极驱动装置单元309的指令值，Ups示出对于位置调整装置单元602的指令值，Mp示出通过电极驱动装置单元309以及位置调整装置单元602操作的电极操作量。电极驱动装置单元309的指令值Upl、位置调整装置单元602的指令值Ups是在协调加工控制单元601中根据偏差e和加工轨迹矢量Rp而求出。
即，在作为实施例1的放电加工装置中的电极间控制系统中，根据由加工控制单元305求出的指令值Up，通过电极驱动装置单元309调整加工用电极101的位置，从而控制加工过程，而与此不同，在作为实施形态2的放电加工装置中的电极间控制系统中，根据由协调加工控制装置单元601求出的指令值Upl以及Ups，通过电极驱动装置单元309以及位置调整装单元602调整加工用电极101的位置，从而控制加工过程。位置调整装置单元602例如通过用AC电机和滚珠或者线性电机构成，能够容易地实现数百mm以上的驱动范围。从而，即使进行超过了基于电极驱动装置单元309的加工用电极101的驱动范围，也能够由位置调整装置单元602调整电极驱动装置单元309与被加工物体102的相对位置，由此能够扩大加工用电极101的驱动范围。
第7图是详细地示出协调加工控制单元601的框图。图中，603是第1运算单元，604是第2运算单元，605是第3运算单元。在第1运算单元603中，为了由电极驱动装置单元309以及位置调整装置单元602控制加工过程，通过根据目标值r和检测值ym而求出的偏差e和加工轨迹矢量Rp从而求应该驱动加工用电极101的XYZ坐标系统中的指令值Up。在第2运算单元604中，根据指令值Up求对于电极驱动装置单元609的指令值Upl。另外，在第3运算单元605中，根据指令值Up求对于位置调整装置单元602的指令值Ups。下面详细地说明第1运算单元603，第2运算单元604，第3运算单元605中的处理。
第8图示出第6图所示的电极间控制系统的动作内容。电极间控制系统一般由微机的软件处理来实现，在第8图中示出第k次处理。在第8图中，S401～S403与实施例1所示的相同。S401是第6图的加工状态检测单元302中的处理，例如作为电极间平均电压ym(k)检测放电加工过程的状态量y。然后，在S402中从电极间平均电压ym(k)和目标值r求偏差e。S403对应于第7图的第1运算单元603中的处理。即，对于偏差e(k)进行比例+积分补偿，从补偿所得到的量与加工轨迹矢量Rp求指令值Up(k)。这里，kp是比例增益，ki是积分增益，Up(k)是XYZ轴方向的各个指令值，Up(k)在正交坐标系(XYZ)给出。
S701对应于第7图的第2运算单元604以及第3运算单元605中的处理。即，由数字滤波器Fpl(z-1)对Up(k)进行滤波从而求指令值Upl(k)的处理是在第2运算单元604中进行。另外，由数字滤波器Fps(z-1)对Up(k)进行滤波从而求指令值Ups的处理是在第3运算单元605中进行。数字滤波器Fps(z-1)以及数字滤波器Fpl(z-1)的特性确定为使得在电极驱动装置稳定地控制加工状态的同时位置调整装置能够补偿加工的进行。例如，数字滤波器Fpl(z-1)取截止频率为数Hz的低通滤波特性，或者从数Hz左右到数百Hz左右为带宽的带通滤波特性，数字滤波器Fps(z-1)取截止频率为数Hz的低通滤波特性。另外，Upl(k)以及Ups(k)由XYZ轴方向的各个指令值构成。以上S403以及S701是第6图的协调加工控制单元601中的处理。S702是第6图的电极驱动装置单元309中的处理，进而更严密地对应于第3图的电极驱动控制单元306中的处理。即，在S702中，进行从Upl(k)到径向以及轴向的坐标变换，求径向以及轴向各自的目标值Rm(k)。然后，根据目标值Rm(k)和来自径向以及轴向位置检测单元的检测值Sm(k)求偏差Em(k)。而且，对于偏差Em(k)进行比例+积分补偿，求对于电流放大器的指令值Uc(k)。这里，T是坐标变换矩阵，Kpm是比例增益，Kim是积分增益，S702中的运算以矩阵运算的形式汇总并记述。以上的软件处理在第5图的控制装置508中实现。
如以上那样，在作为本发明实施例2的放电加工装置中，具有通过协调电极驱动装置单元309以及位置调整装置单元602、调整加工用电极101的位置从而控制加工过程的协调控制器601，由此，通过由电极驱动装置单元309实现更稳定的加工状态的同时，由位置调整装置单元602随着加工的进行调整电极驱动装置的位置，由此能够不受电极驱动单元的驱动距离的限制，能够实现加工速度的改善，进而实现加工精度的提高。
以上构成为使得通过由顶部驱动单元502，立柱驱动单元504，滑鞍驱动单元506组成的位置调整单元，向XYZ轴方向驱动电极驱动单元105，而也可以构成为代替立柱驱动单元504，滑鞍驱动单元506，把被加工物体102由XY工作台向XY方向驱动的同时，把电极驱动单元105安装在顶部单元501上，能够通过顶部驱动单元502向Z轴方向驱动。
另外，以上说明了用1台微机处理电极间控制的软件处理的情况，而例如也能够在电极驱动装置单元309中的S702处理中使用其它微机实现电极间控制，也能够起到与上述相同的作用效果。
另外，以上说明了通过根据平均电极间电压检测加工状态从而构成电极间控制系统的情况，而也能够根据放电脉冲的无负荷时间检测加工状态构成电极间控制系统。
另外，以上说明了进行比例+积分补偿的情况，而也能够构成比例补偿或者比例+积分+微分补偿的反馈控制系统或者前馈控制系统。
实施例3第9图是用于控制作为本发明实施例3的放电加工装置中的放电加工状态的电极间控制系统的一部分，并且与实施例2所示的部分不同的协调加工控制单元的框图。在第9图中，e，Rp，603～605，Upl，Ups的功能与实施形态2所示的相同。801是协调加工控制单元，802是跳跃部分动作设定单元，803是跳跃动作控制单元，804是用于切换跳跃动作模式与加工伺服模式的模式切换单元。
Rj是由跳跃动作设定单元802设定的跳跃上升距离、跳跃下降时间、跳跃速度等跳跃动作设定值，Uj是根据跳跃动作设定值Rj由跳跃动作控制单元803生成的跳跃轨迹指令值，swj是对于用于切换跳跃模式与加工伺服模式的模式切换单元804的信号，cj是对于用于把对于电极驱动装置的指令值Upl在跳跃动作模式中保持恒定的第2运算单元604的信号。即，由位置调整装置单元602进行跳跃动作，协调电极驱动装置单元309以及位置调整装置单元602进行加工伺服模式时的加工控制。
如以上那样，在作为本发明实施例3的放电加工装置中，除去构成作为实施例2的放电加工装置的第1运算单元603，第2运算单元604，第3运算单元605以外，还具有跳跃动作控制单元803，包括用于切换跳跃动作模式与加工伺服模式的模式切换单元804的协调加工控制单元801以及跳跃动作设定单元802，由此在加工伺服模式时，与作为实施例2的放电加工装置相同，协调电极驱动装置单元309以及位置调整装置单元602，从而进行加工控制，在跳跃动作模式时，通过位置调整装置单元602进行基于在跳跃动作设定单元802中设定的跳跃动作设定值Rj的跳跃动作。从而，由可高速响应的电极驱动装置单元309实现稳定的加工状态的同时，由位置调整装置单元602随着加工的进行而调整电极驱动装置的位置，由此不受电极驱动单元的驱动距离的限制，能够实现加工速度的改善以及加工精度的提高。进而，不受电极驱动装置单元309的驱动距离的限制，能够通过由位置调整装置单元602进行的跳跃动作强制地排出在电极间滞留的加工切屑的同时进行加工，即使加深加工深度也能够实现加工速度的改善以及加工精度的提高。
实施例4第10图是用于控制作为本发明实施例4的放电加工装置中的放电加工状态的电极间控制系统的一部分，并且是与实施例2所示的部分不同的协调加工控制单元的框图。在第10图中，e，Upl，Ups表示的内容与实施例2所示的相同。901是协调加工控制单元，902是摇摆轨迹设定单元，903是摇摆控制单元，904是加工轨迹设定单元，905是加工控制单元。
Rv是在摇摆轨迹设定单元902中设定的摇摆轨迹矢量，Rp是在加工轨迹设定单元904中设定的加工轨迹矢量，cv是用于获得摇摆动作与加工轨迹的同步的信号。在摇摆加工中，与预定的深度相同步，以数μm～数百μm的大小，在二维平面上使加工电极101以圆型或者四角形等进行扩大运动，或者在预定的位置在三维曲面上进行扩大运动。在摇摆轨迹设定单元902中设定由数μm～数百μm的扩大运动构成的摇摆轨迹矢量Rv，在加工轨迹设定单元904中设定用于使加工用电极101以预定的深度或者在预定的位置移动的加工轨迹矢量Rp。
而且，根据偏差e和摇摆轨迹矢量Rv，在摇摆控制单元903中求对于电极驱动装置单元309的指令值Upl，通过电极驱动单元使加工用电极进行扩大运动，维持稳定的加工状态的同时，实现摇摆加工。另外，根据偏差e和加工轨迹矢量Rp，在加工控制单元904中求对于位置调整装置单元602的指令值Ups，维持稳定的加工状态的同时，移动预定的深度或者移动到预定的位置。这时，摇摆控制单元903与加工控制单元904根据信号cv获得同步。
如以上那样，在作为本发明实施例4的放电加工装置中，通过具有摇摆控制装置903，包括加工控制单元905的协调加工控制单元901，摇摆轨迹设定单元90以及加工轨迹设定单元904，根据由位置调整装置单元602在加工轨迹设定单元904中设定的加工轨迹矢量Rp调整加工用电极101的位置，同时，能够根据由可高速响应的电极驱动装置单元309在摇摆轨迹设定单元902中设定的摇摆轨迹矢量Rv进行摇摆动作。从而，能够实现由可高速响应的电极驱动装置单元309维持了稳定的加工状态的摇摆运动，能够实现加工速度的改善以及加工精度的提高。
以上，在协调加工控制单元901中设置摇摆控制单元903，使得由电极驱动单元进行摇摆加工，而也可以构成为同时在协调加工控制单元901中设置摇摆控制单元903和在实施例3中说明过的跳跃动作控制单元803，由位置调整单元进行跳跃动作的同时进行摇摆加工。
实施例5第11图是表示作为本发明实施例5的放电加工装置中的电极驱动单元的概略结构图。在第11图中，106～117与实施例1所示的内容相同。1001是用于使电极安装单元106旋转的电机单元，1002是在电机单元1001上提供转矩的电磁铁单元，1003是检测电极安装单元106的旋转角度和旋转角速度中的至少一种或者两种的旋转检测单元，1004是电机驱动单元。如以上那样，由电机单元1001以及电磁铁单元1002构成旋转驱动单元。
第12图是具有第11图所示的电极驱动单元的放电加工装置中的电极间控制系统的一部分，并且与实施例1的第3图所示的电极驱动装置单元309不同的电极驱动装置单元的框图。在第12图中，Up，Mp，306，307，Uc，Sm表示的内容与实施例1所示的相同。1101是电极驱动装置单元，1102是旋转设定单元，1103是旋转控制单元，1104是电流放大器。1105对应于第11图的电极驱动单元1004。在第12图中，Rr是旋转角度和旋转角速度中的至少一种或者两种的旋转设定值，Sr是由旋转检测单元1003检测出的检测值，Ur是对于电流放大器单元指令值。
现在，假设由旋转设定单元1102设定了加工用电极101的旋转角度Rr。旋转控制单元1103决定对于电流放大器1104的指令值Ur，使得由旋转检测单元1003检测出的检测值Sr与设定值Rr一致，使加工用电极101仅旋转预定的角度。另外，在由旋转设定单元1102设定了加工用电极101的旋转角速度Rr时，旋转控制单元1103决定对于电流放大器1104的指令值Ur，使得由旋转检测单元1003检测出的检测值Sr与设定值Rr一致，控制加工用电极101的旋转角速度。
如以上那样，在作为本发明实施例5的放电加工装置中，除去作为实施例1的放电加工装置的电极驱动单元105以及电极驱动装置单元309的结构以外，通过具有由用于使电极安装单元106旋转的电机单元1001，向电机单元1001提供转矩的电磁铁单元1002，检测电极安装单元106的旋转角度或者旋转角速度的至少一方或者两方的旋转检测单元1003构成的电极驱动单元1004，由旋转设定单元1102，旋转控制单元1103，电流放大器1104构成的电极驱动装置单元1101，由此能够根据由旋转设定单元1102设定的旋转角度Rr使加工用电极101仅旋转预定的角度，能够根据由旋转设定单元1102设定的旋转角速度Rr控制加工用电极101的旋转角速度。即，能够实现加工用电极101的旋转位置转位或者使加工用电极101边旋转边进行加工，同时，能够由可高速响应的电极驱动装置单元1101维持稳定的加工状态，能够实现加工速度的改善以及加工精度的提高。
上述电极驱动装置单元1101也可以代替实施形态2，3以及4的加工放电加工装置中的电极驱动装置单元，构成放电加工装置。
实施例6第13图是表示作为本发明实施例6的放电加工装置的概略的结构图。在第13图中，102～104与现有例所示的内容相同。另外，111～113，119～122与实施例1所示的内容相同。另外，1501是线形加工用电极，1502是用于使线形加工用电极1501通过的贯通孔，1503是用于保持或者传送线形加工用电极1501的电极保持/传送单元，1504是引导线形加工用电极1501的电极导向体，1505是在前端具有电极保持/传送单元1503，在中央部分具有贯通孔1502的电极安装单元，1506是用于从加工用电源119供给加工能量的馈电单元，1507以及1508是用于在XY平面支撑电极安装单元1505的轴承单元，1509是由电极保持/传送单元1503和轴向电磁铁单元111以及112构成的电极驱动单元，1510是用于向电极驱动单元1509的电磁铁单元111以及112供给电流的电流放大器，1511是用于向电极保持/传送单元1503供给电流的电流放大器。
第13图所示的放电加工装置能够使用线形加工用电极1501，连续地高效地进行孔加工。即，首先，把线形加工用电极1501向贯通孔1502供给。由电极保持/传送单元1503传送线形加工用电极1501，在由电极导向体1504把电极前端送出预定量的状态下保持电极。在该状态下，由加工用电源119在线形加工用电极1501和被加工物体102上供给加工能量，由加工状态检测装置120、电极驱动单元1509和控制装置121进行电极间控制的同时进行加工。在放电加工中，每进行一次一个孔加工都消耗线形加工用电极1501，从电极导向体1504突出的电极的长度缩短。从而，在从电极导向体1504突出的电极长度不具有用于进行下一个孔加工的充分长度时，通过电极保持/传送单元1503再次送出线形加工用电极1501，在由电极导向体1504把电极前端送出预定量的状态下保持电极，进行下一个孔加工。第14图是用于控制第13图所示的放电加工装置中的放电加工状态的电极间控制系统以及电极供给控制系统的框图。
在第14图中，与第3图相同的符号表示相同或者相当的部分，并且省略其说明。1601是加工轨迹设定单元，1602是加工控制单元，1603是轴向驱动控制单元，1604是电流放大器单元，1605是轴向驱动单元，1606是由轴向驱动控制单元1603、电流放大器单元1604和轴向驱动单元1605构成的轴向驱动装置单元，1607是电极供给量设定单元，1608是电极供给控制单元，1609是电流放大器单元，1610是电极保持/传送单元，1611是由电极供给量设定单元1607、电极供给控制单元1608、电流放大器单元1609和电极保持/传送单元1610构成的电极保持/传送装置单元。电流放大器单元1604对应于电流放大器单元1510，轴向驱动单元1605对应于从电极驱动单元1509去除掉电极保持/传送单元1503的驱动单元，电流放大器单元1609对应于电流放大器1511，电极保持/传送单元1610对应于电极保持/传送单元1503。另外，目标值设定单元303，加工轨迹设定单元1601，加工控制单元102，轴向驱动控制单元1603，电极供给量设定单元1607，电极供给控制单元1608构成控制装置121。另外，rp示出由加工轨迹设定单元1601设定的加工深度，zp示出对于轴向驱动控制单元1603的位置指令值，Umc示出对于电流放大器单元1604的电流指令值，Imc示出对于轴向驱动单元1605供给的电流量，Smm示出从轴向驱动单元1606得到的位置检测值，rl示出由电极供给量设定单元1607设定的电极供给量，Usc示出对于电流放大器单元1609的电流指令值，Isc示出对于电极保持/传送单元1610供给的电流量，Ssm示出从电极保持/传送单元1610得到的位置检测值，Mp示出由轴向驱动单元1605以及电极保持/传送单元1610操作的电极位置操作量。
对于轴向驱动装置单元1605中的轴向驱动控制单元1603的位置指令值zp在加工控制单元1602中根据偏差e和加工轨迹矢量rp求出。位置指令值zp由于加工轨迹rp的加工深度是以正交坐标系(XYZ)给出，因此成为相同的正交坐标系(XYZ)。另外，位置检测值Smm是轴向(Z方向)的检测值。另外，在轴向驱动单元1605中，如第13图所示，由2个轴向电磁铁驱动加工用电极。从而，在轴向驱动控制单元1603中，把位置指令值zp与位置检测值Smm进行比较，求对于电流放大器单元1604的电流指令值Umc。电流指令值Umc提供给轴向电磁铁单元111以及112用的2台电流放大器。
另一方面，对于电极保持/传送装置单元1611中的电流放大器单元1609的电流指令值Usc由电极供给控制单元1608参照从电极供给量设定单元1607得到的电流供给量rl和从电极保持/传送单元1610得到的位置检测值Ssm的同时，根据电极保持或者传送的状况求出，根据其指令值，电流Isc供给到电极保持/传送单元1610。
第15图是示出第14图所示的电极供给控制系统的动作内容的流程图。电极供给控制系统一般由微机的软件处理来实现。另外，第14图所示的电极间控制系统的动作内容由于与实施例1中的轴向的控制相同，因此省略其说明。在第15图中，在S1701中，判断当前是电极传送模式还是电极保持模式。在是电极保持模式时，在S1705中，维持保持了加工用电极的状态。在是电极传送模式的情况下，在S1702中，测定或者推断加工用电极的前端从电极导向体1504突出了多少。在测定时，例如能够通过由轴向驱动装置单元1606驱动电极前端直到与某个标准位置接触为止，根据最初的位置和其驱动量求出。
另外，在推断的情况下，如果预先实际测定所使用的加工条件下的电极消耗量，则通过从电极供给量rl减去消耗量而求出。在S1703中，根据在S1702中得到的值al和电极供给量rl，求实际上应该送出的电极的量，在S1704中由电极保持/传送单元1610仅按照其求出的量送出加工用电极。而且，在S1705中保持加工用电极。
如以上那样，在作为本发明实施例6的放电加工装置中，如果依据电极驱动单元1509，则由于构成为通过轴向电磁铁单元111以及轴向电磁铁单元112沿着轴向非接触地驱动保持线形加工用电极1501的电极保持/传送单元1503和电极安装单元1505，因此能够抑制必须与线形加工用电极1501同时驱动的部分的质量增加。而且，能够实现轴向的高速响应性，即使在加工状态不规则地变动的情况下也能够始终维持稳定的加工状态。从而，能够实现加工速度的改善，进而实现加工精度的提高。进而，如果依据电极保持/传送单元1503，则由于能够自动地保持或者传送线形加工用电极1501，因此能够连续地高效地进行孔加工。
第16图是表示作为本发明实施例6的其它放电加工装置所具有的特征部分的概略的结构图。在第16图中，1801是缠绕了线形加工用电极1501的骨架，1802是用于送出线形加工用电极1501的加工电极供给单元，1803是用于以适当的长度切断线形加工用电极1501的电极切断单元。如果连续地进行加工，线形加工用电极1501消耗而变短，则由加工电极供给单元从骨架1801自动地向贯通孔1502插入线形加工用电极1501，在送出了预定的长度以后由电极切断单元1803切断。而且，在由电极导向体1504送出了仅预定长度的电极的状态下，由电极保持/传送单元1503保持为下一次加工中所预备的电极。
如以上那样，在作为本发明实施例6的其它的放电加工装置中，能够由缠绕了线形加工用电极的骨架1801、加工电极供给单元1802和电极切断单元1803进行加工用电极的自动供给，能够自动地进行加工用电极消耗了时的电极交换，能够进行连续的孔加工的自动化。
以上，构成为通过电极驱动单元1509沿着轴向非接触地驱动线形加工用电极1501，而也可以像作为实施例2的放电加工装置那样，与能够向X轴向方向，Y轴方向，Z轴方向调整电极驱动单元1509的位置的位置调整单元相组合，能够起到与上述相同的效果，同时，还能够扩大实际的驱动范围。
另外，以上，构成为通过电极驱动单元1509沿着轴向非接触地驱动线形加工用电极1501，而也能够像作为实施例5的放电加工装置那样，设置用于使电极安装单元1505旋转的旋转驱动单元，能够起到与上述相同的效果，同时，在孔加工的情况下，通过边旋转电极边进行加工，能够实现更稳定的加工。
产业上的可利用性本发明适用于放电加工装置，通过抑制必须同时与加工用电极驱动的部分的质量增加，实现X轴，Y轴，Z轴的高速响应性，能够改善加工速度和加工精度，例如在孔加工时能够有效地加以利用。
权利要求
1.一种放电加工装置，其特征在于具备安装加工用电极的电极安装装置；具有沿着径向非接触地驱动电极安装装置的径向驱动装置以及沿着轴向非接触地驱动电极安装装置的轴向驱动装置的电极驱动装置；检测放电加工状态的加工状态检测装置；设定放电加工状态的控制目标的目标值设定装置；设定加工轨迹的加工轨迹设定装置；边考虑用加工轨迹设定装置所设定的加工轨迹边用电极驱动装置调整加工用电极的位置，使得由加工状态检测装置检测出的检测值与由目标值设定装置设定的目标值一致的加工控制装置。
2.一种放电加工装置，其特征在于具备安装加工用电极的电极安装装置；具有沿着径向非接触地驱动电极安装装置的径向驱动装置以及沿着轴向非接触地驱动电极安装装置的轴向驱动装置的电极驱动装置；调整电极驱动装置或者被加工物体的位置的位置调整装置；检测放电加工状态的加工状态检测装置；设定放电加工状态的控制目标的目标值设定装置；设定加工轨迹的加工轨迹设定装置；边考虑用加工轨迹设定装置设定的加工轨迹边协调电极驱动装置与位置调整装置，从而调整加工用电极与被加工物体的相对位置，使得由加工状态检测装置检出的检测值与由目标值设定装置设定的目标值一致的协调加工控制装置。
3.根据权利要求2所述的放电加工装置，其特征在于协调加工控制装置具有用于通过位置调整装置进行跳跃动作的跳跃动作控制装置。
4.根据权利要求2所述的放电加工装置，其特征在于协调加工控制装置具有用于通过电极驱动装置进行摇摆动作的摇摆动作控制装置。
5.根据权利要求2所述的放电加工装置，其特征在于协调加工控制装置具有用于通过位置调整装置进行跳跃动作的跳跃动作控制装置和用于通过电极驱动装置进行摇摆动作的摇摆动作控制装置。
6.根据权利要求1或2所述的放电加工装置，其特征在于电极驱动装置具有用于使电极安装装置旋转的旋转驱动装置和至少检测旋转角度和旋转角速度中的至少一种或两种的旋转检测装置，上述加工控制装置或者上述协调加工控制装置具有旋转控制装置。
7.一种放电加工方法，其特征在于沿着径向非接触地驱动安装加工用电极的电极安装装置的同时，沿着轴向非接触地驱动电极安装装置，调整用于进行驱动的装置或者被加工物体的位置，边考虑所设定的加工轨迹边调整加工用电极相对被加工物体的位置，使得被检测出的放电加工状态的检测值与所设定的放电加工状态的目标值一致。
8.一种放电加工方法，其特征在于沿着径向非接触地驱动安装加工用电极的电极安装装置的同时，沿着轴向非接触地驱动电极安装装置，调整用于进行驱动的装置或者被加工物体的位置，边考虑所设定的加工轨迹边协调上述驱动和上述调整的各装置，调整加工用电极相对被加工物体的位置，使得被检测出的放电加工状态的检测值与所设定的放电加工状态的目标值一致。
9.一种加工放电装置，其特征在于具备包括用于使线形加工用电极通过的贯通孔、并且包括该电极的保持以及传送机构的电极安装装置；包括至少沿着轴向非接触地驱动该电极安装装置的轴向驱动装置的电极驱动装置；检测放电加工状态的加工状态检测装置；设定放电加工状态的控制目标的目标值设定装置；由该电极驱动装置调整该加工用电极的位置，使得由该加工状态检测装置检出的检测值与由该目标值设定装置设定的目标值一致的加工控制装置；调整该电极的保持或者传送的电极供给控制装置。
10.根据权利要求9所述的放电加工装置，其特征在于具备向上述电极驱动装置具有的贯通孔自动地供给线形加工用电极的加工电极自动供给装置。
11.根据权利要求9或10所述的放电加工装置，其特征在于上述电极驱动装置具备用于使上述电极安装装置旋转的旋转驱动装置。
全文摘要
本发明的放电加工装置，它具有安装加工用电极(101)的电极安装单元(106)；电极驱动单元，该电极驱动单元由沿着径向非接触地支撑以及驱动电极安装单元(106)的径向驱动单元(107)、(108)和沿着轴向非接触地支撑以及驱动电极安装单元(106)的轴向驱动单元(111)、(112)构成，并通过由电极驱动单元调整加工用电极(101)的位置从而控制加工状态。根据这样的结构，通过抑制必须同时与电极驱动的部分的质量增加，实现X轴、Y轴、Z轴方向的高速响应性，实现能够改善加工速度和加工精度的放电加工装置。
文档编号B23H7/30GK1398210SQ01803195
公开日2003年2月19日 申请日期2001年9月19日 优先权日2000年9月20日
发明者今井祥人, 三宅英孝, 中川孝幸 申请人:三菱电机株式会社