防蚀装置、防蚀方法以及线电极放电加工装置的制作方法

专利名称：防蚀装置、防蚀方法以及线电极放电加工装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种将水用作为加工液的线电极放电加工装置中的液质调整装置，涉及一种针对作为被加工物的金属材料、特别是铁系金属的防蚀方法以及防蚀装置。
背景技术：
已知在使用水作为加工液的线电极放电加工中，在对模具用钢或工具钢等铁系金属进行加工时，铁系金属会被腐蚀。为了对水中的铁系金属进行防蚀，在水中添加钝化剂是有效的，但是由于需要将
线电极放电加工机中的加工液维持为小于或等于70 u S/cm程度的低导电率(导电度)，因此在直接将钝化剂添加到加工液中的方法中，很难维持低导电率，无法进行稳定的放电。因此，在专利文献I中公开了ー种技术，其作为在维持低导电率的状态下添加钝化剂的方法，使用承载有钝化剂的阴离子交换树脂。具体地说，公开了下述技术作为防止铁系金属腐蚀及不使水的导电率上升的树脂组成，使用固定有防蚀性离子即no2_、以及从碳酸根离子(co32_)、碳酸氢根离子(hco3_)、氢氧根离子(0H-)中选择的大于或等于ー种的阴离子交换树脂作为防蚀树脂，使这些阴离子溶入水中。另外，在将该防蚀树脂应用到金属清洗保管器的情况下，同时使用由氢离子(H+)型树脂和氢氧根离子(0H_)型树脂构成的纯水化树脂，在水的导电率上升的情况下，通过将水的一部分通入纯水化树脂中，从而抑制为规定的导电率(小于或等于IOy S/cm程度)。另外，在专利文献2中公开了下述技术同时使用承载有防蚀性离子的防蚀树脂、以及将H+型树脂和0H_型树脂混合而构成的纯水化树脂，通过根据导电率的值而对向上述防蚀树脂和纯水化树脂的通水进行切換，从而使加工液成为碱性水溶液，对于超硬材料等无法钝化的金属材料进行防蚀。专利文献I :日本特开2002-301624号公报专利文献2 :国际公开W02006/126248

发明内容
在专利文献I中，虽然使NO2-溶入水中，但是混杂存在有水中的杂质离子，例如Na+、K+、Ca2+等阳离子及Cl'S042_等阴离子，另外，特别是除了 N02_以外，在水中还溶入碳酸根离子、碳酸氢根离子以及氢氧根离子中的大于或等于ー种，因此，即使想对作为防蚀性离子的NOf进行浓度检测，也无法根据水的导电率而把握水中的NOf浓度，无法适当地进行含有防蚀性离子的加工液的管理。因此，为了检测NO2-浓度，需要利用离子色谱法进行定量分析或者利用NO2-离子试纸。另外，no2_以外的杂质离子(cr、so42_等)的存在成为导致水的导电率上升的原因，存在无法进行稳定放电的可能性。
另外，在专利文献2中，虽然公开了根据导电率的值而对向防蚀树脂和纯水化树脂的通水进行切換的技木，但是难以高效地去除对铁系金属的腐蚀有影响的、特别是水中的氯离子(CD或硫酸根离子(so/—)等微量的杂质离子，因此铁系金属防蚀效果降低。本发明就是为了解决上述课题而提出的，其目的在于，提供一种无需使用分析或离子试纸，可以利用简单的方法对NO2-浓度进行监视，且可以在维持低导电率的状态下对铁系金属进行防蚀的方法及其装置。另外，本发明提供一种向防蚀树脂和纯水化树脂通水的方法，其用于高效去除水中的杂质离子，并且在维持低导电率的状态下提高防蚀性离子的浓度，以高效地对铁系金属进行防蚀。为了解决上述课题，本发明所涉及的防蚀装置具有纯水化単元，其由氢离子型树脂和氢氧根离子型树脂构成；防蚀单元，其由阳离子型树脂、承载有防蚀性离子的阴离子型树脂构成；导电率测量单元，其用于对加工液的导电率的实际测量值进行測量；以及控 制単元，其根据该导电率测量単元，对将加工液向所述纯水化単元、防蚀单元的通入进行控制，在该防蚀装置中，所述控制単元根据预先设定的第I及第2导电率、和由所述导电率测量单元测量出的实际测量值，在所述加工液的实际测量值达到第I导电率之前，向所述纯水化单元以及防蚀单元通入，如果所述实际测量值达到第I导电率，则停止向所述纯水化単元通入，仅向所述防蚀単元通入，如果所述实际测量值上升至第2导电率，则重新开始向所述纯水化単元通入，向所述纯水化单元以及防蚀单元通入。发明的效果根据本发明，由于将残留在水中的杂质离子置换为单独一种阳离子和単独ー种阴离子，使水成为含有具有防蚀性的阴离子的高纯度单质溶液，因此导电率与具有防蚀性的阴离子浓度成正比关系。其结果，可以根据导电率仪的值把握具有防蚀性的阴离子的浓度，并且可以维持用于铁系金属防蚀所需的最小导电率。另外，通过将防蚀树脂中的阳离子型树脂的容积比、即(阳离子型树脂/防蚀树脂)的容积比设定为小于0. 5，从而阳离子树脂首先达到寿命，因此可以预知防蚀性阴离子的寿命。此外，对于在2个导电率之间的向防蚀树脂和纯水化树脂通水的方法，通过仅向防蚀树脂通水、和向防蚀树脂及纯水化树脂这两种树脂通水，从而可以在维持低导电率的状态下，使防蚀性离子高浓度化。


图I是表示向防蚀树脂和纯水化树脂通水的示意图。图2是表示向防蚀树脂和纯水化树脂通水的通水模式的模式图。图3是表示防蚀树脂中的阴离子型树脂的种类和导电率的设定的图。图4是表示应用于线电极放电加工机的应用例的图。图5是向防蚀树脂和纯水化树脂通水。图6是表示防蚀树脂的结构例的图。图7是表示防蚀树脂的结构例的图。图8是表示防蚀树脂的结构例的图。
图9是表示应用于线电极放电加工机的应用例的图。标号的说明I加工槽，2清水槽，3第I纯水化树脂，4电磁阀，5导电率仪，6第I控制部，7导电率仪，8第2纯水化树脂，9防蚀树脂，10电磁阀，IlUlA控制部，12电磁阀。
具体实施例方式实施方式I首先，说明本实施方式中的发明的概略。在本实施方式中，通过根据检测出的导电率，对向作为防蚀单元的防蚀树脂、作为 纯水化単元的纯水化树脂的通水进行控制，由此使水成为含有具有防蚀性的阴离子的高纯度单质溶液，使导电率与具有防蚀性的阴离子的浓度成正比关系，无需使用分析或离子试纸，利用简单的方法，实施对含有防蚀性离子的加工液的管理。具体地说，使用由防蚀树脂和纯水化树脂构成的离子交换树脂，其中，该防蚀树脂兼具有阳离子型树脂和阴离子型树脂。在此，阳离子型树脂所承载的阳离子只要可以形成亚硝酸盐、钥酸盐、钨酸盐即可，其种类并不限定，但是从水中的溶液度较大、且需要可以简单地对水中的阳离子进行定量的測量仪的观点出发，优选使用钠离子(Na+)、钾离子(K+)、钙离子(Ca2+)中的任意ー种。此外，作为对上述阳离子进行定量的測量仪，例如使用“(株)東興化学研究所”制的Na+测量仪(型号TiN-1100)、K+测量仪(型号TiN_7003)、Ca2+测量仪(型号TiN_7001)。虽然这些阳离子与铁系金属的防蚀无关，但它们用于使得导电率和具有防蚀性的阴离子的浓度之间维持正比关系、以及预知具有防蚀性的阴离子型树脂的寿命。另ー方面，阴离子型树脂所承载的阴离子使用亚硝酸根离子(N02_)、钥酸根离子(Mo042_)、钨酸根离子(W042_)中的任意ー种。上述3种阴离子都是通过使铁系金属钝化而得到防蚀效果，但其中，NO2-与其他2种阴离子相比价格较低，并且即使在低浓度下也可以得到防蚀效果，因此对于将低导电率水用作为加工液的线电极放电加工机中的铁系金属的防蚀是有效的。此外，由于上述3种阴离子与铁系金属或线电极放电加工机的接触水的部件进行反应而浓度降低，因此需要补充用于铁系金属防蚀所需的量，通过将加工液向防蚀树脂通入，从而将铁系金属防蚀所需的阴离子补充至加工液中。阳离子型树脂相对于防蚀树脂的容积比、即(阳离子型树脂/防蚀树脂)的容积比设定为大于或等于0. 05而小于0. 5，需要根据加工液中的杂质阳离子或杂质阴离子的种类或混入程度而选择容量比。例如，在作为防蚀树脂的阳离子型树脂而使用Na+、作为阴离子型树脂而使用NO:的情况下，如果向防蚀树脂通入线电极放电加工机的加工水，则加工水中的杂质阳离子(K+、Ca2+等)被置换为Na+，杂质阴离子(Cl' S042_等)被置换为NO2'因此，像在无尘室等包含盐分的尘埃较少的环境中的放电加工这种在加工水中基本没有溶入K+、Ca2+等Na+之外的杂质阳离子的情况下，防蚀树脂中的Na+型树脂基本不会被消耗，因此可以将(Na+型树脂/N02_型树脂)的容量比设定为0. 05或者接近于该值的值。另外，由于K+、Ca2+等杂质离子的根源基本是加工液中的残留部分，在使用线电极放电加工机时，基本不会从外部溶入加工液，因此，可以将(Na+型树脂/NO2-型树脂)的容量比设定为0. 05或者接近于该值的值。另ー方面，在没有进行空气调节控制的环境等中，Na+之外的K+、Ca2+等杂质阳离子不仅是加工液中的残留部分，还会在使用线电极放电加工机时从外部溶入加工液。另ー方面，由于需要在加工液中确保铁系金属防蚀所需的N02_浓度，由此可以将(Na+型树脂/NO2-型树脂)的容量比设定为接近0. 5。利用向本实施方式中的防蚀树脂即(Na+型+NOf型)树脂通水，加工水成为NaNO2溶液，导电率与N02_浓度呈正比关系。另外，通过对溶解在加工水中的杂质阳离子及杂质阴离子进行吸附，防蚀树脂中的阳离子型树脂(Na+型树脂)比阴离子型树脂(NO2-型树脂)提前达到寿命，因此可以预知阴离子型树脂(NO2-型树脂)的寿命。在上述说明中，记载了作为防蚀树脂的阳离子型树脂而使用Na+、作为阴离子型树 脂而使用NO2-的情况，但在阳离子型树脂为K+或Ca2+中的任意ー种、以及阴离子型树脂为Mo042_或W042_中的任意ー种的情况下，(阳离子型树脂/防蚀树脂)的容积比的设定与(Na+型+N02_型)树脂的情况相同地，为大于或等于0. 05而小于0. 5。另外，如果仅通过将加工水通入防蚀树脂、例如(Na+型+NOf型)树脂，则很难将杂质离子完全去除。为了维持导电率与防蚀性阴离子浓度间的正比关系，需要去除加工水中的杂质离子，为此，在本实施方式中同时使用防蚀树脂和纯水化树脂。与上述防蚀树脂相组合的纯水化树脂，优选使用例如(H+型+0H_型)树脂。此外，纯水化树脂的功能在于，对加工水伴随着与空气接触而溶解有空气中的尘埃所含有的离子成分或ニ氧化碳等而升高的导电率进行降低，通过将加工水通入纯水化树脂中，使加工水中的杂质阳离子被置换为H+，杂质阳离子被置换为0H_，从而进行纯水化。下面，说明同时使用防蚀树脂和纯水化树脂，在維持线电极放电加工机所需的低导电率的状态下，变换为高纯度的含有防蚀性阴离子的加工水的方法。举出使用防蚀树脂的其中ー种即(Na+型+NO2-型)树脂、纯水化树脂的其中ー种即(H+型+OH—型)树脂的情况作为例子，根据图I记述加工水的通水模式。在图中，利用泵抽取用于贮存加工水的清水槽中的水、并向防蚀树脂和纯水化树脂通水后使水再次返回清水槽中的动作如下所示进行，即，在向纯水化树脂和防蚀树脂进行通水前，利用防蚀树脂侧电磁阀和纯水化树脂侧电磁阀的切换动作，以图2所示的通水模式控制通水和通水停止。此外，对于作为图2的控制的基础的导电率，与设置在清水槽中的导电率仪测量到的导电率对应而进行控制，从而与各种防蚀树脂的物性对应而成为大于或等于图3所示的导电率的值。此外，在本实施方式中基于N02_型树脂进行说明，但无论使用哪种防蚀树脂，导电率的大小顺序都为导电率(I) >导电率(3) >导电率(2)。步骤I打开图I的防蚀树脂侧电磁阀以及纯水化树脂侧电磁阀，向防蚀树脂和纯水化树脂这两者通水，将清水槽的水的导电率降低至规定的导电率(导电率(2))，以使其小于或等于用于得到铁系金属的防蚀效果的导电率。导电率降低是通过向纯水化树脂通水而获得的，但在本实施方式中，通过在向纯水化树脂通水的同时向防蚀树脂通水，从而将K+、CF等杂质离子置换为Na+和NO2'此外，需要将导电率(I)和导电率(2)的设定值在图2所示的值的范围内设定，根据本发明人的实验，可知为了在到达导电率(2)的时刻获得铁系金属的防蚀效果，向(Na+型+NO2-型)树脂和纯水化树脂这两者通水之前的清水槽水的最小导电率为8 u S/cm。因此，将导电率(I)设定为大于或等于8 ii S/cm的值。另外，相同地，可知向(Na+型+N02_型)树脂和纯水化树脂这两者通水时，用于使铁系金属防蚀所需的清水槽水的最小导电率为S/cm。
因此，将导电率(2)设定为大于或等于4 ii S/cm的值。步骤2在上述步骤I中，如果清水槽的水的导电率降低至导电率(2)，则关闭纯水化树脂侧电磁阀，停止向纯水化树脂通水，仅向防蚀树脂通水。由此，由于从清水槽的外部侵入或与水接触的部件溶解而产生的杂质离子，阳离子被置换为Na+,阴尚子被置换为NO2 ,同时,导电率上升。而且，如果导电率达到规定的导电率(3)，则进行其后的步骤3。此外，针对导电率(3)的设定，为了去除步骤I所记载的具有导电率(2)的清水槽水中残留的杂质离子以及在步骤2中新产生的杂质离子(由于空气中的尘埃所含有的离子成分或ニ氧化碳溶解等产生)，需要将导电率(3)设定为至少比导电率(2)大I y S/cm的值。因此，将导电率(3)设定为大于或等于5 ii S/cm的值。步骤3如果通过在步骤2中，停止向纯水化树脂通水，使导电率增加至导电率(3)，则通过打开纯水化树脂侧电磁阀，重新开始向纯水化树脂通水，从而向防蚀树脂和纯水化树脂这两者通水，直至清水槽的水的导电率达到步骤I记载的导电率(2)为止。根据上述步骤I至3，在步骤I中残留的杂质离子的一部分被置换为Na+和N02_，其结果，清水槽的水变换为高纯度的NaNO2溶液。此外，在上述说明中，作为防蚀树脂而举出(Na+型+N02_型)树脂为例，但即使在使用(K+型+N02_型)树脂或(Ca2+型+N02_型)树脂的情况下，导电率(I)至(3)的值与(Na+型+N02_型)树脂的情况也相同。另外，在作为阴离子型树脂而使用MoO42-型的情况下，作为防蚀树脂可以举出(Na+型+Mo042_型)树脂、(K+型+Mo042_型)树脂、(Ca2+型+Mo042_型)树脂。在使用这些防蚀树脂的情况下，导电率(I)为大于或等于30 u S/cm,导电率(2)为大于或等于15 u S/cm,导电率(3)为大于或等于16 ii S/cm。此外，在作为阴离子型树脂而使用W042_型的情况下，作为防蚀树脂可以举出(Na+型+WO42-型)树脂、(K+型+WO42-型)树脂、(Ca2+型+WO42-型)树脂。在使用这些防蚀树脂的情况下，导电率(I)为大于或等于40 u S/cm,导电率(2)为大于或等于20 u S/cm,导电率(3)为大于或等于21 S/cm。图4是将本发明应用于线电极放电加工机的ー个例子。线电极放电加工机主体的概要为，其是将被加工物和线电极以规定间隙分离，通过向两者施加规定电压而产生放电，从而进行加工的加工机，其由以下部件构成加工槽1，其用于加工铁系金属；清水槽2，其用于储存去除了加工槽I水中的固体后的水；泵？1，其用于使加工槽I的水进入清水槽2 ;过滤器F1，其用于去除加工槽I水中的固体；第I纯水化树脂3，其用于去除清水槽I水中的杂质离子；泵P2，其用于使清水槽水进入加工槽I中；电磁阀4，其用于控制向第I纯水化树脂3的通水；导电率仪5，其用于测量清水槽2的导电率；以及第I控制部6，其根据导电率仪5的測量值而控制电磁阀4的开闭。
另外，本发明所涉及的防蚀装置由以下部件构成作为导电率测量单元的导电率仪7，其对清水槽水的导电率进行测量；防蚀树脂8 ;第2纯水化树脂9，其与防蚀树脂8 一起使用，去除清水槽水的杂质离子；泵？3，其用于将清水槽水通入防蚀树脂8以及第2纯水化树脂9中；过滤器F2，其用于去除清水槽水中的固体；电磁阀10，其用于控制向第2纯水化树脂9的通水；以及控制部11，其根据导电率仪7的測量值而控制电磁阀10的开闭。此外，由于导电率仪5和导电率仪7对同一个清水槽水的导电率进行测量，因此也可以将2个导电率仪合为I个。在该情况下，第I控制部6和控制部11的控制对象虽然不同，但也可以合为I个。实施例I本实施例I的实施条件如下所示。作为防蚀树脂8，使用通过向作为阳离子型树脂的Na+型树脂I. 8L和作为阴离子型树脂的NO2-型树脂2. 2L混合而成的(Na+型+N02_型)树脂通入3mol/L的NaNO2溶液而形成的(Na+型+NO2-型)树脂。(參照图5)通过向该树脂通入加工水而向储存加工水的清水槽流动，从而可以将加工水变换为NaNO2溶液。作为纯水化树脂，第I纯水化树脂3、第2纯水化树脂9均使用将H+型树脂5L和OH—型树脂5L混合而成的(H+型+0H—型)树脂。作为控制部11的基准的导电率，将导电率(I)设定为大于或等于S/cm，将相当于第I导电率的导电率(2)设定为S/cm，将相当于第2导电率的导电率(3)设定为12i!S/Cm，根据导电率仪7的测量值，进行电磁阀10的开闭。此外，对于线电极放电加工机的第I纯水化树脂3，在导电率仪5的值大于或等于14 u S/cm的情况下，打开电磁阀4而向第I纯水化树脂3通水，使利用过滤器Fl去除了固体后的清水向加工槽I环流。(在导电率小于14 y S/cm的情况下，关闭电磁阀4而不向第I纯水化树脂3通水，使清水槽的清水向加工槽I环流)。下面对具体动作进行说明。步骤I在本实施例中，向防蚀装置、第I纯水化树脂3通水之前的清水槽水的导电率为20u S/cm。由于清水槽2的清水的由导电率仪7测量到的导电率并没有成为导电率(I),因此向防蚀树脂8通水，并由控制部11打开电磁阀10，向第2纯水化树脂9通水。另外，由于导电率仪5的測量值为上述所示的20 u S/cm,因此也经由第I控制部6向第I纯水化树脂3通水。将清水槽水向第I纯水化树脂3、防蚀树脂8、第2纯水化树脂9通入，将清水槽水中的杂质离子置换为Na+、H+、N02_、0H_，同时清水槽水的导电率降低。
另外，如果清水槽水的导电率小于14ii S/cm，则第I控制部6关闭电磁阀4，停止向第I纯水化树脂3通水。然后，如果清水槽水的导电率达到8 ii S/cm，则控制部11关闭电磁阀10，停止向第2纯水化树脂9通水。此时的清水槽水中的NCV浓度为2. 3ppm。步骤2如果清水槽水的导电率达到8 U S/cm,则停止向纯水化树脂通水，由于清水槽水仅向防蚀树脂通水，所以清水槽水中的杂质离子被置换为Na+、N02_，同时清水槽水的导电率上 升。步骤3如果清水槽水的导电率达到12ii S/cm，则控制部11打开电磁阀10，开始也向第2纯水化树脂9通水。通过向防蚀树脂8和第2纯水化树脂9通入清水槽水，从而清水槽水中的杂质离子被置换为Na+、H+、N02_、0H_，同时清水槽水的导电率降低，清水槽水的导电率达到8 u S/cm。此时的清水槽水中的NOf浓度为2. 7ppm。如上所述，根据本实施例，通过实施上述步骤I至3，可以使清水槽水中的N02_量增加，增加导电率和no2_浓度之间的正比关系。S卩，通过持续向防蚀树脂8通水，同时利用向纯水化树脂通水而控制导电率，以使得即使导电率同是8 ii S/cm,与步骤I后的清水槽水中的NO2-浓度为2. 3ppm相対，步骤3后的N02_浓度为2. 7ppm，从而将杂质离子置换为Na+、N02_，接近具有防蚀性的高纯度的单质溶液，导电率与具有防蚀性的阴离子浓度成正比关系。由此，可以根据导电率仪的值而把握具有防蚀性的阴离子浓度，并且可以维持铁系金属防蚀所需的最小导电率。在本实施例中，在反复进行步骤I至3的状态下，在加工槽中浸溃碳素钢(S45C)，其结果，在浸溃4天后，碳素钢維持光泽，没有产生铁锈。此外，在清水槽中浸溃Na+测量仪，对步骤2中的清水槽中的Na+浓度进行测量的结果是，12天后Na+浓度基本没有増加。这表示防蚀树脂中的Na+型树脂已达到寿命，可以预知NOf型树脂的寿命。作为预测方法的具体例子，可以根据Na+型树脂达到寿命为止的所花费的时间12天、以及N02_型树脂/Na+型树脂的容量比2. 2L/1. 8L=1. 2，预知N02_型树脂的寿命(12天 X I. 2=14. 4 天)。此外，在本实施例中，作为防蚀树脂使用了(Na+型+N02_型)树脂，但是在使用(K+型+N02_型)树脂或(Ca2+型+N02_型)树脂的情况下，也可以得到同样的效果。另外，在本实施例中，作为防蚀树脂8的结构而说明了如图5所示的将阳离子型树脂和阴离子型树脂混合的情况，但也可以例如如图6、图7、图8所示，作为防蚀树脂而将阳离子型树脂和阴离子型树脂独立地使用。例如，分别准备规定容量比的H+型树脂和0H_型树脂，将3mol/L的NaNO2溶液向OF型树脂通入后，也向H+型树脂通入。由此，将H+型树脂变换为Na+型树脂，将0H_型树脂变换为NO2-型树脂。
使Na+型树脂和N02_型树脂独立形成的优点如下，即，当Na+型树脂达到寿命吋，可以预知N02_型树脂的寿命，并且只要仅更换Na+型树脂，就可以在N02_型树脂达到寿命为止，将加工水变换为NaNO2溶液。另外，为了制造防蚀树脂的阳离子型树脂即Na+、阴离子型树脂即N02_，使用了3mol/L的NaNO2溶液，但是在作为阳离子型树脂而制造K+或Ca2+、作为阴离子型树脂而制造NO2-的情况下，使用KNO2溶液或Ca(NO2)2溶液即可。实施例2本实施例2的实施条件如下所示。 作为防蚀树脂8，使用通过向Na+型树脂I. 8L和Mo042_型树脂2. 2L混合而成的(Na+型+Mo042_型)树脂通入3mol/L的Na2MoO4溶液而形成的(Na+型+Mo042_型)树脂。(參照图5)通过向该树脂通入加工水而向储存加工水的清水槽流动,从而可以将加工水变换为Na2MoO4溶液。作为纯水化树脂，第I纯水化树脂3、第2纯水化树脂9均使用将H+型树脂5L和OH—型树脂5L混合而成的(H+型+0H—型)树脂。作为控制部11的基准的导电率，将导电率(I)设定为大于或等于30 ii S/cm，将相当于第I导电率的导电率(2)设定为20ii S/cm，将相当于第2导电率的导电率(3)设定为24ii S/cm，根据导电率仪7的测量值，进行电磁阀10的开闭。此外，对于线电极放电加工机的第I纯水化树脂3，在导电率仪5的值大于或等于30 u S/cm的情况下，打开电磁阀4而向第I纯水化树脂3通水，使利用过滤器Fl去除了固体后的清水向加工槽I环流。(在导电率小于30 y S/cm的情况下，关闭电磁阀4而不向第I纯水化树脂3通水，使清水槽的清水向加工槽I环流)。下面对具体动作进行说明。步骤I在本实施例中，向防蚀装置、第I纯水化树脂3通水之前的清水槽水的导电率为40u S/cm。由于清水槽2的清水的由导电率仪7测量到的导电率并没有成为导电率(I),因此向防蚀树脂8通水，并由控制部11打开电磁阀10，向第2纯水化树脂9通水。另外，由于导电率仪5的測量值为上述所示的40 u S/cm,因此也经由第I控制部6向第I纯水化树脂3通水。将清水槽水向第I纯水化树脂3、防蚀树脂8、第2纯水化树脂9通入，将清水槽水中的杂质离子置换为Na+、H+、Mo042_、0H_，同时清水槽水的导电率降低。另外，如果清水槽水的导电率小于30ii S/cm，则第I控制部6关闭电磁阀4，停止向第I纯水化树脂3通水。然后，如果清水槽水的导电率达到20 ii S/cm，则控制部11关闭电磁阀10，停止向第2纯水化树脂9通水。此时的清水槽水中的MoO广浓度为8. lppm。步骤2如果清水槽水的导电率达到20 u S/cm,则停止向纯水化树脂通水，由于清水槽水仅向防蚀树脂通水，所以清水槽水中的杂质离子被置换为Na+、Mo042_，同时清水槽水的导电率上升。步骤3如果清水槽水的导电率达到24 ii S/cm，则控制部11打开电磁阀10，开始也向第2纯水化树脂9通水。通过向防蚀树脂8和第2纯水化树脂9通入清水槽水，从而清水槽水中的杂质离子被置换为Na+、H+、Mo042_、0H_，同时清水槽水的导电率降低，清水槽水的导电率达到20 y S/cm。此时的清水槽水中的MoO广浓度为9. 6ppm。
如上所述，根据本实施例，通过实施上述步骤I至3，可以使清水槽水中的Mo042_量增加，增加导电率和Mo042_浓度之间的正比关系。在本实施例中，在反复进行步骤I至3的状态下，在加工槽中浸溃碳素钢(S45C)，其结果，在浸溃2天后，碳素钢維持光泽，没有产生铁锈。此外，在清水槽中浸溃Na+测量仪，对步骤2中的清水槽中的Na+浓度进行测量的结果是，12天后Na+浓度基本没有増加。这表示防蚀树脂中的Na+型树脂已达到寿命，可以预知NOf型树脂的寿命。在本实施例中，作为防蚀树脂使用了(Na+型+MoO42-型)树脂，但是在使用(K+型+MoO42-型)树脂或(Ca2+型+MoO42-型)树脂的情况下，也可以得到同样的效果。另外，在作为阴离子型树脂而制造Mo042_的情况下，使用Na2MoO4溶液、K2MoO4溶液、CaMoO4溶液即可。实施例3本实施例2的实施条件如下所示。作为防蚀树脂8，使用通过向Na+型树脂I. 8L和W042_型树脂2. 2L混合而成的(Na+型+W042_型)树脂通入3mol/L的Na2WO4溶液而形成的(Na+型+W042_型)树脂。(參照图5)通过向该树脂通入加工水而向储存加工水的清水槽流动,从而可以将加工水变换为Na2WO4溶液。作为纯水化树脂，第I纯水化树脂3、第2纯水化树脂9均使用将H+型树脂5L和OH—型树脂5L混合而成的(H+型+0H—型)树脂。作为控制部11的基准的导电率，将导电率(I)设定为大于或等于40 ii S/cm，将相当于第I导电率的导电率(2)设定为24ii S/cm，将相当于第2导电率的导电率(3)设定为28y S/cm，根据导电率仪7的测量值，进行电磁阀10的开闭。此外，对于线电极放电加工机的第I纯水化树脂3，在导电率仪5的值大于或等于40 u S/cm的情况下，打开电磁阀4而向第I纯水化树脂3通水，使利用过滤器Fl去除了固体后的清水向加工槽I环流。(在导电率小于40 u S/cm的情况下，关闭电磁阀4而不向第I纯水化树脂3通水，使清水槽的清水向加工槽I环流)。下面对具体动作进行说明。步骤I在本实施例中，向防蚀装置、第I纯水化树脂3通水之前的清水槽水的导电率为50u S/cm。
由于清水槽2的清水的由导电率仪7測量到的导电率并没有成为导电率(1)，因此向防蚀树脂8通水，并由控制部11打开电磁阀10，向第2纯水化树脂9通水。另外，由于导电率仪5的測量值为上述所示的50 u S/cm,因此也经由第I控制部6向第I纯水化树脂3通水。将清水槽水向第I纯水化树脂3、防蚀树脂8、第2纯水化树脂9通入，将清水槽水中的杂质离子置换为Na+、H+、W042_、0H_，同时清水槽水的导电率降低。另外，如果清水槽水的导电率小于40ii S/cm，则第I控制部6关闭电磁阀4，停止向第I纯水化树脂3通水。然后，如果清水槽水的导电率达到24ii S/cm，则控制部11关闭电磁阀10，停止向第2纯水化树脂9通水。 此时的清水槽水中的WO广浓度为12. 4ppm。步骤2如果清水槽水的导电率达到20 u S/cm,则停止向纯水化树脂通水，由于清水槽水仅向防蚀树脂通水，所以清水槽水中的杂质离子被置换为Na+、W042_，同时清水槽水的导电率上升。步骤3如果清水槽水的导电率达到28 ii S/cm，则控制部11打开电磁阀10，开始也向第2纯水化树脂9通水。通过向防蚀树脂8和第2纯水化树脂9通入清水槽水，从而清水槽水中的杂质离子被置换为Na+、H+、WO42' OF,同时清水槽水的导电率降低，清水槽水的导电率达到24 u S/cm。此时的清水槽水中的W042_浓度为14. 5ppm。如上所述，根据本实施例，即使导电率是24 yS/cm，与步骤I后的清水槽水中的WO/—浓度为12. 4ppm相対，步骤3后的WO/—浓度为14. 5ppm。通过实施上述步骤I至3，可以使清水槽水中的WO广量增加，增加导电率和WO广浓度之间的正比关系。在本实施例中，在反复进行步骤I至3的状态下，在加工槽中浸溃碳素钢(S45C)，其结果，在浸溃2天后，碳素钢維持光泽，没有产生铁锈。此外，在清水槽中浸溃Na+测量仪，对步骤2中的清水槽中的Na+浓度进行测量的结果是，12天后Na+浓度基本没有増加。这表示防蚀树脂中的Na+型树脂已达到寿命，可以预知NOf型树脂的寿命。在本实施例中，作为防蚀树脂使用了(Na+型+WO/—型)树脂，但是在使用(K+型+WO42-型)树脂或(Ca2+型+WO42-型)树脂的情况下，也可以得到同样的效果。另外，在作为阴离子型树脂而制造WO/—的情况下，使用Na2WO4溶液、K2WO4溶液、CaffO4溶液即可。实施例4图9是表示本实施例的应用于线电极放电加工机的其他结构例。与图4的结构存在较大差异的点在干，由防蚀装置的纯水化树脂承担第I纯水化树脂3的功能。
因此，在防蚀树脂的紧上游还设置电磁阀12，并且使用导电率仪7，经由控制部IlA控制电磁阀10和电磁阀12。在本例子的情况下，上述步骤2中的导电率(3)是在放电加工时进行设定的值。本实施例4的实施条件如下所示。作为防蚀树脂8，使用通过向作为阳离子型树脂的Na+型树脂I. 8L和作为阴离子型树脂的NO2-型树脂2. 2L混合而成的(Na+型+N02_型)树脂通入3mol/L的NaNO2溶液而形成的(Na+型+NO2-型)树脂。(參照图5)作为纯水化树脂，第I纯水化树脂3、第2纯水化树脂9均使用将H+型树脂5L和 OH—型树脂5L混合而成的(H+型+0H—型)树脂。作为控制部IlA的基准的导电率，将导电率(I)设定为大于或等于S/cm，将相当于第I导电率的导电率(2)设定为8iiS/cm，将相当于第2导电率的导电率(3)设定为12ii S/cm，根据导电率仪7的测量值，进行电磁阀10、12的开闭。在本实施例的情况下，纯水化树脂兼作为线电极放电加工机主体的纯水化树脂。下面对具体动作进行说明。步骤I在本实施例中，向防蚀装置、第I纯水化树脂3通水之前的清水槽水的导电率为20u S/cm。由于清水槽2的清水的由导电率仪7测量到的导电率并没有成为导电率(I),因此由控制部IlA打开电磁阀10、12，向防蚀树脂8及第2纯水化树脂9通水。将清水槽水向防蚀树脂8、第2纯水化树脂9通入，将清水槽水中的杂质离子置換为Na+、H+、N02_、OF,同时清水槽水的导电率降低。然后，如果清水槽水的导电率达到8 ii S/cm，则控制部IlA关闭电磁阀10，停止向第2纯水化树脂9通水。此时的清水槽水中的NCV浓度为2. 3ppm。步骤2如果清水槽水的导电率达到8 u S/cm,则停止向纯水化树脂通水，由于清水槽水仅向防蚀树脂通水，所以清水槽水中的杂质离子被置换为Na+、N02_，同时清水槽水的导电率上升。步骤3如果清水槽水的导电率达到12ii S/cm，则控制部IlA打开电磁阀10，开始也向第2纯水化树脂9通水。通过向防蚀树脂8和第2纯水化树脂9通入清水槽水，从而清水槽水中的杂质离子被置换为Na+、H+、N02_、0H_，同时清水槽水的导电率降低，清水槽水的导电率达到8 u S/cm。此时的清水槽水中的NOf浓度为2. 7ppm。如上所述，根据本实施例，通过实施上述步骤I至3，可以使清水槽水中的N02_量增加，增加导电率和no2_浓度之间的正比关系。S卩，通过持续向防蚀树脂8通水，同时利用向纯水化树脂通水而控制导电率，以使得即使导电率同是8 ii S/cm,与步骤I后的清水槽水中的NO2-浓度为2. 3ppm相対，步骤3后的N02_浓度为2. 7ppm，从而将杂质离子置换为Na+、N02_，接近具有防蚀性的高纯度的单质溶液，导电率与具有防蚀性的阴离子浓度成正比关系。由此，可以根据导电率仪的值而把握具有防蚀性的阴离子浓度，并且可以维持铁系金属防蚀所需的最小导电率。在本实施例中，在反复进行步骤I至3的状态下，在加工槽中浸溃碳素钢(S45C)，其结果，在浸溃4天后，碳素钢維持光泽，没有产生铁锈。此外，在清水槽中浸溃Na+测量仪，对步骤2中的清水槽中的Na+浓度进行测量的结果是，12天后Na+浓度基本没有増加。这表示防蚀树脂中的Na+型树脂已达到寿命，可以预知NOf型树脂的寿命。作为预测方法的具体例子，可以根据Na+型树脂达到寿命为止的所花费的时间12天、以及N02_型树脂/Na+型树脂的容量比2. 2L/1. 8L=1. 2，预知N02_型树脂的寿命(12天 X I. 2=14. 4 天)。
此外，在本实施例中，作为防蚀树脂使用了(Na+型+NO2-型)树脂，但是在使用(K+型+N02_型)树脂或(Ca2+型+N02_型)树脂的情况下，也可以得到同样的效果。实施例5本实施例5的实施条件如下所示。作为防蚀树脂8，使用通过向Na+型树脂I. 8L和MoO42.型树脂2. 2L混合而成的(Na+型+Mo042_型)树脂通入3mol/L的Na2MoO4溶液而形成的(Na+型+Mo042_型)树脂。(參照图5)作为纯水化树脂，第I纯水化树脂3、第2纯水化树脂9均使用将H+型树脂5L和OH—型树脂5L混合而成的(H+型+0H—型)树脂。作为控制部IIA的基准的导电率，将导电率(I)设定为大于或等于30 ii S/cm，将相当于第I导电率的导电率(2)设定为20ii S/cm，将相当于第2导电率的导电率(3)设定为24ii S/cm，根据导电率仪7的测量值，进行电磁阀10的开闭。在本实施例的情况下，也与实施例4相同地，纯水化树脂兼作为线电极放电加工机主体的纯水化树脂。下面对具体动作进行说明。步骤I在本实施例中，向防蚀装置、第I纯水化树脂3通水之前的清水槽水的导电率为40u S/cm。由于清水槽2的清水的由导电率仪7測量到的导电率并没有成为导电率(1)，因此由控制部IlA打开电磁阀10、12，向防蚀树脂8及第2纯水化树脂9通水。将清水槽水向防蚀树脂8、第2纯水化树脂9通入，将清水槽水中的杂质离子置換为Na+、H+、Mo042_、0H_，同时清水槽水的导电率降低。另外，如果清水槽水的导电率达到20 ii S/cm，则控制部IlA关闭电磁阀10，停止向第2纯水化树脂9通水。此时的清水槽水中的Mo042_浓度为8. lppm。步骤2如果清水槽水的导电率达到20 u S/cm,则停止向纯水化树脂通水，由于清水槽水仅向防蚀树脂通水，所以清水槽水中的杂质离子被置换为Na+、Mo042_，同时清水槽水的导电率上升。步骤3如果清水槽水的导电率达到24ii S/cm，则控制部IlA打开电磁阀10，开始也向第2纯水化树脂9通水。通过向防蚀树脂8和第2纯水化树脂9通入清水槽水，从而清水槽水中的杂质离子被置换为Na+、H+、Mo042_、0H_，同时清水槽水的导电率降低，清水槽水的导电率达到20 y S/cm。此时的清水槽水中的MoO广浓度为9. 6ppm。如上所述，根据本实施例，即使导电率是24 yS/cm，与步骤I后的清水槽水中的 WO/—浓度为12. 4ppm相対，步骤3后的WO/—浓度为14. 5ppm。即，通过实施上述步骤I至3，可以使清水槽水中的MoO广量增加，增加导电率和MoO广浓度之间的正比关系。在本实施例中，在反复进行步骤I至3的状态下，在加工槽中浸溃碳素钢(S45C)，其结果，在浸溃2天后，碳素钢維持光泽，没有产生铁锈。此外，在清水槽中浸溃Na+测量仪，对步骤2中的清水槽中的Na+浓度进行测量的结果是，12天后Na+浓度基本没有増加。这表示防蚀树脂中的Na+型树脂已达到寿命，可以预知NOf型树脂的寿命。在本实施例中，作为防蚀树脂使用了(Na+型+Mo042_型)树脂，但是在使用(K+型+MoO42-型)树脂或(Ca2+型+MoO42-型)树脂的情况下，也可以得到同样的效果。实施例6本实施例6的实施条件如下所示。作为防蚀树脂8，使用通过向Na+型树脂I. 8L和W042_型树脂2. 2L混合而成的(Na+型+W042_型)树脂通入3mol/L的Na2WO4溶液而形成的(Na+型+W042_型)树脂。(參照图5)作为纯水化树脂，第I纯水化树脂3、第2纯水化树脂9均使用将H+型树脂5L和OH—型树脂5L混合而成的(H+型+0H—型)树脂。作为控制部IIA的基准的导电率，将导电率(I)设定为大于或等于40 ii S/cm，将相当于第I导电率的导电率(2)设定为24ii S/cm，将相当于第2导电率的导电率(3)设定为28 y S/cm，根据导电率仪7的测量值，进行电磁阀10的开闭。在本实施例的情况下，纯水化树脂兼作为线电极放电加工机主体的纯水化树脂。下面对具体动作进行说明。在本实施例中，向防蚀装置、第I纯水化树脂3通水之前的清水槽水的导电率为50u S/cm。由于清水槽2的清水的由导电率仪7测量到的导电率并没有成为导电率(I),因此由控制部IlA打开电磁阀10、12，向防蚀树脂8及第2纯水化树脂9通水。将清水槽水向防蚀树脂8、第2纯水化树脂9通入，将清水槽水中的杂质离子置換为Na+、H+、W042_、0H_，同时清水槽水的导电率降低。另外，如果清水槽水的导电率达到24 ii S/cm，则控制部IlA关闭电磁阀10，停止向第2纯水化树脂9通水。此时的清水槽水中的W042_浓度为12. 4ppm。
步骤2如果清水槽水的导电率达到20 U S/cm,则停止向纯水化树脂通水，由于清水槽水仅向防蚀树脂通水，所以清水槽水中的杂质离子被置换为Na+、W042_，同时清水槽水的导电率上升。步骤3
如果清水槽水的导电率达到28 ii S/cm，则控制部IlA打开电磁阀10，开始也向第2纯水化树脂9通水。通过向防蚀树脂8和第2纯水化树脂9通入清水槽水，从而清水槽水中的杂质离子被置换为Na+、H+、WO42' OF,同时清水槽水的导电率降低，清水槽水的导电率达到24 u S/cm。此时的清水槽水中的W042_浓度为14. 5ppm。如上所述，根据本实施例，即使导电率是24 u S/cm,与步骤I后的清水槽水中的WO/—浓度为12. 4ppm相対，步骤3后的WO/—浓度为14. 5ppm。通过实施上述步骤I至3，可以使清水槽水中的WO广量增加，增加导电率和WO广浓度之间的正比关系。在本实施例中，在反复进行步骤I至3的状态下，在加工槽中浸溃碳素钢(S45C)，其结果，在浸溃2天后，碳素钢維持光泽，没有产生铁锈。此外，在清水槽中浸溃Na+测量仪，对步骤2中的清水槽中的Na+浓度进行测量的结果是，12天后Na+浓度基本没有増加。这表示防蚀树脂中的Na+型树脂已达到寿命，可以预知NOf型树脂的寿命。在本实施例中，作为防蚀树脂使用了(Na+型+W042—型)树脂，但是在使用(K+型+WO/—型)树脂或(Ca2+型+WO/—型)树脂的情况下，也可以得到同样的效果。另外，在作为阴离子型树脂而制造WO/—的情况下，使用Na2WO4溶液、K2WO4溶液、CaffO4溶液即可。エ业实用性本发明适用于线电极放电加工机。
权利要求
1.一种防蚀装置，其具有 纯水化単元，其由氢离子型树脂和氢氧根离子型树脂构成； 防蚀单元，其由阳离子型树脂、承载有防蚀性离子的阴离子型树脂构成； 导电率测量单元，其用于对加工液的导电率的实际测量值进行測量；以及控制单元，其根据该导电率测量単元，对将加工液向所述纯水化単元、防蚀单元的通入进行控制， 该防蚀装置的特征在干， 所述控制単元根据预先设定的第I及第2导电率、和由所述导电率測量单元测量出的实际测量值，在所述加工液的实际测量值达到第I导电率之前，向所述纯水化单元以及防蚀单元通入， 如果所述实际测量值达到第I导电率，则停止向所述纯水化単元通入，仅向所述防蚀単元通入， 如果所述实际测量值上升至第2导电率，则重新开始向所述纯水化単元通入，向所述纯水化单元以及防蚀单元通入。
2.根据权利要求I所述的防蚀装置，其特征在干， 预先设定的第I导电率设定为用于获得铁系金属的防蚀功能的最小导电率，第2导电率设定为用于获得铁系金属的防蚀功能的最大导电率。
3.根据权利要求I或2所述的防蚀装置，其特征在干， 作为防蚀単元中的阳离子型树脂的阳离子，选择钠离子、钾离子或钙离子中的任意一种， 作为阴离子型树脂的防蚀性离子，选择亚硝酸根离子、钥酸根离子或钨酸根离子中的任意ー种。
4.根据权利要求I至3中任意一项所述的防蚀装置，其特征在干， 防蚀单元中的阳离子型树脂相对于树脂整体的容量比为大于或等于0. 05而小于0. 5。
5.根据权利要求3所述的防蚀装置，其特征在干， 在作为阴离子型树脂的防蚀性离子而使用亚硝酸根离子的情况下，将第I导电率设为大于或等于4 u S/cm,将第2导电率设为大于或等于5 u S/cm。
6.根据权利要求3所述的防蚀装置，其特征在干， 在作为阴离子型树脂的防蚀性离子而使用钥酸根离子的情况下，将第I导电率设为大于或等于15 V- S/cm,将第2导电率设为大于或等于16 V- S/cm。
7.根据权利要求3所述的防蚀装置，其特征在干， 在作为阴离子型树脂的防蚀性离子而使用钨酸根离子的情况下，将第I导电率设为大于或等于20 u S/cm,将第2导电率设为大于或等于21 u S/cm。
8.一种防蚀方法，其使用具有下述部件的防蚀装置 纯水化単元，其由氢离子型树脂和氢氧根离子型树脂构成； 防蚀单元，其由阳离子型树脂、承载有防蚀性离子的阴离子型树脂构成； 导电率测量单元，其用于对加工液的导电率的实际测量值进行測量；以及控制单元，其根据该导电率测量単元，对将加工液向所述纯水化単元、防蚀单元的通入进行控制，该防蚀方法的特征在干， 所述控制単元根据预先设定的第I及第2导电率、和由所述导电率測量单元测量出的实际测量值，在所述加工液的实际测量值达到第I导电率之前，向所述纯水化单元以及防蚀单元通入， 如果所述实际测量值达到第I导电率，则停止向所述纯水化単元通入，仅向所述防蚀単元通入， 如果所述实际测量值上升至第2导电率，则重新开始向所述纯水化単元通入，向所述纯水化单元以及防蚀单元通入。
9.根据权利要求8所述的防蚀方法，其特征在干， 控制单元使用第I导电率、第2导电率进行通入控制，其中，第I导电率设定为用于获得铁系金属的防蚀功能的最小导电率，第2导电率设定为用于获得铁系金属的防蚀功能的最大导电率。
10.根据权利要求8或9所述的防蚀装置，其特征在干， 作为防蚀単元中的阳离子型树脂的阳离子，选择钠离子、钾离子或钙离子中的任意一种， 作为阴离子型树脂的防蚀性离子，选择亚硝酸根离子、钥酸根离子或钨酸根离子中的任意ー种。
11.根据权利要求8至10中任意一项所述的防蚀方法，其特征在干， 防蚀单元中的阳离子型树脂相对于树脂整体的容量比为大于或等于0. 05而小于0. 5。
12.根据权利要求10所述的防蚀方法，其特征在干， 在作为阴离子型树脂的防蚀性离子而使用亚硝酸根离子的情况下，将第I导电率设为大于或等于4 u S/cm,将第2导电率设为大于或等于5 u S/cm。
13.根据权利要求10所述的防蚀方法，其特征在干， 在作为阴离子型树脂的防蚀性离子而使用钥酸根离子的情况下，将第I导电率设为大于或等于15 V- S/cm,将第2导电率设为大于或等于16 V- S/cm。
14.根据权利要求10所述的防蚀装置，其特征在干， 在作为阴离子型树脂的防蚀性离子而使用钨酸根离子的情况下，将第I导电率设为大于或等于20 u S/cm,将第2导电率设为大于或等于21 u S/cm。
15.一种线电极放电加工装置，其将被加工物和线电极以规定间隙分离，通过向两者施加规定电压而产生放电，从而进行加工， 该线电极放电加工装置的特征在于， 具有防蚀机构，其具有 纯水化単元，其由氢离子型树脂和氢氧根离子型树脂构成； 防蚀单元，其由阳离子型树脂、承载有防蚀性离子的阴离子型树脂构成； 导电率测量单元，其用于对加工液的导电率的实际测量值进行測量；以及 控制单元，其根据该导电率测量単元，对将加工液向所述纯水化単元、防蚀单元的通入进行控制， 该防蚀机构中的所述控制単元根据预先设定的第I及第2导电率、和由所述导电率测量单元测量出的实际测量值，在所述加工液的实际测量值达到第I导电率之前，向所述纯水化单元以及防蚀单元通入， 如果所述实际测量值达到第I导电率，则停止向所述纯水化単元通入，仅向所述防蚀単元通入， 如果所述实际测量值上升至第2导电率，则重新开始向所述纯水化単元通入，向所述纯水化单元以及防蚀单元通入。
16.根据权利要求15所述的线电极放电加工装置，其特征在干， 预先设定的第I导电率设定为用于获得铁系金属的防蚀功能的最小导电率，第2导电率设定为用于获得铁系金属的防蚀功能的最大导电率。
17.根据权利要求15或16所述的线电极放电加工装置，其特征在干， 作为防蚀単元中的阳离子型树脂的阳离子，选择钠离子、钾离子或钙离子中的任意一种， 作为阴离子型树脂的防蚀性离子，选择亚硝酸根离子、钥酸根离子或钨酸根离子中的任意ー种。
18.根据权利要求15至17中任意一项所述的线电极放电加工装置，其特征在干， 防蚀单元中的阳离子型树脂相对于树脂整体的容量比为大于或等于0. 05而小于0. 5。
19.根据权利要求17所述的线电极放电加工装置，其特征在干， 在作为阴离子型树脂的防蚀性离子而使用亚硝酸根离子的情况下，将第I导电率设为大于或等于4 u S/cm,将第2导电率设为大于或等于5 u S/cm。
20.根据权利要求17所述的线电极放电加工装置，其特征在干， 在作为阴离子型树脂的防蚀性离子而使用钥酸根离子的情况下，将第I导电率设为大于或等于15 V- S/cm,将第2导电率设为大于或等于16 V- S/cm。
21.根据权利要求17所述的线电极放电加工装置，其特征在干， 在作为阴离子型树脂的防蚀性离子而使用钨酸根离子的情况下，将第I导电率设为大于或等于20 u S/cm,将第2导电率设为大于或等于21 u S/cm。
全文摘要
一种防蚀装置，其具有纯水化单元(9)，其由氢离子型树脂和氢氧根离子型树脂构成；防蚀单元(8)，其由阳离子型树脂、承载有防蚀性离子的阴离子型树脂构成；导电率测量单元(7)，其用于对加工液的导电率的实际测量值进行测量；以及控制单元(10、11、12)，其根据该导电率测量单元(7)，对将加工液向所述纯水化单元(9)、防蚀单元(8)的通入进行控制，在该防蚀装置中，所述控制单元根据预先设定的第1及第2导电率、和由所述导电率测量单元(7)测量出的实际测量值，在所述加工液的实际测量值达到第1导电率之前，向所述纯水化单元以及防蚀单元通入，如果所述实际测量值达到第1导电率，则停止向所述纯水化单元(9)通入，仅向所述防蚀单元(8)通入，如果所述实际测量值上升至第2导电率，则重新开始向所述纯水化单元(9)通入，向所述纯水化单元(9)以及防蚀单元(8)通入。
文档编号B23H7/36GK102655973SQ20098016273
公开日2012年9月5日 申请日期2009年12月4日 优先权日2009年12月4日
发明者佐藤达志, 大畑珠代, 栗木宏德, 汤泽隆, 瓦井久胜, 谷村纯二 申请人:三菱电机株式会社, 菱电工机工程株式会社