极紫外光光源中收集镜精加工的专用双刀刀架的制作方法
【专利摘要】极紫外光光源中收集镜精加工的专用双刀刀架，涉及极紫外光光源中收集镜的精加工技术。目的是为了解决收集镜在业加工过程中，换刀易导致收集镜面形发生变化的问题。该双刀刀架的固定结构一为长方体金属块，固定结构二为长条形金属块，长条形金属块的一端固定在固定结构一的一个侧面上，该侧面为接触面，固定结构一的上表面和固定结构二的上表面平齐，固定结构一的厚度大于固定结构二的厚度；固定结构一的上表面开有用于安装刀具的矩形凹槽，且该矩形凹槽的一个侧面延伸至该长方体金属块的与接触面相对的侧面，该凹槽的底面开有两个孔，凹槽的一个侧开有螺纹孔。适用于极紫外光光源中收集镜的精加工。
【专利说明】
极紫外光光源中收集镜精加工的专用双刀刀架
技术领域
[0001 ]本实用新型涉及极紫外光光源中收集镜的精加工技术。
【背景技术】
[0002]用毛细管大电流，快脉冲放电Z箍缩获得13.5nm极紫外光源(DPP)，做为极大规模集成电路小于20nm光刻刻线技术，其中将毛细管中产生的13.5nm极紫外光有效收集，在焦点处获高功率密度光，其中一重要环节，就是收集镜片的加工。本项目提出了用车削直接加工收集镜片，将口径从大到小若干镜片加工完后依次组装起来，组装一收集镜系统。这一系统中，最大口径的收集镜片应在Φ500mm以上，壁厚<2mm，面形是由双曲面和椭球面双非球面光学面组成的。
[0003]对这一收集镜片要通过对基体材料内表面粗加工，化学镀厚膜，然后由金刚石车刀进行精加工，而精加工时，也需经过几道工序，第一道加工，是精加工中的预精加工，车刀进刀每次0.04?0.06mm，加工3-4刀后，第二道加工是半精加工，将进刀量减小，车速也降低。最后一道加工是精加工中的精车加工，进刀量一般在I?3μπι，进刀速度为I?3mm/min，大约一个大口径收集镜片内表面加工需经过几个小时。
[0004]在这样一个车削过程，金刚石车刀磨损是比较严重的，通常一把车刀完成不了从头到尾对一大口径收集镜片内表面的精加工，为达到最终要求，通常是需要换刀，然而换刀是一个极不容易的过程，需要进行严格的对刀，确保第二次装刀与第一次的中心轴严格对准。否则加工中难保面形不改变，面形难以保证。
【实用新型内容】
[0005]本实用新型的目的是为了解决极紫外光光源中的收集镜在业加工过程中，换刀易导致收集镜面形发生变化的问题，提供一种极紫外光光源中收集镜精加工的专用双刀刀架。
[0006]本实用新所述的极紫外光光源中收集镜精加工的专用双刀刀架，包括固定结构一和固定结构二；
[0007]所述固定结构一为长方体金属块，所述固定结构二为长条形金属块，该长条形金属块的一端固定在固定结构一的一个侧面上，该侧面称为接触面，固定结构一的上表面和固定结构二的上表面平齐，且固定结构一的厚度大于固定结构二的厚度；
[0008]所述固定结构一的上表面开有用于安装刀具的矩形凹槽，且该矩形凹槽的一个侧面延伸至该长方体金属块的与接触面相对的侧面，该凹槽的底面开有两个孔，凹槽的一个侧开有螺纹孔。
[0009]上述双刀刀架在使用时，同时采用两个双刀架，即同时装两把刀，确保换刀时无缝连接，免去了再重调刀的轴线，确保了加工过程中收集镜面形不变，适用于极紫外光光源中收集镜的精加工。
【附图说明】
[00?0]图1为实施方式一中的刀架的结构不意图，其中，I表不固定结构一，2表不固定结构2;
[0011 ]图2为实施方式一中的刀架的A-A向剖视图。
【具体实施方式】
[0012]【具体实施方式】一:结合图1说明本实施方式，本实施方式所述的极紫外光光源中收集镜精加工的专用双刀刀架，包括固定结构一和固定结构二；
[0013]所述固定结构一为长方体金属块，所述固定结构二为长条形金属块，该长条形金属块的一端固定在固定结构一的一个侧面上，该侧面称为接触面，固定结构一的上表面和固定结构二的上表面平齐，且固定结构一的厚度大于固定结构二的厚度；
[0014]所述固定结构一的上表面开有用于安装刀具的矩形凹槽，且该矩形凹槽的一个侧面延伸至该长方体金属块的与接触面相对的侧面，该凹槽的底面开有两个孔，凹槽的一个侧开有螺纹孔。
[0015]本实施方式，固定结构一上的凹槽具有两个开口侧，一个开口侧位于固定结构一的上表面，另一个开口侧位于固定结构一的侧面，使用时，将两个双刀刀架的固定结构二固定在车床上，然后将两把刀具分别固安装在两个双刀刀架的凹槽中，通过凹槽底面上的两个也孔和侧面的两个螺纹孔固定刀具，即同时装两把刀，确保换刀时无缝连接，免去了再重调刀的轴线，确保了加工过程中收集镜面形不变。
[0016]采用该双刀刀架加工收集镜的方法如下:
[0017]I)因为可调刀架钢性差，且对安装新刀架进刀有障碍，在此情况下，首先将金刚石车床原有的可调刀架拆下；
[0018]2)将两个双刀刀架安装到金刚石车床的溜板上，确保双刀刀架的轴线与主轴平行，便于准确装刀；
[0019]3)将两把金刚石刀具分别装到两个双刀刀架上，用薄铜皮调整刀具高度，使刀具高与主轴轴饯高度一致；
[0020]4)用金刚石车床自身的刀具探测器探测刀具在机床坐标系中的位置，给出初始刀具零位置；
[0021]5)初始加工(也可称粗加工):切削深度0.04mm-0.05mm，每分钟进给速度为15mm，主轴转速为每分钟400-500转；
[0022]6)半精加工，共加工两次，切削深度分别为8微米和5微米，每分钟进给速度为15mm，主轴转速为每分钟400-500转；
[0023]7)精加工，切削深度为2微米，进给速度为每分钟2mm，主轴转速为每分钟400-500转；
[0024]8)观查收集镜的表面质量，如尚有不足，再重复精加工一遍，直到表面质量满足要求为止。
[0025]加工时注意冷却油不能间断，并且要加大给油量，确保精车质量。采用上述方法加工测试样板，经PGl 1240轮廓仪测量后，收集镜的表面粗糙度为0.0055nm，完全满足要求。
[0026]【具体实施方式】二:结合图1说明本实施方式，本实施方式是对实施方式一所述的极紫外光光源中收集镜精加工的专用双刀刀架的进一步限定，本实施方式中，所述的固定结构一和固定结构二为一体件。
[0027]一体件能够使双刀刀架更加结实耐用，延长使用寿命。
[0028]【具体实施方式】三:结合图1说明本实施方式，本实施方式是对实施方式一和二所述的极紫外光光源中收集镜精加工的专用双刀刀架的进一步限定，本实施方式中，固定结构二上，靠近其另一端的上表面以及与该上表面相邻的两个侧面均为斜面。
[0029]如图1和图2所示，将端部加工成斜面有利于双刀刀架的安装。
[0030]【具体实施方式】四:结合图1说明本实施方式，本实施方式是对实施方式一和二所述的极紫外光光源中收集镜精加工的专用双刀刀架的进一步限定，本实施方式中，固定结构二的上表面开有长条形凹槽。
[0031]如图1和图2所示，该凹槽能够减小双刀刀架的重量，降低成本。
[0032]【具体实施方式】五:结合图1说明本实施方式，本实施方式是对实施方式一和二所述的极紫外光光源中收集镜精加工的专用双刀刀架的进一步限定，本实施方式中，所述双刀刀架的总长度为283mm，固定结构一上凹槽的长和宽分别为77mm和54mm，其长度方向与双刀刀架的长度方向一致，固定结构二的长和宽分别为238mm和55mm。
[0033]本实施方式所提供的双刀刀架的尺寸适合用于收集镜加工的车床及刀具，采用本实施方式的双刀刀具加工测试样板，经PGl 1240轮廓仪测量后，收集镜的表面粗糙度为
0.0055nm，完全满足要求。
【主权项】
1.极紫外光光源中收集镜精加工的专用双刀刀架，其特征在于，包括固定结构一(I)和固定结构二(2); 所述固定结构一(I)为长方体金属块，所述固定结构二 (2)为长条形金属块，该长条形金属块的一端固定在固定结构一(I)的一个侧面上，该侧面称为接触面，固定结构一(I)的上表面和固定结构二 (2)的上表面平齐，且固定结构一(I)的厚度大于固定结构二 (2)的厚度； 所述固定结构一(I)的上表面开有用于安装刀具的矩形凹槽，且该矩形凹槽的一个侧面延伸至该长方体金属块的与接触面相对的侧面，该凹槽的底面开有两个孔，凹槽的一个侧开有螺纹孔。2.根据权利要求1所述的极紫外光光源中收集镜精加工的专用双刀刀架，其特征在于，所述的固定结构一 (I)和固定结构二 (2)为一体件。3.根据权利要求1或2所述的极紫外光光源中收集镜精加工的专用双刀刀架，其特征在于，固定结构二 (2)上，靠近其另一端的上表面以及与该上表面相邻的两个侧面均为斜面。4.根据权利要求1或2所述的极紫外光光源中收集镜精加工的专用双刀刀架，其特征在于，固定结构二 (2)的上表面开有长条形凹槽。5.根据权利要求1或2所述的极紫外光光源中收集镜精加工的专用双刀刀架，其特征在于，所述双刀刀架的总长度为283mm，固定结构一(I)上凹槽的长和宽分别为77mm和54mm，其长度方向与双刀刀架的长度方向一致，固定结构二 (2)的长和宽分别为238mm和55mm。
【文档编号】B23B29/24GK205673623SQ201620616054
【公开日】2016年11月9日
【申请日】2016年6月21日 公开号201620616054.5, CN 201620616054, CN 205673623 U, CN 205673623U, CN-U-205673623, CN201620616054, CN201620616054.5, CN205673623 U, CN205673623U
【发明人】高荣翔, 王骐, 徐强
【申请人】哈尔滨工业大学