专利名称：加有电场的有机蒸发镀膜装置的制作方法
技术领域：
本实用新型属于电致发光技术领域，是一种附加有电场辅助装置有机蒸发镀膜装置。
有机电致发光器件，是一种把电能直接转化为光能的器件，它的一般结构是三明治结构，在一金属阴极和一透明阳极之间夹一层或多层有机薄膜，通常称有机层。有机层是利用有机分子在蒸发状态下，分子的迁移，生长在特备的衬底上。制备电致发光器件的有机层，通常使用真空蒸发镀膜机。有机材料蒸发温度较低，有机分子在低的温度下，迁移率相对也较低，成膜时往往存在很多孔隙。含有孔隙的有机层放在空气中，水气和氧气就会进入膜中，在加电的情况下，水和氧就会同有机物发生反应，使有机层遭到破坏。这种有机层制备的发光器件，寿命短，发光质量下降。
为了减少有机层成膜时的孔隙，保证发光器件有机层的质量和寿命，本实用新型对现有的有机蒸发镀膜机进行改进，目的是提供一种改善有机蒸发镀膜成膜性能的装置。
图1为本实用新型的结构图。图中1为加热器，2衬底基片，3金属电极板，4电源，5绝缘棒，6蒸发源，7真空接口。
在真空蒸发镀膜机的密闭容器中，上部安装有加热器1，衬底基片2固定在加热器1的下面。密闭容器下部的中心放置有蒸发源6，衬底基片2保持在加热器1和蒸发源6之间。蒸发源6的位置正好使其上的蒸发物均匀地蒸镀在衬底基片2上。真空接口7用来同真空系统相连接。
本实用新型的特征是在衬底基片3的下面，蒸发源6的上面放置有两个金属电极板3，电极板3尽量靠近衬底基片，并同衬底基片2垂直。蒸发源6在金属电极3的下方，并处在金属电极板3之间，蒸发源6蒸发出的蒸发物在向衬底基片2迁移时，通过两个金属电极板3之间的空间，金属电极板3在镀膜机的密闭容器中用绝缘棒5同其它装置绝缘。两金属电极板3用导线同电源4相连。两金属电极板间电压为1000伏～3000伏。
本实用新型采用电场辅助沉积装置，提高了有机层的聚集密度，例如把喹啉铝的聚集密度由原来的0.9提高到0.97，表面粗糙度降低一倍以上，电迁移率提高20％，从而发光器件寿命延长50％。
权利要求1.一种加有电场的有机蒸发镀膜装置，在密闭容器中包括有加热器(1)和真空接口(7)，衬底基片(2)放在加热器(1)的下面，蒸发源(6)的上面，其特征是在衬底基片(2)和蒸发源(6)之间安装有两个金属电极板(3)，两个金属电极板(3)垂直衬底基片(3)，并靠近衬底基片(3)，金属电极板(3)下面的蒸发源(6)蒸发物在向衬底基片(2)迁移时，通过两金属电极板(3)之间的空间；金属电极板(3)在容器内用绝缘棒同其它装置绝缘，用导线同电源(4)相连；两金属电极板(3)间电压为1000伏～3000伏。
专利摘要本实用新型属于电致发光技术领域,是一种附加有电场辅助装置的有机蒸发镀膜装置。本实用新型是在普通的真空有机镀膜机上,放入两个金属电极板,金属电极板在衬底基片的下方,并同其垂直。蒸发源在金属电极板的下方,蒸发物在向衬底基片迁移过程中,通过两金属电极板之间的空间,两金属极板的电压为1000伏～3000伏交流电。本实用新型可以提高有机层的聚集密度,降低有机层表面粗糙度,提高迁移率和延长器件寿命。
文档编号C23C14/12GK2473219SQ0120844
公开日2002年1月23日 申请日期2001年3月7日 优先权日2001年3月7日
发明者初国强, 刘星元, 刘云, 王立军 申请人:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所