专利名称：集成电路键合线的连续热处理高精度温控方法
技术领域：
本发明涉及一种集成电路键合线的连续热处理高精度温控方法。
通常大都采用整圈线材置于真空的热处理炉内进行或者采用普通温度控制器控制的管道连续热处理，这样不仅使内外线体的一致性差，而且加热温度和保温时间很难控制，普通温控器和受热加热器的热惯性较大，当需要设定温度为300℃时，仪表和加热器的正常误差大于±20℃，这样大范围的温度变动对温度十分敏感的铝硅键合线热处理是十分不利的，无法保证产品的批次一致性。
本发明解决其技术问题所采用的技术方案是具有电压调整器、温度传感器、可控硅温度控制器、管形隧道电加热装置、放线系统、收线调速系统。利用经放线器后的单丝连续通过恒温管形隧道，收线调速机构以一定的速度连续放收，采用不同的行线速度和加热温度，实现对不同规格的丝材进行连续热处理。
权利要求
1.一种集成电路键合线的连续热处理高精度温控方法，其特征在于具有电压调整器、温度传感器、可控硅温度控制器、管形隧道电加热装置、放线系统、收线调速系统，利用经放线系统后的单丝连续通过恒温管形隧道电加热装置，收线调速系统以一定的速度连续放收，采用不同的行线速度和加热温度，实现对不同规格的丝材进行连续热处理。
2.根据权利要求1所述的集成电路键合线的连续热处理高精度温控方法，其特征在于所述集成电路键合线是集成电路键合用铝-1％硅细丝。
3.根据权利要求1所述的集成电路键合线的连续热处理高精度温控方法，其特征在于所述热处理方法为恒温管形隧道的在线连续处理方法。
4.根据权利要求1所述的集成电路键合线的连续热处理高精度温控方法，其特征在于所述恒温管形隧道的材料包括石英玻璃管、耐高温玻璃管、耐热不锈钢等，所涉及恒温管形隧道的直径为10-60mm。
5.根据权利要求1所述的集成电路键合线的连续热处理高精度温控方法，其特征在于所述可控硅电压调整器，温度控制器为可控硅给定式温控仪，驱动可控硅为双向可控硅。
6.根据权利要求1所述的集成电路键合线的连续热处理高精度温控方法，其特征在于所述电加热器为普通镍铬直丝均匀螺旋地缠绕在管外。
全文摘要
本发明是由电压调整器、温度传感器、可控硅温度控制器、管形隧道电加热装置、放线系统、收线系统组成。主要特征当放线系统的线材通过管型隧道电加热装置时，由电压调整器对管型隧道加热器一个特定的加热功率特性进行粗调，在温度传感器信号输入给可控硅温控器时，温控器在设定特性和输入信号的比较下，由温控器控制可控硅对加热器进行电压精密微调，达到加热能量与耗热能量的平衡。当放线、收线与温度达到最佳工艺点时，达到恒温、恒速、恒力学性能的目的，保持产品批次的一致性。
文档编号C21D9/56GK1392282SQ0213805
公开日2003年1月22日 申请日期2002年8月2日 优先权日2002年8月2日
发明者黄国兴, 赵伟旦 申请人:黄国兴