专利名称：电子显微镜检测样品用的研磨工具的制作方法
技术领域：
本发明涉及电子显微镜检测样品的研磨工具，用于研磨扫描式电子显微镜和/或透射式电子显微镜检测样品。
背景技术：
目前使用的研磨扫描式电子显微镜和/或透射式电子显微镜检测样品的T-形研磨工具，用三个螺丝对样品进行上、下、左、右、前和后方向调节。不能进行样品的前、后方向的水平调节，不能准确确定样品的水平度，通常只能通过使用者目测粗略估计样品的水平度，从而造成样品前、后方向倾斜，不能获得需要的样品观察平面。
图1是现有的制造扫描式电子显微镜(以下简称“SEM”)和/或透射式电子显微镜(以下简称“TEM”)检测样品用的T-形研磨工具的透视图。使用者用现有的T-形研磨工具研磨样品时，必须研磨一段时间后将样品从研磨工具上取下，将样品放到扫描电子显微镜(SEM)下检测，确定样品研磨表面的前、后、左和右方向的水平状态，如果样品研磨表面的水平度差，则必须用T-形研磨工具再次研磨样品。这种经多次研磨后的样品通常前/后方向的水平状态符合要求了，但又破坏了左/右的水平状态。因此用现有的T-形研磨工具既费时又不能获得具有准确的水平观察表面的样品。
用现有的T-形研磨工具研磨样品时，使用者用三个指头握紧现有的T-形研磨工具，由于使用者三个指头与现有的T-形研磨工具接触的三个面都是光滑表面，研磨过程中容易滑动，使用者不容易握紧T-形研磨工具。
为了获得具有准确水平度的观察表面的样品，必须改进研磨样品的研磨工具。因此提出本发明的电子显微镜检测样品的T-形研磨工具。
发明内容
为了克服上述的现有的制造电子显微镜检测样品用的T-形研磨工具的缺点，提出本发明。
本发明的目的是，提供一种制造电子显微镜检测样品用的T-形研磨工具，用于研磨扫描式电子显微镜(SEM)和/或透射式电子显微镜(TEM)检测样品，它设置有检测样品研磨表面的前、后、左、右方向的水平度的两个水平仪，此外，使用者握紧T-形研磨工具的三个指头接触T-形工具的三个接触面具有向下凹面，而且，三个指头接触T-形工具的三个接触表面粗糙，便于使用者的指头握紧研磨工具。
按本发明的制造显微镜检测样品用的T-形研磨工具包括底座A，具有T形结构；上螺丝A1、左螺丝A2、右螺丝A3、锁紧螺丝A4；样品底座A5；和两个精密水平仪A7以及固定橡胶塞A8。左螺丝A2和右螺丝A3对称地设置在T-形底座一横的两端，上螺丝A1设置在T-形底座一竖的末端；锁紧螺丝A4设置在T-形底座一竖的中段位置；样品底座A5设置在T-形底座一竖的末端的一个侧边。两个水平仪分别设置在T-形底座一竖部分和一横部分连接处形成的平行六面体上，分别检测样品前、后方向和左、右方向的水平度。样品底座A5用于固定待研磨的用扫描电子显微镜和/或透射电子显微镜检测的样品A6。首先通过调整A2和A3时观察左右水平仪使样品左右水平，再调整A1观察前后水平仪使样品前后水平。
通过结合附图进行的以下描述可以更好地理解本发明目的和本发明的优点，附图是洗明书的一个组成部分，附图与说明书的文字部分一起说明本发明的原理和特征，附图中显示出代表本发明原理和特征的实施例。全部附图中相同的部分用相同的参考数字指示。附图中图1是制造电子显微镜检测样品用的现有T-形研磨工具的透视图；图2是制造电子显微镜检测样品用的按本发明一个实施例的T-形研磨工具的透视图；图3制造电子显微镜检测样品用的按本发明一个实施例的T-形研磨工具上设置的精密水平仪的透视图；图4电子显微镜检测样品研磨状态示意图；图5A是制造电子显微镜检测样品用的按本发明一个实施例的T-形研磨工具的底座透视图，其上安装有检测样品左、右和前、后方向水平度的精密水平仪；图5B是制造电子显微镜检测样品用的按本发明一个实施例的T-形研磨工具的底座透视图，其上安装有检测样品前、后方向水平度的精密水平仪；图5C图6A显示检测样品前、后方向水平度的精密水平仪在制造电子显微镜检测样品用的按本发明一个实施例的T-形研磨工具的底座上的安装位置尺寸的透视图；图6B是显示检测样品前、后方向水平度的精密水平仪在制造电子显微镜检测样品用的按本发明一个实施例的T-形研磨工具的底座的A平面上的安装位置尺寸的平面示意图；图6C是显示检测样品前、后方向水平度的精密水平仪在制造电子显微镜检测样品用的按本发明一个实施例的T-形研磨工具的底座的B平面上的安装位置尺寸的平面示意图；图6D是显示检测样品左、右方向水平度的精密水平仪在制造电子显微镜检测样品用的按本发明一个实施例的T-形研磨工具的底座的B平面上的安装位置尺寸的平面示意图；图6E是显示检测样品左、右方向水平度的精密水平仪在制造电子显微镜检测样品用的按本发明一个实施例的T-形研磨工具的底座的C平面上的安装位置尺寸的平面示意图；图7是显示用左右水平旋转按钮调节样品左右水平度的调节状态示意图；和图8是显示制造电子显微镜检测样品用的按本发明的T-形研磨工具与使用者的指头接触面状态的透视图。
附图中参考数字指示的部件说明A1-上螺丝；A2-左螺丝；A3-右螺丝；A4-锁紧螺丝；A5-样品底座；A6-样品；A7-精密水平仪；A8-固定橡胶塞；S1-指头接触面；I-好的研磨表面；II-差的研磨表面；III-差的研磨表面。
具体实施例方式
以下结合
按本发明的电子显微镜检测样品的研磨工具。
图2显示出制造显微镜检测样品用的按本发明一个实施例的T-形研磨工具，T-形研磨工具包括底座，具有T形结构；上螺丝A1、左螺丝A2、右螺丝A3、锁紧螺丝A4；样品底座A5；和两个精密水平仪A7以及固定橡胶塞A8。左螺丝A2和右螺丝A3对称地设置在T-形底座一横的两端，上螺丝A1设置在T-形底座一竖的末端；锁紧螺丝A4设置在T-形底座一竖的中段位置；样品底座A5设置在T-形底座一竖的末端的一个侧边。两个水平仪分别设置在T-形底座一竖部分和一横部分上，分别检测样品前、后方向和左、右方向的水平度。用样品底座A5固定待研磨的样品A6。
在研磨样品时，使用者用三个手指头分别接触制造显微镜检测样品用的T-形研磨工具的一竖部分的端面和T-形底座一横的部分的两个端面S1，握紧显微镜检测样品的T-形研磨工具。样品A6固定在样品底座A5上，露出样品A6的待研磨表面，也就是要用扫描电子显微镜或透射电子显微镜观察的样品A6的表面露出，使样品A6的待研磨表面与研磨垫接触，通过操作人员移动制造显微镜检测样品用的T-形研磨工具研磨样品。
制造显微镜检测样品用的T-形研磨工具的一竖部分的手指头分别接触端面S1和T-形底座一横的部分的两个手指头分别接触端面S1形成向下凹的弧形面，手指头分别接触端面S1的向下凹的弧度适合使用者的使指头，接触端面S1的表面是粗糙表面，以增大手指头与接触端面S1之间的摩擦力，使用者容易握紧显微镜检测样品的T-形研磨工具，参见图8。
在研磨开始时记录水平仪上的指示刻度，以保证多次研磨后的样品A6的研磨表面达到扫描电子显微镜和/或透射电子显微镜检测样品所要求的观察表面状态，参见图7。以避免出现图4中II和III显示的差的研磨表面状态。
图5和图6显示出水平仪在制造显微镜检测样品用的T-形研磨工具的T-形底座上的安装位置和安装尺寸。
图5A显示安装有检测样品左、右和前、后方向水平度的精密水平仪的制造电子显微镜检测样品用的按本发明一个实施例的T-形研磨工具的底座透视图；图5B显示安装有检测样品前、后方向水平度的精密水平仪的制造电子显微镜检测样品用的按本发明一个实施例的T-形研磨工具的底座透视图。
图6A是显示检测样品前、后方向水平度的精密水平仪在制造电子显微镜检测样品用的按本发明一个实施例的T-形研磨工具的底座上的安装位置尺寸的透视图；图6B是显示检测样品前、后方向水平度的精密水平仪在制造电子显微镜检测样品用的按本发明一个实施例的T-形研磨工具的底座的A平面上的安装位置尺寸的平面示意图；图6C是显示检测样品前、后方向水平度的精密水平仪在制造电子显微镜检测样品用的按本发明一个实施例的T-形研磨工具的底座的B平面上的安装位置尺寸的平面示意图；图6D是显示检测样品左、右方向水平度的精密水平仪在制造电子显微镜检测样品用的按本发明一个实施例的T-形研磨工具的底座的B平面上的安装位置尺寸的平面示意图；图6E是显示检测样品左、右方向水平度的精密水平仪在制造电子显微镜检测样品用的按本发明一个实施例的T-形研磨工具的底座的C平面上的安装位置尺寸的平面示意图。
如图6A到图6E显示的，T-形研磨工具的底座的一横部分与一竖部分的连接处形成一个平行六面体，该平行六面体具有两个平行的A表面(即图6中长边长度是15.6±0.5mm，短边长度是12.5±0.5mm，的两个平行的前、后表面)，和两个平行的B表面(即图6中长边长度是15.6±0.5mm，短边长度是13.4±0.5mm，的两个平行的上、下表面)，和两个平行的C表面(即图6中长边长度是13.4±0.5mm，短边长度是12.5±0.5mm，的两个平行的左、右侧表面)；两个A表面与两个B表面垂直连接的四个平行棱边长度分别是15.6±0.5mm，两个A表面与两个C表面垂直连接的四个平行棱边长度分别是12.5±0.5mm，两个B表面与两个C表面垂直连接的四个平行棱边长度分别是13.4±0.5mm。水平仪A7的长度是8±0.5mm，直径D是2.5±0.5mm。两个水平仪分别放在T-形研磨工具的底座的一横部分与一竖部分的连接处形成的一个平行六面体上，两个水平仪分别放在两个B表面中的一个B表面上开的两个相互垂直彼此隔开的槽中。检测样品左、右方向的水平度的水平仪的远离检测样品前、后方向的水平度的水平仪的一端与B表面短边之间的距离是3±0.5mm；检测样品前、后方向的水平度的水平仪的远离检测样品左、右方向的水平度的水平仪的一端与B表面长边之间的距离是3±0.5mm；附图6A中只显示了一个水平仪的位置，而在下边B表面中是两个水平仪，两个大小相同的水平仪，在同一水平面上，垂直排列，图6中，所开可视窗口的尺寸是2.5±0.5mm。另外，先调节A2和A3是左右方向的A7气泡居中，再调节A1，使垂直方向的A7气泡居中即可。
用按本发明的制造电子显微镜检测样品用的T-形研磨工具研磨扫描电子显微镜和/或透射电子显微镜检测样品，用设置在T-形研磨工具上的水平仪可以精密控制样品在前、后、左、右方向的水平度，不需要多次重复研磨样品，既节省了样品研磨时间也保证样品的观察表面符合检测要求。
以上详细描述了按本发明的制造电子显微镜检测样品用的T-形研磨工具。但是本发明不限于本文中的详细描述。本行业的技术人员应了解，本发明能以其他的形式实施。因此，按本发明的全部技术方案，所列举的实施方式只是用于说明本发明而不是限制本发明，并且，本发明不局限于本文中描述的细节。本发明要求保护的范围由所附的权利要求书界定。
权利要求
1.制造显微镜检测样品用的T-形研磨工具，T-形研磨工具包括底座A，具有T形结构；上螺丝A1、左螺丝A2、右螺丝A3、锁紧螺丝A4；样品底座A5；左螺丝A2和右螺丝A3对称地设置在T-形底座一横的两端，上螺丝A1设置在T-形底座一竖的末端；锁紧螺丝A4设置在T-形底座一竖的中段位置；样品底座A5设置在T-形底座一竖的末端的一个侧边，用样品底座A5固定待研磨的样品A6，其特征是，还包括两个精密水平仪A7以及固定橡胶塞A8，两个水平仪分别设置在T-形底座一竖部分和一横部分连接处构成的平行六面体上，分别检测样品前、后方向和左、右方向的水平度。
2.按照权利要求1的制造显微镜检测样品用的T-形研磨工具，其特征是，T-形研磨工具的底座的一横部分与一竖部分的连接处形成一个平行六面体，该平行六面体具有两个平行的A表面和两个平行的B表面和两个平行的C表面；两个A表面与两个B表面垂直连接的四个平行棱边长度分别是15.6±0.5mm，两个A表面与两个C表面垂直连接的四个平行棱边长度分别是12.5±0.5mm，两个B表面与两个C表面垂直连接的四个平行棱边长度分别是13.4±0.5mm。
3.按照权利要求1的制造显微镜检测样品用的T-形研磨工具，其特征是，T-形研磨工具的底座的一横部分与一竖部分的三个端面S1是与使用者的手指头接触的表面，该接触表面S1是粗糙表面。
4.按照权利要求2的制造显微镜检测样品用的T-形研磨工具，其特征是，T-形研磨工具的底座的一横部分与一竖部分构成的平行六面体的A表面是两个平行的前、后表面，其长边长度是15.6±0.5mm，短边长度是12.5±0.5mm；平行六面体的B表面是两个平行的上、下表面，其长边长度是15.6±0.5mm，短边长度是13.4±0.5mm；平行六面体的C表面是两个平行的左、右侧表面，其长边长度是13.4±0.5mm，短边长度是12.5±0.5mm；
5.按照权利要求2的制造显微镜检测样品用的T-形研磨工具，其特征是，两个水平仪分别放在两个B表面中的一个B表面上开的两个相互垂直彼此隔开的槽中，水平仪A7用固定橡胶塞A8固定，水平仪A7的长度是8±0.5mm，直径D是1.5±0.1mm。
全文摘要
制造显微镜检测样品用的T－形研磨工具，包括底座A，具有T形结构；上螺丝A1、左螺丝A2、右螺丝A3、锁紧螺丝A4；样品底座A5；左螺丝A2和右螺丝A3对称地设置在T－形底座一横的两端，上螺丝A1设置在T－形底座一竖的末端；锁紧螺丝A4设置在T－形底座一竖的中段位置；样品底座A5设置在T－形底座一竖的末端的一个侧边，用样品底座A5固定待研磨的样品A6，其特征是，还包括两个精密水平仪A7以及固定橡胶塞A8，两个水平仪分别设置在T－形底座一竖部分和一横部分连接处的平行六面体上，分别检测样品前、后方向和左、右方向的水平度。
文档编号B24B37/00GK1796050SQ20041009907
公开日2006年7月5日 申请日期2004年12月27日 优先权日2004年12月27日
发明者秦立勇, 邹丽君, 陈强, 陈险峰 申请人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司