专利名称：应用于离子注入机中的光纤连接系统的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种连接控制系统，尤其涉及一种用于半导体制造中离子注入机中部件与部件以及部件与主计算机的数据传输和控制的光线连接系统，属于半导体器件制造领域。
背景技术：
现有半导体集成电路制造技术中，离子注入机作为半导体离子掺杂工艺线的关键设备之一，也提出了很高的要求，要求离子注入机具有快速、准确的控制各个部件协同动作，还能避免干扰信号带来的误动作。离子注入机光纤系统连接技术对整机的全自动控制及系统的稳定性和可靠性密切相关。
由于离子注入机存在高低电位差的特殊性(电势差有几十万伏)，所以各个控制器之间用电气连接是很困难和不可能的。
发明内容
为了解决上述存在的问题，本发明的目的是提供了一种光纤连接系统，对离子注入机使用高速串行光纤网络，使得各个控制器之间没有电气连接，由于传输的是光信号也就与电势高低无关了，从而很好地解决了高低电位电势差的问题，消除了由于高压放电带来的各种影响和危害，大大增加了系统的稳定性和可靠性。
本发明的技术方案是这样实现的，一种应用于离子注入机中的光纤连接系统，由主计算机通讯板，低电位光纤系统，高电位光纤系统和光纤组成，其中主计算机通讯板分别通过光纤与低电位光纤系统和高电位光纤系统连接。
低电位光纤系统包括电位低的部件控制器，高电位光纤系统包括电位高的部件控制器主计算机通讯板、低电位光纤系统的部件控制器、高电位光纤系统的部件控制器内都设置有光纤发送器和光纤接收器，光纤连接于光纤发送器和光纤接收器之间。
所述的主计算机通讯板用于主计算机与子系统各个部件之间的双向数据传输和存储处理；所述的低电位光纤系统负责整个离子注入机的地电位通讯连接和数据传输；所述的高电位光纤系统负责整个离子注入机的高电位通讯连接和数据传输；连接于主计算机通讯板和低电位光纤系统之间的光纤用于向低电位各个部件发送控制指令和数据和接收地电位各个部件传送回来的数据和反馈信息；连接于主计算机通讯板和高电位光纤系统之间的光纤用于向高电位各个部件发送控制指令和数据；和接收高电位各个部件传送回来的数据和反馈信息。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是1、采用通讯板，使得数据的传输和处理速度大为提高，达到384Kbit/s。
2、于高速串行光纤网络，各个控制器之间没有电气连接，也与电势高低无关。
3、除了由于高压放电带来的各种影响和危害，大大增加了系统的稳定性和可靠性。
4、每个控制器都是采用通用模块式，对整个系统来说可作为嵌入式，部件可随意增加和减少，真正作到即连即用。
图1为本实用新型结构示意图；图2为主计算机通讯板与部件控制器的连接原理框图。
具体实施方式
以下结合附图和具体实施例对本发明作进一步详细描述，但不作为对本发明的限定。
如图1所示，一种应用于离子注入机中的光纤连接系统，由主计算机通讯板1，低电位光纤系统2，高电位光纤系统3和光纤4组成，主计算机通讯板内设置有光纤发送器7和光纤接收器8，低电位光纤系统2包括电位低的部件控制器5，电位低的部件控制器5内设置有光纤发送器7和光纤接收器8，高电位光纤系统3包括电位高的部件控制器6，电位高的部件控制器6内设置有光纤发送器7和光纤接收器8，主计算机通讯板1的光纤发送器7与电位低的部件控制器5内设置的光纤接收器8通过光纤连接，主计算机通讯板1的光纤发送器7和电位低的部件控制器5内设置的光纤接收器8通过光纤连接。主计算机通讯板1的光纤发送器7与电位高的部件控制器6内设置的光纤接收器8通过光纤连接，主计算机通讯板1的光纤发送器7和电位高的部件控制器6内设置的光纤接收器8通过光纤连接。
技术原理如图2所示，主计算机通讯板1通过光纤发送器7将控制信号和数据转换为光信号通过光纤9传送到部件控制器的光纤接收器8，光纤接收器8将接收到的光信号转换为电信号，实现对部件的控制。部件控制器的光纤发送器7将部件需要传送回去的数据和反馈信息转换为光信号通过光纤10传送到主计算机通讯板1的光纤接收器8，光纤接收器8将接收到的光信号转换为电信号，实现对部件的数据存储和反馈信息处理，从而实现对部件的闭环控制。部件控制器的另一对光纤接收器8和光纤发送器7通过光纤11和光纤12实现下一个部件的连接和控制。
权利要求1.应用于离子注入机中的光纤连接系统，由主计算机通讯板，低电位光纤系统，高电位光纤系统和光纤组成，其特征在于主计算机通讯板分别通过光纤与低电位光纤系统和高电位光纤系统连接。
2.根据权利要求1所述的应用于离子注入机中的光纤连接系统，其特征在于低电位光纤系统包括电位低的部件控制器，高电位光纤系统包括电位高的部件控制器。
3.根据权利要求1所述的应用于离子注入机中的光纤连接系统，其特征在于主计算机通讯板、低电位光纤系统的部件控制器、高电位光纤系统的部件控制器内都设置有光纤发送器和光纤接收器，光纤连接于光纤发送器和光纤接收器之间。
专利摘要本实用新型公开了一种应用于离子注入机中的光纤连接系统，由主计算机通讯板，低电位光纤系统，高电位光纤系统和光纤组成，其中主计算机通讯板分别通过光纤与低电位光纤系统和高电位光纤系统连接。低电位光纤系统包括电位低的部件控制器，高电位光纤系统包括电位高的部件控制器，本实用新型采用通讯板，使得数据的传输和处理速度大为提高，达到384Kbit/s，采用高速串行光纤网络，各个控制器之间没有电气连接，也与电势高低无关，大大增加了系统的稳定性和可靠性。
文档编号C23C14/48GK2914113SQ20062000818
公开日2007年6月20日 申请日期2006年3月17日 优先权日2006年3月17日
发明者王迪平, 谢均宇, 孙勇, 王玮琪 申请人:北京中科信电子装备有限公司