专利名称：新型电极盒的制作方法
技术领域：
本发明涉及电子设备和太阳能电池技术，尤其涉及一种用于真空镀膜机内的新型电极盒。
背景技术：
非晶硅太阳能电池是20多年来国际上新发展起来的一项太阳能电池新技术。非晶硅薄膜 太阳能电池的硅材料厚度只有1微米左右，是单晶硅太阳能电池硅材料厚度的1/200-1/300， 与单晶硅太阳能电池相比，制备这种薄膜所用硅原料很少，薄膜生长时间较短，设备制造简 单，容易大批量连续生产，根据国际上有关专家的估计，非晶硅薄膜太阳能电池是目前能大 幅度降低成本的最有前途的太阳能电池。
现有技术中，用于光伏组件规模制造的等离子体化学气相沉积真空设备，包括真空腔 以及电极盒等主要部件。 一个沉积电极盒包含多对射频电极，每对电极可以沉积4片太阳 电池，将预热完成的电极盒放入一个真空沉积腔室当中，在真空室里完成非晶硅薄膜太阳 电池的沉积，沉积完成后将电极盒取出进行冷却。
现有的制备玻璃镀膜材料的电极盒通常是立式电极盒，镀膜材料的基体采用玻璃基板， 玻璃基板装载在电极板上在真空腔内在各种气体的参与下完成镀膜，由于真空腔内粉尘和 湿度对所产生的产品质量影响很大，因而，在产品成本中，电极盒的制造费用和运行费用 占很大的比例。
现有技术所存在的缺点在于由于产品的生产环境的洁净度要求高，现有的电极盒结 构难以提高产品质量，生产高档产品。
因此，实有必要对现有的真空镀膜机内的电极盒做出改进以满足市场需求。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是提供一种非晶硅薄膜太阳能电池量产制造设备，提高生 产效率，降低成本。
为解决上述技术问题，本发明采用如下技术方案
二种新型电极盒，用于在真空镀膜机内对玻璃基板镀膜，所述电极盒上部设置有进气口， 下部设有排气口，进气口通过设有入气小孔矩阵的匀气板与电极盒内腔相通，排气口通过设 有出气小孔矩阵的基板与电极盒内腔相通，该电极盒内腔包括若干电极板、该电极板上端与 匀气板垂直连接，电极板下端与基板垂直连接，其中，所述电机盒进一步包括安装于匀气板 与基板之间且与电极板平行的辅助隔热板，所述辅助隔热板分别位于若干电极板两侧，所述
匀气板、辅助隔热板及基板围成一个框体。
作为本发明的优选方案之一，所述电极板、匀气板、辅助隔热板及基板由铝合金材料制成。
作为本发明的优选方案之一，所述电极板包括多对阴极板和阳极板，阳极板为相邻两个 阴极板共用。
作为本发明的优选方案之一，所述匀气板、基板及两侧的辅助隔热板构成电磁屏蔽。 作为本发明的优选方案之一，所述阴极板接射频电源，阳极板接地，阴极板与射频电源
之间采用铜导线或镀银铜导线连接。
作为本发明的优选方案之一，阴极板上与铜导线或镀银铜导线连接的位置表面设有镀镍层。
作为本发明的优选方案之一，在铝合金电极板上与玻璃基板接触的表面设硬阳极化膜。 与现有技术相比，本发明的有益效果在于-
1. 两侧加辅助隔热板，保证中间的电极板不受外界温度梯度的影响而产生变形；
2. 电极板、匀气板、辅助隔热板及基板由同种铝合金材料制成，在温度循环时各零件的膨 胀系数相同，无整体变形，从而保证电极板之间的平行度；
3. 匀气板与基板上开了均匀气流的入气小孔矩阵，使得气体均匀进入每一对电极，气体在 整个玻璃的长度方向上均匀。
4. 镀膜室上部的匀气板，下部的基板，两端的盖板构成了电磁屏蔽，保证射频电源不产生杂 散干扰，
5. 在铝合金电极板的局部表面镀镍，保证与铜导线之间电气接触的稳定可靠。
6. 在铝合金电极板上与玻璃基板接触的表面设硬阳极化膜，保证电极板的耐用性。
图1是本发明新型电极盒示意图； 图2是本发明新型电极盒入气排气示意图； 图3是本发明新型电极盒的电磁屏蔽示意图； 图4是本发明新型电极盒的阴极板与射频导线连接示意图。
具体实施例方式
下面结合附图对技术方案的实施作进一步的详细描述 请参阅图1所示的新型电极盒示意图。
本发明涉及一种新型电极盒，所述电极盒上部设置有进气口，下部设有排气口，进气口
通过设有入气小孔矩阵的匀气板与电极盒内腔相通，保证气体均匀进入电极盒内腔，随后均 匀进入每一对电极，使得气体在整个玻璃的长度方向上均匀。
排气口通过设有出气小孔矩阵的基板与电极盒内腔相通，保证气体均匀排出电极盒内腔， 保证气体在每一对电极之间的均匀。
该电极盒内腔包括若干电极板、该电极板上端与匀气板垂直连接，电极板下端与基板垂 直连接，所述电机盒进一步包括安装于匀气板与基板之间且与电极板平行的辅助隔热板，所 述辅助隔热板分别位于若干电极板两侧。电极板两侧加辅助隔热板，保证中间的电极板不受外 界温度梯度的影响而产生变形。
所述匀气板、辅助隔热板及基板围成一个框体。所述电极板、匀气板、辅助隔热板及基 板由铝合金材料制成，在温度循环时不变形，从而保证电极板之间的平行度。由于铝合金表面 容易在高温下氧化，使得与铜导线之间的接触电阻变大，所以阴极板上与铜导线或镀银铜导线 连接的位置的铝合金表面设有镀镍层保证与铜导线或镀银铜导线之间电气接触的稳定可靠。
所述电极板包括阴极板和阳极板，阳极板为相邻两个阴极板共用。所述匀气板、基板及 两侧的辅助隔热板构成电磁屏蔽。保证射频电源不产生杂散干扰。 本发明的有益效果在于
1. 两侧加辅助隔热板，保证中间的电极板不受外界温度梯度的影响而产生变形；
2. 电极板、匀气板、辅助隔热板及基板由铝合金材料制成，在温度循环时不变形，从而保 证电极板之间的平行度；
3. 匀气板与基板上开了均匀气流的入气小孔矩阵，使得气体均匀进入每一对电极，气体在 整个玻璃的长度方向上均匀。
4. 镀膜室上部的匀气板，下部的基板，两侧的辅助隔热板及两端的盖板构成电磁屏蔽，保 证射频电源不产生杂散干扰，
5. 在铝合金的局部表面化学镀镍，保证与铜导线之间电气接触的稳定可靠。
6. 在铝合金电极板上与玻璃基板接触的表面设硬阳极化膜，保证电极板的耐用性。 以上实施例仅用以说明而非限制本发明的技术方案，不脱离本发明精神和范围的特征均
应涵盖在本发明的专利申请范围当中。
权利要求
1. 一种新型电极盒，用于在真空镀膜机内对玻璃基板镀膜，所述电极盒上部设置有进气口，下部设有排气口，进气口通过设有入气小孔矩阵的匀气板与电极盒内腔相通，排气口通过设有出气小孔矩阵的基板与电极盒内腔相通，该电极盒内腔包括若干电极板、该电极板上端与匀气板垂直连接，电极板下端与基板垂直连接，其特征在于所述电机盒进一步包括安装于匀气板与基板之间且与电极板平行的辅助隔热板，所述辅助隔热板分别位于若干电极板两侧，所述匀气板、辅助隔热板及基板围成一个框体。
2. 如权利要求1所述的新型电极盒，其特征在于所述电极板、匀气板、辅助隔热板及 基板由铝合金材料制成。
3. 如权利要求1所述的新型电极盒，其特征在于所述电极板包括多对阴极板和阳极板， 阳极板为相邻两个阴极板共用。
4. 如权利要求l所述的新型电极盒，其特征在于所述匀气板、基板及两侧的辅助隔热 板构成电磁屏蔽。
5. 如权利要求3所述的新型电极盒，其特征在于所述阴极板接射频电源，阳极板接地， 阴极板与射频电源之间采用铜导线或镀银铜导线连接。
6. 如权利要求5所述的新型电极盒，其特征在于阴极板上与铜导线或镀银铜导线连接的位置表面设有镀镍层。
7. 如权利要求2所述的新型电极盒，其特征在于在铝合金电极板上与玻璃基板接触的 表面设硬阳极化膜。
全文摘要
一种新型电极盒，用于真空镀膜机内。所述电极盒上部设置有进气口，下部设有排气口，进气口通过设有入气小孔矩阵的匀气板与电极盒内腔相通，排气口通过设有出气小孔矩阵的基板与电极盒内腔相通，该电极盒内腔包括若干电极板、该电极板上端与匀气板垂直连接，电极板下端与基板垂直连接，其特征在于所述电机盒进一步包括安装于匀气板与基板之间且与电极板平行的辅助隔热板，所述辅助隔热板分别位于若干电极板两侧，所述匀气板、辅助隔热板及基板围成一个框体。被镀膜的玻璃基板平行放置并覆盖各个电极板的两主平面。本发明新型电极盒极大的提高了在玻璃基板上沉积薄膜的质量。
文档编号C23C16/44GK101376966SQ20081020066
公开日2009年3月4日 申请日期2008年9月27日 优先权日2008年9月27日
发明者奚建平, 李茂程, 金小亮 申请人:上海曙海太阳能有限公司;曙光控股集团有限公司