专利名称：镀膜机防屑型抽真空口结构的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种真空镀膜机或类似设备，具体地说是一种镀 膜机防屑型抽真空口结构。
技术背景目前现有的镀膜机腔体内原有的抽真空口结构一般均采用在孔口 加一层金属丝网作防护，该结构的不足之处是小颗粒易进入，且降低抽真空速度约15%，如金属丝网破损将导致较大颗粒状物体被吸或直 接掉落至分子泵高速旋转的叶片上，造成分子泵严重损坏。 发明内容本实用新型的目的则是针对上述现有技术的不足，提供一种可将 颗粒异物挡住，同时不降低抽真空速率的镀膜机防屑型抽真空口结构。 本实用新型的技术方案如下一种镀膜机防屑型抽真空口结构，包括有真空腔体，高抽真空管 的上端口位于真空腔体的底部并与其连通，其特征是高抽真空管的上 端口装有固定挡圈，固定挡圈上套有拔插式防护罩。所述拔插式防护罩的内环套在固定挡圈上，拔插式防护罩的外壳 下沿低于内环上沿。本实用新型的有益效果为可有效防止颗粒异物进入抽真空口损 坏分子泵，且不影响抽真空速率，拔插式结构也便于维护清洁。
图1为本实用新型的结构示意图。图2为图1中B部位的局部放大图。 图3为本实用新型拔插式防护罩的结构示意图。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型作进一步地说明如图1-3所示，本实用新型包括有真空腔体1，高抽真空管4的上 端口位于真空腔体1的底部并与其连通，高抽真空管4的上端口装有 固定挡圈2，拔插式防护罩3的内环6套在固定挡圈2上，可挡住颗 粒异物从高抽真空管4上端口滚入高抽真空管4内。拔插式防护罩3 的外壳可挡住颗粒异物从上方掉入高抽真空管4。拔插式防护罩3的 外壳5下沿低于内环6上沿，使侧面来的颗粒异物也无法进入高抽真 空管4。本实用新型采用了拔插式防护罩3则不需在抽真空口安装金 属丝网，且安装后的拔插式防护罩3的有效通径大于高抽真空管4的 端口直径，因此不会降低抽真空速率。
权利要求1、一种镀膜机防屑型抽真空口结构，包括有真空腔体(1)，高抽真空管(4)的上端口位于真空腔体(1)的底部并与其连通，其特征是高抽真空管(4)的上端口装有固定挡圈(2)，固定挡圈(2)上套有拔插式防护罩(3)。
2、 根据权利要求1所述的镀膜机防屑型抽真空口结构，其特征是 所述拔插式防护罩(3)的内环(6)套在固定挡圈(2)上，拔插式防 护罩(3)的外壳(5)下沿低于内环(6)上沿。
专利摘要本实用新型针对现有的镀膜机抽真空口的金属丝防护网结构易进入颗粒且降低抽真空速率的不足，提供了一种可将颗粒异物挡住同时还不降低抽真空速率的镀膜机防屑型抽真空口结构，它包括有真空腔体(1)，高抽真空管(4)的上端口位于真空腔体(1)的底部并与其连通，其特征是高抽真空管(4)的上端口装有固定挡圈(2)，拔插式防护罩(3)的内环(6)套在固定挡圈(2)上，拔插式防护罩(3)的外壳(5)下沿低于内环(6)上沿。本实用新型可有效防止颗粒异物进入抽真空口损坏分子泵，且不影响抽真空速率，拔插式结构也便于维护清洁。
文档编号C23C14/56GK201217689SQ200820040029
公开日2009年4月8日 申请日期2008年7月18日 优先权日2008年7月18日
发明者张远翔 申请人:泰艺电子(南京)有限公司