专利名称：蒸镀设备干燥水导入系统的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种控制氢气含量装置系统，特别涉及一种蒸镀设备干燥水导入系统。
背景技术：
蒸镀设备在使用过程中由于耙材的蒸发或者外界流通后其他各种气体的含量会逐渐 增加，对于某些制品某些气体的含量增大会影响到制品品质。
对于气体含量不是人为就可以轻易控制的，耙材的元素构成了其物理特性，被蒸发出 气体的含量基本是成比例的，就目前而言，要使得蒸镀设备整体在真空条件下运转还是有 一定难度的，对于操作和投资成本也都不利，所以设备由于制品的进出会带进大量大气中 各种气体，这样，在蒸镀范围内就会有许多种气体含量会不断增大，对品质产生一定影响。
本设备由于制品需要主要控制的是氢气含量，氢气含量的过小或者过大直接影响到产 品特性，所以控制目标是使得氢气的含量达到稳定状态。氢气的来源主要有两方面， 一是 大气，另一种来源是水在经过电子枪轰击后被电离成氢气和氧气。我们无法控制大气，唯 一的方式是减少设备腔室中水的含量。 水的主要来源 一，耙材；
二，制品搬运器附着水份。
耙材在使用前已经培烧处理过，大部分的水份已经烘干，但是其培烧温度远远低于电 子枪给予的温度，所以还是会有水份被蒸发出来。但是这种方式由于培烧设备及材料的限 制将很难被改变。
制品搬运器在投入开始是经过洗净厂家干燥处理过的，所以设备腔室内起始的氢气含 量是比较低的，但是太低了往往会使得制品发生不良；搬运器由于在高温状态下连续经过 设备内会附着大部分膜厚，在大气中经过后会吸附大量水份，再次经过腔室中由于高温又 会大量释放，所以设备腔室中水份会不断增加，到达一定的程度又会产生不良影响品质， 我们只有通过不断的更换制品搬运器或者其部件来减少水份的带入，这样不但使得生产连
续性不强而减少产量，而且部件的洗净成本也相应增多。
一种有效控制蒸镀设备腔室中水含量，进而控制氢气的系统是我们目前需解决的问题。
发明内容
为解决现有技术中存在的问题，本实用新型提供一种有效控制氢气含量的蒸镀设备干 燥水导入系统。
本实用新型可通过以下技术方案予以实现
蒸镀设备干燥水导入系统，包括蒸镀腔室，还包括一纯水气化单元、 一纯水供给单元， 纯水供给单元通过导管与纯水气化单元相连，纯水气化单元通过管道与蒸镀腔室相连，管
道上安装有流量控制器。
本实用新型所述的流量控制器与蒸镀腔室之间的管道上安装有手动阀门。 本实用新型所述的纯水气化单元与流量控制器之间的管道上安装有手动阀门。 本实用新型还包括一除湿机，其通过管道与蒸镀腔室外相连。 本实用新型所述蒸镀腔室四壁分别贴有磁性密封条。
由于采用以上技术方案，本实用新型既可通过降低高温蒸镀时释放水份以减少氢气含 量的增大，也能够在刚投入制品开始较干燥的时候增加水份从而使得氢气含量达到工艺范 围内立刻进行生产，可以增加大量生产时间与减少生产成本，大大提高生产效率；水导入 系统可以通过控制面板简单的人为操作，对于高科技精确控制也可以通过程序以氢气含量 为标准自动进行水导入量的控制。
图l本实用新型结构图。
具体实施方式
下面根据附图对本实用新型作进一步描述
如图1所示，蒸镀设备干燥水导入系统，包括蒸镀腔室l， 一纯水气化单元2、 一纯水
供给单元3，纯水供给单元3通过导管与纯水气化单元2相连，纯水气化单元2通过管道 与蒸镀腔室l相连，管道上安装有流量控制器4，流量控制器4与蒸镀腔室1之间的管道 上安装有手动阀门6，纯水气化单元2与流量控制器4之间的管道上安装有手动阀门7，蒸
镀腔室1四壁分别贴有磁性密封条5，使蒸镀腔室1与大气隔绝。安装的大型除湿机，在 设备顶部通入露点温度约一5(TC的干燥风，风量约为6000CMH，在设备底部接回风管循环 使用。这样，在干燥的环境内就能够有效控制制品搬运器在设备腔室外吸入大量水份，从 而降低高温蒸镀时释放水份以减少氢气含量的增大。 本实用新型具体的操作过程为
1. 蒸镀设备停止时在纯水供给系统中加入纯水
2. 打开除湿机对设备进行干燥，设置露点温度在一5(TC，待各处露点稳定后启动设备 稳定时间约为2小时(根据设备大小而定)
3. 设备启动后观察氢气含量，在投入制品初期比较干燥，氢气分压不足3.0E-10Pa的 情况下利用操作面板向皿腔室中充入水蒸汽，知道设备腔室中氢气分压到达 3.0E-10Pa稳定为止。
4. 在生产过程中监控氢气分压，当分压超过5.0E-10Pa时减小充入水蒸汽，直到在分 压范围内为止，以此反复。
5. 当充入水蒸汽量为Osccm时，氢气分压仍然超过5.0E-10Pa，说明制品搬运器本身所 带水份己经很多，更换制品搬运器，重新进行控制生产。
6. 当供水系统报警，说明纯水已经用完，待设备停止后重新加入再进行生产。
权利要求1.蒸镀设备干燥水导入系统，包括蒸镀腔室，其特征在于，还包括一纯水气化单元、一纯水供给单元，纯水供给单元通过导管与纯水气化单元相连，纯水气化单元通过管道与蒸镀腔室相连，管道上安装有流量控制器。
2、 根据权利要求1所述的蒸镀设备干燥水导入系统，其特征在于，所述的流量控制器与蒸 镀腔室之间的管道上安装有手动阀门。
3、 根据权利要求2所述的蒸镀设备干燥水导入系统，其特征在于，所述的纯水气化单元与 流量控制器之间的管道上安装有手动阀门。
4、 根据权利要求1所述的蒸镀设备干燥水导入系统，其特征在于，还包括一除湿机，其通 过管道与蒸镀腔室外相连。
5、 根据权利要求4所述的蒸镀设备干燥水导入系统，其特征在于，所述的前蒸镀腔室四壁 分别贴有磁性密封条。
专利摘要本实用新型公开一种蒸镀设备干燥水导入系统，包括蒸镀腔室、一纯水气化单元、一纯水供给单元，纯水供给单元通过导管与纯水气化单元相连，纯水气化单元通过管道与蒸镀腔室相连，管道上安装有流量控制器。本实用新型既可通过降低高温蒸镀时释放水份以减少氢气含量的增大，也能够在刚投入制品开始较干燥的时候增加水份从而使得氢气含量达到工艺范围内立刻进行生产，可以增加大量生产时间与减少生产成本，大大提高生产效率；水导入系统可以通过控制面板简单的人为操作，对于高科技精确控制也可以通过程序以氢气含量为标准自动进行水导入量的控制。本实用新型能有效控制蒸镀设备内的氢气含量，有效提高生产效率和产品质量。
文档编号C23C14/24GK201195745SQ20082005464
公开日2009年2月18日 申请日期2008年1月11日 优先权日2008年1月11日
发明者庭 盛 申请人:上海松下等离子显示器有限公司