专利名称：渐层薄膜厚度的真空镀膜装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种真空镀膜装置，尤指一种形成渐层薄膜厚度的真空镀 膜装置。
背景技术：
请参照图6与图7所示，现有的连续式真空镀膜装置是使复数被镀物90利 用载具在一溅镀腔体70中进行直线前进运动，所述的溅镀腔体70中另装备有 一溅镀源80，而使被镀物90在所述的賊镀腔体70中直线前进时可面对所述的 溅镀源80的表面，进而使所述的濺镀源80的分子可镀覆在所述的被镀物90的 表面，并在被镀物90的表面形成薄膜81,如图8所示。
然而，由于现有真空镀膜装置其溅镀源80表面与被镀物90表面形成等距 离配置，因此当溅镀源80所提供的靶材分子镀覆在被镀物90表面时，被镀物 90表面所形成的薄膜81是厚度一致。当薄膜81厚度一致时，则被镀物90表面 所呈现的色泽与透光性也为一致而没有变化，此时被镀物90表面所呈现的外观 质感则较为单调。
发明内容
有鉴于利用现有真空镀膜装置加工处理的被镀物表面的外观质感较为单 调，本实用新型的主要目的在于提供一种形成渐层薄膜厚度的真空镀膜装置， 其可使被镀物表面产生渐层变化的光泽或透光性。
为达成以上的目的，本实用新型的形成渐层薄膜厚度的真空镀膜装置是包
括
一溅镀腔体；
一传动系统，其设置在所述的溅镀腔体的内部并包含一载具，所述的载具 能够在所述的溅镀腔体的内部直线前进，所述的载具的顶面设有至少一个支撑 件，所述的至少一个支撑件设有一固持部；以及一溅镀源，其设置在所述的溅镀腔体的内部一侧，所述的溅镀源具有一靶 材料，所述的靶材料具有一表面，所述的靶材料表面与所述的至少一个支撑件 的固持部直线前进时所画出的平面是呈一不等距离的配置。
较佳的是，所述的至少一个支撑件的固持部直线前进时所画出的平面是垂 直于所述的载具的顶面，所述的靼材料的表面是倾斜于所述的载具的顶面。
较佳的是，所述的至少一个支撑件的固持部直线前进时所画出的平面是倾 斜于所述的载具的顶面，所述的乾材料的表面是垂直于所述的载具的顶面。
较佳的是，所述的传动系统是进一步包含两轮轴固定座、复数轮轴以及一 传动马达，所述的两轮轴固定座是分别设置在所述的溅镀腔体内部的两侧，所 述的复数轮轴是可转动地间隔设置在所述的两轮轴固定座上，且相邻的轮轴是 以一结合件相互连接，各轮轴的两端分别设有一滚轮，所述的传动马达是及其 中一轮轴结合而可驱动各轮轴转动，所述的载具设置在各轮轴的滚轮上。
较佳的是，所述的结合件是一链条或皮带。
本发明另包含一种形成渐层薄膜厚度的真空镀膜装置，其是包括 一溅镀腔体；
一传动系统，其设置在所述的溅镀腔体的内部并包含一载具，所述的载具 能够在所述的溅镀腔体的内部直线前进；以及
一溅镀源，其设置在所述的溅镀腔体的内部一侧，所述的溅镀源具有一靶 材料，所述的靶材料具有一表面，所述的靶材料表面与所述的载具的顶面是呈 一不等距离的配置。
较佳的是，所述的靶材料表面是倾斜于所述的载具的顶面。
与现有技术相比较，采用上述技术方案的本实用新型具有的优点在于本 实用新型由于是使靶材料表面与所述的至少一个支撑件的固持部直线前进时所 画出的平面形成不等距离的配置，或是使靶材料表面直接与载具顶面形成不等 距离的配置，因此当固持部夹持一被镀物或是使被镀物直接放置在载具的顶面 时，被镀物表面也与靶材料表面形成不等距离的配置，当被镀物随载具在溅镀 腔体中直线前进以镀上靶材料分子时，被镀物表面可形成一厚度不一致的渐层 薄膜，此薄膜由于其厚度的变化可产生光泽与透光度渐层改变效果，因此可赋 予被镀物表面多变的外观装饰，提高被镀物的外观质感。
图1是本实用新型较佳实施例的侧视示意图； 图2是本实用新型较佳实施例的上视示意图3是被镀物表面利用本实用新型较佳实施例形成薄膜后的剖面示意图； 图4是本实用新型另一较佳实施例的側视示意图； 图5是本实用新型另一较佳实施例的上视示意图； 图6是现有真空镀膜装置的侧视示意图； 图7是现有真空镀膜装置的上视示意图8是被镀物表面利用现有真空镀膜装置形成薄膜后的剖面示意图。 附图标记说明10-溅镀腔体；20-传动系统；21-轮轴固定座；22-导轨；23-轮轴；231-滚轮；24-传动马达；25-载具；25A-载具；251-顶面；251A-顶面； 252-支撑件；252A-支撑件；253-固持部；253A-固持部；30-溅镀源；30A-溅镀 源；31-靶材料；31A-靶材料；311-表面；311A-表面；312-薄膜；40-#:镀物； 40A-被镀物；41-表面；41A-表面；70-溅镀腔体；80-濺镀源；81-薄膜；卯-被镀 物。
具体实施方式
请参照图1、图2与图3所示，本实用新型的较佳实施例是包括一溅镀腔体 10、 一设置在所述的'减镀腔体10中的传动系统20以及一设置在所述的溅镀腔 体10中的濺镀源30,其中；
所述的溅镀腔体10的前后两端是分别设置有一开口 ，而可容许物品通过所 述的'践镀腔体10;
所述的传动系统20是可带动物品前进以通过所述的溅镀腔体10的内部， 其可包含两轮轴固定座21、两导轨22、复数轮轴23、 一传动马达24以及一载 具25，所述的两轮轴固定座21是分别设置在所述的濺镀腔体10内部的两側， 所述的两导轨22是分别设置接近于所述的两轮轴固定座21的外侧，所述的复 数轮轴23是可转动地间隔设置在所述的两轮轴固定座21上，且相邻的轮轴23 是以一结合件如链条或皮带相互连接，而使一轮轴23转动时可带动相邻的轮轴 23旋转，各轮轴23的两端分別设有一滚轮231,所述的传动马达24是及其中 一轮轴231结合而可驱动各轮轴23转动，所述的栽具25设置在各轮轴23的滚 轮231上，而使滚轮231转动时可带动所迷的载具25直线前进，所述的载具25 的顶面251设有至少一个支撑件252,所迷的至少一个支撑件252设有一固持部
6253以夹持固定一被镀物40，在本较佳实施例中，所述的至少一个支撑件252 的固持部253直线前进时所画出的平面是垂直于所述的载具25的顶面251;
所述的溅镀源30设置在所述的賊镀腔体10内部的一侧，所述的賊镀源30 具有一靶材料31,所述的靶材料31具有一表面311，所述的靶材料31表面311 与所述的至少一个支撑件252的固持部253直线前进时所画出的平面(即固持 部253直线前进时所经过的平面)是呈一不等距离的配置，在本较佳实施例中， 所述的靶材料31的表面311是倾斜于所述的载具25的顶面251。
当使用本较佳实施例的装置进行真空镀膜作业时，是使所述的至少 一个支 撑件252的固持部上夹持固定一被镀物40,传动系统20即可带动所述的被镀物 40在所述的践镀腔体10的内部直线前进，当被镀物40通过所述的溅镀源20而 面对所述的靶材料31的表面311时，；故镀物40表面41与所述的靶材料30表 面是呈现不等距离的配置，所述的不等距离配置的延伸方向是与所述的被镀物 40的前进方向垂直。请进一步参照图3所示，当镀覆所述的靶材料30的分子在 所述的纟皮镀物40表面41时，由于所述的被镀物40表面41是与所述的扭材料 30表面311维持不等距离的配置，因此所述的被镀物40表面41是形成一厚度 不一致的薄膜312,距离越大处所形成的薄膜312厚度越小。由于各种金属靶材 料或具有光学特性的靶材料在形成厚度不一致的薄膜时，薄膜会具有色泽上或 透光率的渐层变化效果，因此利用本较佳实施例的装置可应用于制造许多电子 器材外壳上的外观渐层镀膜装饰，甚至是不导电渐层式薄膜。
请进一步参照图4与图5所示，在另一较佳实施例中，所述的至少一个支 撑件252A的固持部253A直线前进时所画出的平面是倾斜于所述的栽具25A的 顶面251A,所迷的耙材料31A的表面311A是垂直于所述的载具25A的顶面
不等距离的配置，进而在被镀物40A表面41A形成厚度不一致的渐层薄膜。
本实用新型的又一较佳实施例是使所述的载具顶面不设有支撑件，而使被 镀物直接放置在所述的载具的顶面，此时是使所述的靶材料表面与所述的载具 的顶面是呈一不等距离的配置，例如使所述的靶材料表面是倾斜于所述的载具 的顶面，因此被镀物置在载具顶面后，被镀物表面与所述的耙材料表面仍呈现 不等距离的配置，因此可在被镀物表面镀覆厚度不一致的渐层薄膜。
以上说明对本实用新型而言只是说明性的，而非限制性的，本领域普通技术 人员理解，在不脱离权利要求所限定的精神和范围的情况下，可作出许多修改、 变化或等效，但都将落入本实用新型的保护范围之内。
权利要求1. 一种形成渐层薄膜厚度的真空镀膜装置，其特征在于，其包括一溅镀腔体；一传动系统，其设置在所述的溅镀腔体的内部并包含一载具，所述的载具能够在所述的溅镀腔体的内部直线前进，所述的载具的顶面设有至少一个支撑件，所述的至少一个支撑件设有一固持部；以及一溅镀源，其设置在所述的溅镀腔体的内部一侧，所述的溅镀源具有一靶材料，所述的靶材料具有一表面，所述的靶材料表面与所述的至少一个支撑件的固持部直线前进时所画出的平面是呈一不等距离的配置。
2. 根据权利要求1所述的形成渐层薄膜厚度的真空镀膜装置，其特征在于: 所述的至少一个支撑件的固持部直线前进时所画出的平面是垂直于所述的载具 的顶面，所述的靶材料的表面是倾斜于所述的载具的顶面。
3. 根据权利要求1所述的形成渐层薄膜厚度的真空镀膜装置，其特征在于: 所述的至少一个支撑件的固持部直线前进时所画出的平面是倾斜于所述的载具 的顶面，所述的把材料的表面是垂直于所述的载具的顶面。
4. 根据权利要求1至3中任一项所述的形成渐层薄膜厚度的真空镀膜装置, 其特征在于所述的传动系统是进一步包含两轮轴固定座、复数轮轴以及一传 动马达，所述的两轮轴固定座是分别设置在所迷的賊镀腔体内部的两侧，所述 的复数轮轴是可转动地间隔设置在所述的两轮轴固定座上，且相邻的轮轴是以 一结合件相互连接，各轮轴的两端分别设有一滚轮，所述的传动马达是及其中 一轮轴结合而可驱动各轮轴转动，所迷的载具设置在各轮轴的滚轮上。
5. 根据权利要求4所述的形成渐层薄膜厚度的真空镀膜装置，其特征在于: 所述的结合件是一链条。
6. 根据权利要求4所述的形成渐层薄膜厚度的真空镀膜装置，其特征在于: 所述的结合件是一皮带。
7. —种形成渐层薄膜厚度的真空镀膜装置，其特征在于，其包括 一賊镀腔体；一传动系统，其设置在所述的賊镀腔体的内部并包含一载具，所述的载具 能够在所述的溅镀腔体的内部直线前进；以及一溅镀源，其i殳置在所述的溅镀腔体的内部一侧，所述的溅镀源具有一輩巴材料，所述的靶材料具有一表面，所述的靶材料表面倾斜于所述的载具的顶面。
8. 根据权利要求7所述的形成渐层薄膜厚度的真空镀膜装置，其特征在于: 所述的传动系统是进一步包含两轮轴固定座、复数轮轴以及一传动马达，所述 的两轮轴固定座是分别设置在所述的'践镀腔体内部的两侧，所述的复数轮轴是 可转动地间隔设置在所述的两轮轴固定座上，且相邻的轮轴是以一结合件相互 连接，各轮轴的两端分别设有一滚轮，所述的传动马达是及其中一轮轴结合而 可驱动各轮轴转动，所述的载具设置在各轮轴的滚轮上。
9. 根据权利要求8所述的形成渐层薄膜厚度的真空镀膜装置，其特征在于: 所述的结合件是一链条。
专利摘要本实用新型是一种形成渐层薄膜厚度的真空镀膜装置，其是包含一溅镀腔体、一传动系统以及一溅镀源，所述的传动系统设置在所述的溅镀腔体的内部并包含一载具，所述的载具是可在所述的溅镀腔体的内部直线前进，所述的载具的顶面设有至少一个支撑件，所述的至少一个支撑件设有一固持部，所述的溅镀源设置在所述的溅镀腔体的内部一侧，其具有一靶材料，所述的靶材料表面与所述的至少一个支撑件的固持部直线前进时所画出的平面是呈一不等距离的配置，如此当固持部夹持固定一被镀物以进行镀覆靶材料时，可在被镀物表面形成厚度不一致渐层薄膜。
文档编号C23C14/34GK201254600SQ20082012785
公开日2009年6月10日 申请日期2008年7月22日 优先权日2008年7月22日
发明者李原吉, 林忠炫 申请人:德胜真空科技股份有限公司