专利名称：具有半圆形门板的立式溅镀设备的制作方法
技术领域：
本实用新型是一种具有半圆形门板的立式溅镀设备，其特别是关于一种可将溅 镀阴极设置于能进行开闭的半圆形门板上，以便溅镀靶材装卸溅镀设备。
背景技术：
真空溅镀技术是真空薄膜制程中应用层面相当广泛的一项重要技术，近年来已 经逐渐取代喷导电漆或电解电镀等方式，大量地应用在光电、通信、半导体等产业， 成为相当重要的表面处理技术。
一般而言，真空溅镀设备可依照其溅镀靶材的设置方式而区分为立式溅镀设备
及卧式溅镀设备，其中，现有技术的立式溅镀设备的溅镀靶材是设置于该溅镀设备 的腔体中央位置，当该溅镀靶材需要更换时，作业人员需要利用机具从该腔体的上 方将溅镀阴极吊取出来，再进一步将溅镀靶材予以更换，更换完毕后，仍必须再使 用机具的辅助将溅镀阴极置回该腔体中央，然而，溅镀阴极的吊取过程相当不便， 倘若溅镀阴极是以置放于该溅镀设备的门板内侧的方式取代设置于腔体内部中央的 方式，则其需要更换时，仅需打开门板更换即可，如此将可省却更换过程的不便。
再者，目前现有技术溅镀设备的门板是为一长方体的构造，是由六片金属板体 所构成，其具有相当的重量并且应力是集中于该门板的角落，造成门板开合支点承
受较大的重力负担，此外，由于该门板的长方体构造具有一定的厚度，于门板开启 时，由于门板边会抵顶到门板的开合支点位置，将使得该门板的开合角度受到限制 而造成作业不便。
实用新型内容
本实用新型的创作人，鉴于现有技术立式溅镀设备的溅镀靶材更换不易以及其 门板结构造成作业不便的缺失，所以投注心力研发出本实用新型的溅镀设备，以期 解决上述问题。
本实用新型的主要目的在于提供一种具有半圆形门板的立式溅镀设备，其特别 是关于一种可将溅镀阴极设置于能进行开闭的半圆形门板上，以便溅镀靶材装设、 卸除溅镀设备。
为达到上述目的，本实用新型是采取以下的技术手段予以达成，其中本实用新 型的立式溅镀设备包括有-
一溅镀腔体，其内部设有治具设置部且至少一侧之一边设有门板转轴设置部， 相对于该门板转轴设置部之一边则设有挡止部；半圆形门板，系枢设于该溅镀腔体之门板转轴设置部，其面对该溅镀腔体之一侧具有一开口且内部具有溅镀阴极设置 部；门板闭锁单元，系设置于该半圆形门板对应于该挡止部的位置；该半圆形门板 具有枢设于该门板转轴设置部的转轴与门板连接部；该门板闭锁单元是包括一压制 块、 一固接于该压制块的转轴以及一固接于该转轴异于该压制块的一端的控制杆； 该压制块是为一具有水平切面及圆弧面的半圆形块体，并且其圆弧面具有一倾斜部； 该挡止部是为具有一长边及一短边的L型块体，其短边是对应于该倾斜部。
通过上述的结构，可将溅镀阴极设置于该半圆形门板的内部，当溅镀靶材需要 更换时，仅需开启该半圆形门板并自该半圆形门板的开口取出该溅镀阴极，接着进 行溅镀靶材的更换即可，再者，该门板是为半圆形的构造，在结构上仅需要三片金 属板体即可构成，相较于现有技术立式溅镀设备的门板，不仅门板本身重量减轻， 亦可降低装置成本，此外，采用半圆形的构造，不仅其应力较为分散，更可加大门 板开合的角度，以利该溅镀阴极的取放以及溅镀靶材的更换。
图1是本实用新型的关闭状态俯视图。 图2是本实用新型的开启状态俯视图。 图3是本实用新型的门板闭锁单元的局部放大图。 图4是本实用新型门板闭锁单元于开启状态的示意图。 图5是本实用新型的门板闭锁单元于关闭状态的示意图。主要组件符号说明
(I) 具有半圆形门板的立式溅镀设备
(II) 溅镀腔体 (111)治具设置部 (112)门板转轴设置部 (113)挡止部
(12) 门板 (121)转轴 (122)门板连接部(123)开口 (124)溅镀阴极设置部 (125)延伸部
(13) 门板闭锁单元 (131)压制块 (1311)水平切面(1312)圆弧面 (1313)倾斜部 (132)转轴 (133)控制杆
具体实施方式
如图1及图2所示，本实用新型具有半圆形门板的立式溅镀设备(1 )包括有 一溅镀腔体(11)，该溅镀腔体(11)内部的中央位置是设有一治具设置部(1
41 1 )，该溅镀腔体(11)相对的二侧的对应边上各设有二门板转轴设置部(1 1
2 )，而相对于该门板转轴设置部(112)的一边则设有一挡止部(113); 二 半圆形门板(12)，是分别以转轴(121)以及门板连接部(122)枢设于该 二门板转轴设置部(112)，其面对该溅镀腔体(11)的一侧具有一开口 ( 1 2
3 )且内部凹设的容置空间各设有三溅镀阴极设置部(12 4); 二门板闭锁单元 (13)，是分别设置于该二半圆形门板(12)上对应于该挡止部(1 1 3 )的位置。
其中，该半圆形门板(12)的二相对边均设有延伸部(125)，该门板连接 部(1 2 2 )是固接于该延伸部(12 5)以连接该半圆形门板(12)与该溅镀 腔体(1 1 );该门板闭锁单元(13)则设置于另一延伸部(125)上以搭配该 挡止部(113)将该半圆形门板(12)予以闭锁。
请参考图1、图3及图4，该设置于溅镀腔体(11)上的挡止部(1 1 3 )于 俯视之下是呈一L型块体，该L型块体具有一长边及一短边，该门板闭锁单元(1 3 )是包括一压制块(13 1)、 一固接于该压制块(131)的转轴(1 3 2 )以 及一固接于该转轴(13 2)异于该压制块(131)的一端的控制杆(133)， 其中，该压制块(13 1)是为一具有水平切面(13 11)及圆弧面(13 12) 的半圆形块体，并且其圆弧面(13 12)具有一倾斜部(1313)。
请再参考图1至图5，该具有半圆形门板的立式溅镀设备(1 )是将装载待溅镀 工件的治具设置于该溅镀腔体(11)中央的治具设置部(111)，溅镀阴极则设
置于该半圆形门板(12)的溅镀阴极设置部(1 2 4)中，本实用新型具有半圆 形门板的立式溅镀设备(1 )是采取二侧开门的方式，因此二侧的半圆形门板(1 2)均装设有溅镀阴极，以提升待镀工件的镀膜均匀度，此外，由于该半圆门板(l 2)二侧的圆弧形结构使其在开合的过程中不会抵顶到门板开合支点位置，因而可 加大其开合角度。
使用本实用新型具有半圆形门板的立式溅镀设备(1 )进行真空溅铍制程时， 若溅镀靶材用罄需要更换，仅需要操控该门板闭锁单元(13)的控制杆(133) 使该转轴(13 2)转动，以带动该压制块(131)旋转，当该压制块(131) 旋转至该水平切面(13 11)面对于该挡止部(1 1 3 )时，即可开启该半圆形 门板(12)，并且直接从该半圆形门板(12)上拆卸溅镀阴极并将溅镀阴极经由 该开口 (12 3)取出，继而进行溅镀靶材的更换，接着，作业人员仅需将溅镀阴 极经由该开口 (12 3)再度装设于该半圆形门板(12)的溅镀阴极设置部(1 2 4)中即可完成溅镀靶材的更换。之后，再将该半圆形门板(12)关闭，此时该门板闭锁单元(13)的压制 ±央(1 3 1 )是以其水平切面(13 11)面对于该挡止部(113)，使该半圆形 门板(12)得以关闭，之后，作业人员可操控该控制杆(133)使该转轴(1 3 2 )转动并带动该压制块(13 1)旋转使其圆弧面(13 12)的倾斜部(1 3 13)进入该挡止部(113)，随着该倾斜部(1313)抵靠与其对应的该挡 止部(1 1 3 )的短边，即可使该半圆形门板(12)达到密闭的效果。
通过上述结构，本实用新型提供一种具有半圆形门板的立式溅镀设备，相较于 现有技术的立式溅镀设备必须使用机具将溅镀阴极吊取出来之后才能更换溅镀靶材 的不便，本实用新型可直接在门板上拆卸、装设溅镀阴极以便溅镀靶材的更换；此 外，该门板采用半圆形的构造，不仅其应力较为分散，更可加大该门板开合的角度， 以利该溅镀阴极的取放以及溅镀靶材的更换。
权利要求1、一种具有半圆形门板的立式溅镀设备，其特征在于该结构包括有一溅镀腔体，其内部设有治具设置部且至少一侧的一边设有门板转轴设置部，相对于该门板转轴设置部的一边则设有挡止部；半圆形门板，是枢设于该溅镀腔体的门板转轴设置部，其面对该溅镀腔体的一侧具有一开口且内部具有溅镀阴极设置部；门板闭锁单元，是设置于该半圆形门板上对应于该挡止部的位置。
2、 根据权利要求l所述的具有半圆形门板的立式溅镀设备，其特征在于，该半圆形 门板具有枢设于该门板转轴设置部的转轴与门板连接部。
3、 根据权利要求1所述的具有半圆形门板的立式溅镀设备，其特征在于，该门板闭 锁单元是包括一压制块、 一固接于该压制块的转轴以及一固接于该转轴异于该压制 块的一端的控制杆。
4、 根据权利要求3所述的具有半圆形门板的立式溅镀设备，其特征在于，该压制块是为一具有水平切面及圆弧面的半圆形块体，并且其圆弧面具有一倾斜部。
5、 根据权利要求4所述的具有半圆形门板的立式溅镀设备，其特征在于，该挡止部 是为具有一长边及一短边的L型块体，其短边是对应于该倾斜部。
专利摘要本实用新型是一种具有半圆形门板的立式溅镀设备，包括有溅镀腔体，其内部设有治具设置部且于至少一侧设有门板转轴设置部及挡止部；半圆形门板，是枢设于该门板转轴设置部，其面对该溅镀腔体的一侧具有一开口且内部具有溅镀阴极设置部；门板闭锁单元，是设置于该半圆形门板上对应于该挡止部的位置；通过上述的结构，溅镀阴极可直接装、卸于该门板，也可加大门板开合角度，以便于溅镀靶材的更换。
文档编号C23C14/34GK201321489SQ20082013675
公开日2009年10月7日 申请日期2008年9月18日 优先权日2008年9月18日
发明者姚朝祯 申请人:钰衡科技股份有限公司