专利名称：一种导电玻璃的在线镀膜方法及在线镀膜装置的制作方法
技术领域：
本发明属于玻璃生产领域，尤其涉及一种导电玻璃(TC0玻璃， TransparentConductive Oxide，透明导电氧化物)的在线镀膜方法及在线镀膜装置。
背景技术：
目前，在线生产镀膜玻璃通常是根据化学气相沉积原理进行的，然而，现有的玻璃 在线镀膜方法功能比较单一，只能镀膜层较薄的阳光控制膜玻璃，不能实现对膜层厚度大 范围的调节，不能适应大流量的反应气体镀膜的要求，因而产品的功能和质量受到限制。随着太阳能电池日益广泛使用，市场对SnO2膜导电玻璃的需求量越来越大，而目 前 国内尚未出现SnO2膜导电玻璃在线镀膜的技术方案，因此，制造太阳能电池的SnO2膜导 电玻璃需要大量进口，成本较高。
发明内容
本发明所要解决的技术问题在于提供一种导电玻璃的在线镀膜方法及在线镀膜 装置，其可以在线生产各种膜层厚度和各种导电率的导电玻璃。本发明实施例是这样实现的，一种导电玻璃的在线镀膜方法，在玻璃生产线的退 火窑内设置镀膜区；使成型后的玻璃基板进入退火窑内并向前运动；当玻璃基板的温度下 降至适合镀膜的温度时，使玻璃基板进入镀膜区内；从镀膜区下游以斜进气方式向镀膜区 内同时输入反应气体，并且使反应气体前进方向与玻璃基板移动方向相反；使反应气体发 生化学反应后在玻璃基板表面沉积膜层，同时，从镀膜区上游向外抽出废气。本发明实施例还提供了一种导电玻璃的在线镀膜装置，在玻璃生产线的退火窑内 设置有镀膜区，所述镀膜区与退火窑内的其他区域相互隔离，于镀膜区设置有反应气体进 气通道及废气抽气通道，所述进气通道倾斜设置于镀膜区下游，并且反应气体前进方向与 玻璃基板移动方向相反，所述抽气通道位于镀膜区上游。上述导电玻璃的在线镀膜方法及装置利用玻璃成型后进入退火窑的余温进行在 线镀膜，不仅缩短了镀膜玻璃的流程时间，并且还节省了非在线镀膜必需的加热所消耗的 能源。同时，上述进气通道和抽气通道是独立单元，根据生产需要可以灵活方便地拆卸和组 装，可适应各种气体流量的要求，因此，可获得各种膜层厚度和各种导电率的导电玻璃，特 别适合有腐蚀性气体参与的镀膜过程。
图1是本发明导电玻璃的在线镀膜装置一较佳实施例中退火窑的局部结构示意 图。
具体实施例方式为了使本发明所要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅 用以解释本发明，并不用于限定本发明。如图1所示，本发明实施例中的导电玻璃的在线镀膜方法包括以下步骤在玻璃 生产线的退火窑1内设置镀膜区；使成型后的玻璃基板2进入退火窑1内并向前运动(图 1中箭头A所示方向为玻璃基板2的移动方向)；当玻璃基板2的温度下降至适合镀膜的温 度时，使玻璃基板2进入镀膜区内；从镀膜区下游以斜进气方式向镀膜区内同时输入反应 气体，以避免退火窑1内的辊子3所形成的镀膜死角，保证最大镀 膜面积，同时，使反应气体 前进方向与玻璃基板2移动方向相反，以保证镀膜的层次性；使反应气体发生化学反应后 在玻璃基板2表面沉积膜层，同时，从镀膜区上游向外抽出废气，从而使废气能够全部进入 回收池，而不会泄露到空气中。玻璃基板2经过镀膜区后，进行逐步的降温、退火，再进行切 害I]、下片、包装等工序，即可制成最终的导电玻璃产品。该镀膜区与退火窑1内的其他区域相互隔离，于镀膜区内设置有反应气体进气通 道4及废气抽气通道5，进气通道4倾斜设置于镀膜区下游，并且气体前进方向与玻璃基板 2移动方向相反，抽气通道5倾斜设置于镀膜区上游，通过抽气通道5，可对镀膜区1进行强 力抽气。为防止抽废气时导致玻璃基板2温度下降过快，在镀膜区内沉积膜层的同时，还 向镀膜区内输入进行温度补偿的热气体，所述热气体的压力高于外部环境压力以及镀膜区 的压力，其包含但不限于空气、氮气、稀有气体中的至少一种，热气体的温度为300-700°C。 如图1所示，镀膜区的上、下游分别设有热气体补偿通道6，由热气体补偿通道6输入镀膜区 的热气体同时还使镀膜区与退火窑1内的其他区域之间相互隔离，从而保护镀膜区。上述成型后的玻璃基板2可以是浮法玻璃、格法玻璃或压延玻璃，其分别从锡槽、 成型池及压延机中成型出来后随着辊台的辊子3进入退火窑1的温度尚有700°C左右，当玻 璃基板2在退火窑1内温度降至400-650°C时，达到参与反应的温度，就进入了镀膜区。以在线镀SnO2导电膜为例，镀膜区内的上方空间充满保护高温气体，所述保护高 温气体可以是空气、氮气、氧气、稀有气体中的至少一种。反应气体是SnCl4&H20，二者通过 两个单独的进气通道4同时输入镀膜区，H2O与SnCl4的体积比大于等于2，并且二者体积占 镀膜区体积的20-95%，H2O与SnCl4在镀膜区内发生化学反应后产生SnO2及HC1，SnO2沉 积在玻璃基板2表面形成导电膜层，而HCl与未参与反应的SnCl4被作为废气由抽气通道5 抽走。上述导电玻璃的在线镀膜方法及装置利用玻璃成型后进入退火窑1的余温进行 在线镀膜，不仅缩短了镀膜玻璃的流程时间，并且还节省了非在线镀膜必需的加热所消耗 的能源。同时，上述进气通道4和抽气通道5是独立单元，根据生产需要可以灵活方便地拆 卸和组装，可适应各种气体流量的要求，因此，可获得各种膜层厚度和各种导电率的导电玻 璃，特别适合有腐蚀性气体参与的镀膜过程。作为上述实施方式的进一步改进，在进气通道4内可设置气流阻尼器(图中未示 出)，在抽气通道5内可设置缓冲器及负压调节装置(图中未示出)，以调节进气量及抽气 负压大小，控制膜层厚度，并使气流稳定。此外，还可通过激光测量仪测量膜层厚度，对膜层 厚度进行反馈，通过电阻测量仪测量电阻，对电阻率进行反馈，同时还可通过热电偶检测玻 璃基板2附近的温度变化，对温度进行反馈，以便随时 通过自动控制系统调整抽气量、或者调整热气体补偿量。这样，可以更加方便、快速地调节进气通道4的进气量、抽气通道5的 抽气量以及热气体补偿通道6的热气体流量，以调节膜层厚度范围和导电率。
以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精 神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包括在本发明的保护范围之内。
权利要求
一种导电玻璃的在线镀膜方法，在玻璃生产线的退火窑内设置镀膜区；使成型后的玻璃基板进入退火窑内并向前运动；当玻璃基板的温度下降至适合镀膜的温度时，使玻璃基板进入镀膜区内；从镀膜区下游以斜进气方式向镀膜区内同时输入反应气体，并且使反应气体前进方向与玻璃基板移动方向相反；使反应气体发生化学反应后在玻璃基板表面沉积膜层，同时，从镀膜区上游向外抽出废气。
2.如权利要求1所述的导电玻璃的在线镀膜方法，其特征在于，在所述镀膜区内沉积 膜层的同时，还向镀膜区内输入进行温度补偿的热气体，所述热气体的温度为300-700°C。
3.如权利要求1所述的导电玻璃的在线镀膜方法，其特征在于，所述玻璃基板进入镀 膜区内的温度是400-650°C。
4.如权利要求1所述的导电玻璃的在线镀膜方法，其特征在于，所述反应气体是SnCl4 及H2O, 二者发生化学反应后产生SnO2及HCl，所述SnO2沉积在玻璃基板表面形成导电膜层， 所述废气包括HCl及未参与反应的SnCl4。
5.如权利要求4所述的导电玻璃的在线镀膜方法，其特征在于，所述H2O与SnCl4的体 积比大于等于2，并且二者体积占镀膜区体积的20-95%。
6.如权利要求1所述的导电玻璃的在线镀膜方法，其特征在于，所述镀膜区与退火窑 内的其他区域之间通过输入热气体进行隔离和保护，所述热气体的温度为300-700°C。
7.如权利要求2所述的导电玻璃的在线镀膜方法，其特征在于，所述方法还包括通过 激光测量仪测量膜层厚度，对膜层厚度进行反馈，通过电阻测量仪测量电阻，对电阻率进行 反馈，同时通过热电偶检测玻璃基板附近的温度变化，对温度进行反馈，以便随时调整抽气 量、或者调整热气体补偿量。
8.一种导电玻璃的在线镀膜装置，其特征在于，在玻璃生产线的退火窑内设置有镀膜 区，所述镀膜区与退火窑内的其他区域相互隔离，于镀膜区设置有反应气体进气通道及废 气抽气通道，所述进气通道倾斜设置于镀膜区下游，并且反应气体前进方向与玻璃基板移 动方向相反，所述抽气通道位于镀膜区上游。
9.如权利要求8述的导电玻璃的在线镀膜装置，其特征在于，所述镀膜区的上、下游还 分别设有热气体补偿通道。
10.如权利要求8所述的导电玻璃的在线镀膜装置，其特征在于，所述进气通道内设有 气流阻尼器，所述抽气通道内设有缓冲器及负压调节装置。
全文摘要
本发明涉及一种导电玻璃的在线镀膜方法及在线镀膜装置，在玻璃生产线的退火窑内设置镀膜区；使成型后的玻璃基板进入退火窑内并向前运动；当玻璃基板的温度下降至适合镀膜的温度时，使玻璃基板进入镀膜区内；从镀膜区下游以斜进气方式向镀膜区内同时输入反应气体，并且使反应气体前进方向与玻璃基板移动方向相反；使反应气体发生化学反应后在玻璃基板表面沉积膜层，同时，从镀膜区上游向外抽出废气。上述方法及装置利用玻璃成型后进入退火窑的余温进行在线镀膜，缩短镀膜玻璃的流程时间，节省非在线镀膜必需的加热所耗能源。同时，进气通道和抽气通道是独立单元，根据生产需要可灵活方便地拆卸和组装，可获得各种膜层厚度和各种导电率的导电玻璃。
文档编号C23C16/455GK101844873SQ20091010617
公开日2010年9月29日 申请日期2009年3月24日 优先权日2009年3月24日
发明者刘强, 陈五奎, 陈小河, 黄振华 申请人:深圳市拓日新能源科技股份有限公司