专利名称：分离式密封腔体的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种密封腔体，尤其涉及一种适用于作为真空蒸镀工艺中的蒸镀腔室的密封腔体。
背景技术：
在半导体工业、电子工业及机械工业领域，常使用蒸发镀膜处理技术在元器件的 表面沉积一层薄膜，尤其是真空蒸发镀膜技术；真空蒸发镀膜(又称真空蒸镀)是将固体材 料置于真空室内，在真空条件下，将固体材料加热蒸发，蒸发出来的原子或分子能自由地弥 布到容器的器壁上。当把一些加工好的基板材料放在其中时，蒸发出来的原子或分子就会 吸附在基板上逐渐形成一层薄膜，因此，在真空蒸发镀膜技术获得了广泛的应用，在电致发 光显示器件的生产工艺中，真空蒸发镀膜技术起着尤其重要的作用。电致发光显示设备是一种在发光层上采用电压以使电子和空穴复合而形成图像 的显示设备。由于电致发光显示设备与其他显示设备相比具有可见度好、重量轻、功耗小等 优良特性，因此电致发光显示设备具有了较好的市场前景；电致发光显示设备一般包括基 板、阴极、阳极以及置于这两个电极之间的发光层，在电压作用下由阳极提供的空穴和由阴 极提供的电子可在发光层中复合而形成激子，即空穴电子对，从而在从激发态跃迁到基态 的同时发光。在电致发光显示设备的生产工艺中，常采用真空蒸镀技术形成阴极及发光层， 以OLED为例，OLED的制作过程大都采用以IT0(indium tin oxide)玻璃为基板，利用蒸镀 设备将多层薄膜相继沉积在玻璃基板上，以形成阴极及发光层，而在真空蒸镀技术需要用 到真空腔室及蒸发源等。真空腔室用于限定一个空间，在此空间内蒸发源的加热器用于加热待蒸镀材料， 并使其蒸发。当待蒸镀材料使用完毕后就需要打开真空腔室进行换料。另外真空腔室有些 时候需要维护、清理，这个时候就需要简便、平稳、快捷的打开真空腔室的腔门或腔盖。维护 或清理完再关上真空腔室腔门或腔盖时还需要确保真空腔室的密封性能。现有技术在对真 空腔室进行打开或关闭时，都借助于外部机构来打开腔盖或腔门，例如有采用手轮带动蜗 轮蜗杆的结构来开启腔门或腔盖，采用电机驱动腔门或腔盖启闭、采用汽缸或者电缸来控 制腔门或腔盖的启闭等，这些技术会带来如下问题一是在开启腔门或腔盖的过程中可能 会导致腔门或腔盖变形，在腔门或腔盖关闭时将导致密封性不佳，从而使真空腔室难以达 到较高的真空度；二是借助外界的动力机构来打开腔门或腔盖，结构相对较复杂，生产成本 尚，因此，急需一种结构简单、开启便捷、密封性好的密封腔体。
发明内容
本发明的目的在于提供一种结构简单、开启便捷、密封性好的分离式密封腔体。为实现上述目的，本发明的技术方案为提供一种分离式密封腔体，其包括移动腔 体部及具有一开口面的固定腔体部，所述固定腔体部沿所述开口面形成中空结构，所述移动腔体部与所述固定腔体部的开口面对应安装，其中，所述固定腔体部的相邻于所述开口 面的两相互平行的侧面上设置有第一滑轨及第二滑轨，所述第一滑轨及所述第二滑轨相互 平行且均垂直于所述开口面；所述移动腔体部包括第一支撑件、第二支撑件及与所述固定 箱体部的开口面相对应的门板，所述第一支撑件及所述第二支撑件分别连接于所述门板的 两相平行的侧边上，所述第一支撑件及所述第二支撑件均垂直于所述门板，所述第一支撑 件及所述第二支撑件上均具有滑槽；所述第一支撑件的滑槽与所述第一滑轨滑动连接，所 述二支撑件的滑槽与所述第二滑轨滑动连接，所述门板对所述固定腔体部的开口面进行密 封或打开。较佳地，所述固定腔体部还包括与所述第一滑轨相平行的第三滑轨及与所述第二滑轨相平行的第四滑轨，所述第一滑轨及所述第二滑轨相对应地设置于所述两相平行侧面 的下端，所述第三滑轨及所述第四滑轨相对应地设置于所述两相平行侧面的上端；更具体 地，所述移动腔体部还包括与所述第一支撑件相平行且具有滑槽的第三支撑件及与所述第 二支撑件相平行且具有滑槽的第四支撑件，所述第一支撑件及所述第二支撑件对应地安装 于所述门板的下端，所述第三支撑件及所述第四支撑件对应地安装于所述门板的上端，所 述第三支撑件的滑槽与所述第三滑轨滑动连接，所述所述第四支撑件的滑槽与所述第四滑 轨滑动连接；四个支撑件的滑槽与固定腔体上的四个滑轨配合连接，实现门板与固定腔体 部的密封和开启，使门板在密封和开启的过程中更加稳定。较佳地，所述设置有滑轨的侧板上均设置有弹簧扣，所述门板上设置有卡扣，所述 卡扣与所述弹簧扣相锁定扣合且能解除扣合；当所述支撑件沿滑轨滑动使门板与固定腔体 部的开口相闭合时，弹簧扣与卡扣相锁定扣合，使门板与固定腔体的开口压合紧密，保证真 空腔体的密封性；当需要打开密封腔体时，解除弹簧扣与卡扣的扣合，支撑件沿滑轨滑动带 动门板运动即可打开腔体。较佳地，所述门板相对于所述开口面的一侧形成内表面，另一侧形成外表面，所述 内表面上开设有与所述开口面的开口相对应的密封槽，所述密封槽内安装有密封圈，门板 内表面安装的密封圈，进一步加强门板与开口之间的密封性，使真空腔体具有较高的密封 性。较佳地，所述门板的外表面处设置有把手；在需要打开真空腔体时，拉动门板上的 把手，支撑件通过其上的滑槽沿滑轨滑动，带动门板平稳、快捷的被拉开。与现有技术相比，本发明分离式密封腔体包括移动腔体部及具有一开口面的固定 腔体部，所述固定腔体部沿所述开口面形成中空结构，所述移动腔体部与所述固定腔体部 的开口面对应安装，其中，所述固定腔体部的相邻于所述开口面的两相互平行的侧面上设 置有第一滑轨及第二滑轨，所述第一滑轨及所述第二滑轨相互平行且垂直于所述开口面； 所述移动腔体部包括第一支撑件、第二支撑件及与所述固定箱体部的开口面相对应的门 板，所述第一支撑件及所述第二支撑件分别连接于所述门板的两相平行的侧边上，所述第 一支撑件及所述第二支撑件均垂直于所述门板，所述第一支撑件及所述第二支撑件上均具 有滑槽；所述第一支撑件的滑槽与所述第一滑轨滑动连接，所述二支撑件的滑槽与所述第 二滑轨滑动连接，所述门板对所述固定腔体部的开口面进行密封或打开；移动腔体部的门 板通过支撑件滑动地连接于固定腔体部上，使用时，门板压合在固定腔体部的开口处，使移 动腔体部与固定腔体部密封进而使固定腔体部的中空结构形成密封的真空腔室；需要打开所述分离式密封腔体时候，拉动门板上的把手即可使门板对固定腔体部的开口面打开，轻 松便捷地打开真空腔室并对其进行维护；该分离式密封腔体的开启及关闭并不需要借助外 部机械，使分离式密封腔体的结构简单，生产成本低；同时门板不会因为受机械力的作用而 变形，开启后关闭仍能保持较好的密封性，提高真空腔室的真空度。
图1是本发明分离式密封腔体的立体结构示意图。图2是本发明分离式密封腔体拆除上底板的结构示意图。图3是图2中A部分的放大示意图。图4是本发明分离式密封腔体的开启状态示意图。图5是本发明分离式密封腔体的闭合状态示意图。
具体实施例方式现在参考附图描述本发明的实施例，附图中类似的元件标号代表类似的元件。如图1、图2所示，本发明分离式密封腔体10包括移动腔体部200及具有一开口面 的固定腔体部100，固定腔体部100沿所述开口面形成中空结构，固定腔体部100包括上底 板101、下底板102、左侧板103、右侧板104及后侧板105，上底板101与下底板102平行设 置，左侧板103及右侧板104相互平行地固定于上底板101及下底板102之间，左侧板103 及右侧板104均垂直于上底板101及下底板102，后侧板105固定连接于上底板101、下底 板102、左侧板103及右侧板104的一端形成具有一开口面的中空结构，所述中空结构的开 口面形成腔体门106，腔体门106密封后使中空结构的形成真空腔室，在左侧板103的下端 设置有第一滑轨103a，第一滑轨103a由腔体门106向后侧板105方向延伸且垂直于后侧板 105，在左侧板103的上端设置有与第一滑轨103a相互平行的第三滑轨103b，在右侧板104 的下端和上端分别设置有与第一滑轨103a及第三滑轨103b相对应的第二滑轨104a、第四 滑轨104b (图未示)；移动腔体部200包括与腔体门106相对应的门板205，门板205相对 于固定腔体部100的一侧形成内表面，另一侧形成外表面；所述门板205的相对于左侧板 103的侧边上设置有垂直于门板205的第一支撑件201及第三支撑件203，第一支撑件201 上具有与第一滑轨103a相配合的滑槽201a，第三支撑件203上具有与第三滑轨103b相配 合的滑槽203a，第一支撑件201及第三支撑件203的滑槽201a、203a分别与第一滑轨103a 及第三滑轨103b配合滑动连接；所述门板205的相对于右侧板104的侧边上设置有垂直于 门板205的第二支撑件202及第四支撑件204，第二支撑件202上具有与第二滑轨104a相 配合的滑槽202a，第四支撑件204上具有与第四滑轨104b相配合的滑槽204a，第二支撑件 202及第四支撑件204的滑槽202a、204a分别与第二滑轨104a及第四滑轨104b配合滑动 连接；通过四个支撑件上的滑槽与左侧板103、右侧板104上的滑轨滑动连接，支撑件沿滑 轨滑动时可带动门板205滑动使其压紧在固定腔体部100的腔体门106处，使固定腔体部 100的中空结构密封而形成真空腔室，而固定腔体部100与移动腔体部200压紧在一起形 成分离式密封腔体10 ；门板205亦可在支撑件的带动下滑动而与固定腔体部100的腔体门 106分离，使固定腔体部100的中空结构打开，进而对中空结构内部进行维护或更换材料。较佳地，如图2、图3所示，在固定腔体部100的左侧板103邻近腔体门106 —端还设置有两弹簧扣107，在门板205上设置有卡扣207 ；在右侧板104邻近腔体门106 —端也设置有两弹簧扣(图未示)，在门板205上还设置有卡扣(图未示)；卡扣207与弹簧扣107 相锁定扣合且能解除扣合，使门板205紧压在腔体门106处，实现中空结构的闭合密封而形 成真空腔室；在门板205的内表面上开设有与腔体门106相对应的密封槽208，在该密封槽 208内安装有密封圈209 ；在门板205的外表面处设有把手206 ；门板205与腔体门106压 紧时，门板205内表面上安装的密封圈209，进一步加强门板205与腔体门106之间的密封 性，使由中空结构密封而形成的真空腔室具有较高的密封性；当需要打开真空腔体时，拉动 门板205上的把手206，通过支撑件上的滑槽沿滑轨滑动，带动门板205滑动使其与固定腔 体部100的腔体门106分离，进而使门板205平稳、快捷的被拉开。如图4、图5所示，分离式密封腔体10用作真空蒸镀的真空腔体时，固定腔体部 100与移动腔体部200紧压，门板205与腔体门106紧密闭合，使固定腔体部100的中空结 构被密封而形成密封的真空腔室；在真空腔室内部需要维护或需要更换蒸镀材料时，解开 相互卡和的弹簧扣107及卡扣207，拉动移动腔体部200的门板205上的把手206，移动腔体 部200的支撑件沿滑轨滑动，使门板205沿图5中箭头方向滑动进而离开腔体门106，使真 空腔室被打开，真空腔室被打开的分离式密封腔体10如图4所示；在维护完成或更换蒸镀 材料完成后，需要将腔体门106密封以使中空结构形成真空腔室，这时，推动门板205沿图4 中箭头方向移动，移动腔体部200的支撑件沿滑轨向着后侧板105的方向滑动，当门板205 抵触于腔体门106处时，移动腔体部200与固定腔体部100闭合而使固定腔体部100的中 空结构密封形成真空腔室，由于门板205的内表面上设置有密封圈209，使得门板205紧压 在固定腔体部100的腔体门106处，实现真空腔体的密封，保证真空腔室可靠的密封性能； 同时卡合弹簧扣107与卡扣207，使门板205与固定腔体部100紧密压合，加强真空腔体的 密封，闭合的分离式密封腔体10如图5所示。由于本发明分离式密封腔体10包括移动腔体部200及具有一开口面的固定腔体 部100，固定腔体部100沿所述开口面形成中空结构，移动腔体部200对所述固定腔体部 100的开口面进行密封或打开，其中，固定腔体部100的相邻于所述开口面的两相互平行的 侧面上设置有第一滑轨103a及第二滑轨104a，所述第一滑轨103a及所述第二滑轨104a相 互平行且垂直于所述开口面；所述移动腔体部200包括第一支撑件201、第二支撑件202及 与所述固定腔体部100的开口面相对应的门板205，所述第一支撑件201及所述第二支撑件 202分别连接于所述门板205的两相平行的侧边上，所述第一支撑件201及所述第二支撑件 202均垂直于所述门板205，第一支撑件201及第二支撑件202上分别具有滑槽201a、202a ； 所述第一支撑件201的滑槽201a与所述第一滑轨103a滑动连接，所述第二支撑件202的滑 槽202a与所述第二滑轨104a滑动连接，所述门板205对所述固定腔体部100的开口面进 行密封或打开；移动腔体部200的门板205通过支撑件滑动地连接于固定腔体部100上，使 用时，门板205压合在固定腔体部100的开口面处，移动腔体部200与固定腔体部100密封 形成分离式密封腔体10，而固定腔体部100的中空结构被密封而形成真空腔室；需要打开 所述分离式密封腔体10时候，拉动门板205即可轻松便捷地使门板205与固定腔体部100 的开口面相分离，进而打开固定腔体部100的中空结构，对分离式密封腔体10内部进行维 护；本发明分离式真空腔体10的开启及关闭并不需要借助外部机械，使该分离式真空腔体 10的结构简单，生产成本低；同时门板205不会因为受机械力的作用而变形，开启后关闭仍能保持较好的密封性，提高真空腔体的真空度。以上仅对具有四支撑件的分离式密封腔体10进行了描述，但不限于该实施例，本 发明分离式密封腔体10的支撑件还可根据实际需要，设置相应的个数；本发明分离式密封 腔体10也不限于真空蒸镀技术中的真空腔室，还可根据实际需要，用于相类似的环境中。 本发明分离式密封腔体10内的蒸发源及用于加热蒸镀材料的加热器等均为本领 域普通技术人员所熟知，在此不再做详细的说明。以上所揭露的仅为本发明的优选实施例而已，当然不能以此来限定本发明之权利 范围，因此依本发明申请专利范围所作的等同变化，仍属本发明所涵盖的范围。
权利要求
一种分离式密封腔体，包括移动腔体部及具有一开口面的固定腔体部，所述固定腔体部沿所述开口面形成中空结构，所述移动腔体部与所述固定腔体部的开口面对应安装，其特征在于所述固定腔体部的相邻于所述开口面的两相互平行的侧面上设置有第一滑轨及第二滑轨，所述第一滑轨及所述第二滑轨相互平行且均垂直于所述开口面；所述移动腔体部包括第一支撑件、第二支撑件及与所述固定箱体部的开口面相对应的门板，所述第一支撑件及所述第二支撑件分别连接于所述门板的两相平行的侧边上，所述第一支撑件及所述第二支撑件均垂直于所述门板，所述第一支撑件及所述第二支撑件均具有滑槽；所述第一支撑件的滑槽与所述第一滑轨滑动连接，所述二支撑件的滑槽与所述第二滑轨滑动连接，所述门板对所述固定腔体部的开口面进行密封或打开。
2.如权利要求1所述的分离式密封腔体，其特征在于还包括与所述第一滑轨相平行 的第三滑轨及与所述第二滑轨相平行的第四滑轨，所述第一滑轨及所述第二滑轨相对应地 设置于所述两相平行侧面的下端，所述第三滑轨及所述第四滑轨相对应地设置于所述两相 平行侧面的上端。
3.如权利要求2所述的分离式密封腔体，其特征在于还包括与所述第一支撑件相平 行且具有滑槽的第三支撑件及与所述第二支撑件相平行且具有滑槽的第四支撑件，所述第 一支撑件及所述第二支撑件对应地安装于所述门板的下端，所述第三支撑件及所述第四支 撑件对应地安装于所述门板的上端，所述第三支撑件的滑槽与所述第三滑轨滑动连接，所 述所述第四支撑件的滑槽与所述第四滑轨滑动连接。
4.如权利要求1所述的分离式密封腔体，其特征在于两所述设置有滑轨的侧板上均 设置有弹簧扣，所述门板上设置有卡扣，所述卡扣与所述弹簧扣相锁定扣合且能解除扣合。
5.如权利要求1所述的分离式密封腔体，其特征在于所述门板相对于所述开口面的 一侧形成内表面，另一侧形成外表面，所述内表面上开设有与所述开口面的开口相对应的 密封槽，所述密封槽内安装有密封圈。
6.如权利要求5所述的分离式密封腔体，其特征在于所述门板的外表面处设置有把手。
全文摘要
本发明公开了一种分离式密封腔体，包括移动腔体部及具有一开口面的固定腔体部，移动腔体部与固定腔体部的开口面对应安装，其中，固定腔体部的相邻于开口面的两相互平行的侧面上设置有第一滑轨及第二滑轨，第一滑轨及第二滑轨相互平行且均垂直于开口面；移动腔体部包括第一支撑件、第二支撑件及与固定箱体部的开口面相对应的门板，第一支撑件及第二支撑件分别连接于门板的两相平行的侧边上，第一支撑件及第二支撑件均垂直于门板，第一支撑件及第二支撑件上均具有滑槽；第一支撑件的滑槽与第一滑轨滑动连接，二支撑件的滑槽与第二滑轨滑动连接，门板对固定腔体部的开口面进行密封或打开。本发明分离式密封腔体结构简单、开启便捷、密封性好。
文档编号C23C14/24GK101812663SQ200910246908
公开日2010年8月25日 申请日期2009年12月1日 优先权日2009年12月1日
发明者刘惠森, 杨明生, 王伟, 王勇, 王曼媛, 范继良, 郭远伦 申请人:东莞宏威数码机械有限公司