专利名称：镀膜机的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种利用离心力进行镀膜的镀膜机。
背景技术：
现有技术中，有一种用于对表面渗水性不良的基板进行镀膜的镀膜机。该镀膜机 先将基板固定放置在一可控的旋转离心机工作平台中心，并随之旋转，然后再通过一个滴 液装置将待镀液体滴在基板中心，液滴在离心力的作用下从基板中心向四周抛洒出去，从 而在被镀物表面形成镀膜层。这种镀膜机虽然可以在基板上镀膜，但是由于是液滴在离心力的作用下从基板中 心向四周抛撒，所以工作台上每次只能安装一块基板，由此大大的降低了镀膜的效率。
发明内容
有鉴于此，有必要提供一种高效率的镀膜机。一种镀膜机，该镀膜机用于将待镀液体镀到至少一块基板上。所述镀膜机包括容 器、转子及加热器。所述容器包括侧壁，至少一块基板固定于所述侧壁上，所述容器设置有 入液口及排气口，待镀液体通过所述入液口注入所述容器内，所述转子用于带动所述待镀 液体沿所述侧壁的圆周方向旋转，使得待镀液体覆盖所述基板，所述加热器加热所述基板， 用于将所述基板表面的待镀液体蒸发，在所述基板表面形成膜结构。本发明提供的镀膜机由于可以在所述侧壁固定多块基板，所以可以同时对多块基 板进行镀膜，由此大大的提高了镀膜效率。
图1为本发明提供的镀膜机的示意图。图2为图1的镀膜机的剖视图。图3为图2中镀膜机运行的示意图。
具体实施例方式请参阅图1及图2，为本发明提供的镀膜机100，其用于将待镀液体200内的成膜 溶质镀到基板300上。所述镀膜机100包括容器10、转子20、驱动装置30及加热器40。所述容器10包括侧壁11及开口端12。本实施方式中，所述容器10是圆筒形，所 述侧壁11是圆弧形侧壁。所述侧壁11经加工设有容置槽11a、入液口 lib及出液口 11c。 本实施方式中，所述侧壁11加工有两个容置槽11a，两个入液口 lib及两个出液口 11c。所 述容置槽Ila用于收容所述基板300。本实施方式中，所述基板300是具有一定弧度的大致 呈矩形的板，所述容置槽Ila是与所述基板300相配合的大致呈矩形的槽。当然，若需要给 更多的基板300镀膜，所述侧壁11可以加工更多的容置槽11a。所述基板300也可以是其 他形状。所述基板300也可以利用螺栓或卡合结构固定到所述侧壁11上。所述入液口 lib用于将待镀液体200注入到所述容器10内。本实施方式中，所述入液口 lib是沿平行所述 容器10的轴向00’设置的矩形孔。所述入液口 lib设置有一阀门(图中未画出)，该阀门 只有当所述镀膜机100准备镀膜时开启，使得待镀液体100通过所述入液口 lib注入所述 容器10内。当镀膜机100内注入适量的待镀液体后，所述阀门将关闭。当然，所述入液口 lib也可以是圆形等其他形状的孔，入液口 lib的位置也可以位于所述容器10的底部。本 实施方式中，所述出液口 IlC与入液口 lib的形状及大小相同，用于镀膜完成后将多余的待 镀液体200排出所述容器10。当然，所述镀膜机100也可以不加工所述出液口 11c，而利用 加热器40将多余的待镀液体200蒸发掉，或采用所述入液口 lib进行排液作业。本实施方 式中，为了提高效率，加快待镀液体200的排放，在所述侧壁11上开设所述出液口 11c。所 述出液口 Ilc设置一阀门(图中未画出)，当所述镀膜机100镀膜时，所述阀门关闭，防止 待镀液体200排出。只有当镀膜完成后，所述阀门才会开启，使得多余的待镀液体200在离 心力的作用下从所述出液口 Ilc排出。所述转子20从所述开口端12伸入所述容器10内。 当然，所述容器10也可以采用封闭结构将所述转子20封闭于所述容器10内，并在容器10 上部开设排气口，用于排出待镀液体200被蒸发出的气体。本实施方式中，所述开口端12 作为排出气体的通道。所述转子20包括转轴21及搅动端22。所述搅动端22可以采用圆盘、叶轮等有利 于带动待镀液体200旋转的形状。本实施方式中，所述搅动端22由多个同心的圆台组成。 所述搅动端22包括四个圆台22a、22b、22c及22d。所述圆台22a、22b、22c及22d的直径从 下到上依次增加。所述搅动端22的最大直径Dy」、于所述开口端12的内径D。所述驱动装置30用于旋转转子20，使得所述待镀液体200在转子20的带动下完 全覆盖所述基板300。本实施方式中，为了避免产生气泡及待镀液体200旋转时的紊流，所 述驱动装置30旋转转子20的速度逐渐加快。所述加热器40是多个电加热棒。本实施方式中，所述加热器40等间距的分布在 所述容器10的侧壁11上，用于均勻的加热所述容器10的侧壁11。所述加热器40可以是 容置于所述容器10的侧壁11内，也可以是设置于所述容器10的侧壁11外。本实施方式 中，所述加热器40均勻的排布在所述侧壁11外。当然，所述加热器40也可以采用红外线 加热等可以使得所述侧壁11均勻受热的其他加热装置。当所述待镀液体200被所述转子 20带动到将所述基板300完全覆盖时，所述加热器40开始加热，使得待镀液体200被蒸发， 蒸发的气体从所述搅动端22与容器10的开口端12之间的缝隙排出。请参阅图1及图3，镀膜时，先将所述容器10内装入至基板300—半高度的待镀液 体200。再利用所述驱动装置30转动所述转子20，并逐渐加快所述转子20的转速，直到待 镀液体200完全覆盖所述基板300。此时打开加热器40进行加热来蒸发待镀液体200。待 所述基板300上形成膜层后打开所述出液口 Ilc的阀门，通过所述出液口 Ilc将残留的待 镀液体200排出。根据所述基板300需要镀的膜层的不同厚度，可以设定加热器40的温度 及加热的时间。若需要镀多层膜，可以等第一层膜镀膜完成后，再将容器10内注入其他成份的液 体，再次重复第一层膜形成的步骤，从而在基板300上形成多层膜结构。本发明提供的镀膜机由于可以在所述侧壁固定多块基板，所以可以同时对多块基 板进行镀膜，由此大大的提高了镀膜效率。
可以理解的是，对于本领域的普通技术人员来说，可以根据本发明的技术构思做 出其它各种相应的改变与变形，而所有这些改变与变形都应属于本发明权利要求的保护范围。
权利要求
一种镀膜机，该镀膜机用于将待镀液体镀到基板上，其特征在于，所述镀膜机包括容器、转子及加热器，所述容器包括侧壁，至少一块所述基板固定于所述侧壁上，所述容器设置有入液口及排气口，待镀液体通过所述入液口注入所述容器内，所述转子用于带动所述待镀液体沿所述侧壁的圆周方向旋转，使得待镀液体覆盖所述基板，所述加热器加热所述基板，用于将所述基板表面的待镀液体蒸发，在所述基板表面形成膜结构。
2.如权利要求1所述的镀膜机，其特征在于，所述容器的侧壁是圆弧形侧壁。
3.如权利要求1所述的镀膜机，其特征在于，所述容器包括出液口，所述出液口设置于 所述侧壁上，用于排出镀膜后过多的待镀液体。
4.如权利要求1所述的镀膜机，其特征在于，所述加热器设置于所述侧壁上，用于加热 所述侧壁。
5.如权利要求4所述的镀膜机，其特征在于，所述加热器采用多个加热棒，所述多个加 热棒沿所述容器圆周方向等间距设置。
6.如权利要求1所述的镀膜机，其特征在于，所述加热器采用红外线、电加热方式进行 加热。
7.如权利要求1所述的镀膜机，其特征在于，所述入液口设有一阀门，当向所述容器内 注入液体时所述阀门打开，当所述镀膜机镀膜时关闭。
8.如权利要求3所述的镀膜机，其特征在于，所述出液口设有一阀门，当所述镀膜机镀 膜完成时所述阀门打开，当所述镀膜机镀膜时关闭。
全文摘要
本发明提供一种镀膜机，该镀膜机用于将待镀液体镀到至少一块基板上。所述镀膜机包括容器、转子及加热器，所述容器包括侧壁，所述至少一块基板固定于所述侧壁上，所述容器设置有入液口及排气口，待镀液体通过所述入液口注入所述容器内，所述转子用于带动所述待镀液体沿所述侧壁的圆周方向旋转，使得待镀液体覆盖所述基板，所述加热器加热所述基板，用于将所述基板表面的待镀液体蒸发，在所述基板表面形成膜结构。本发明提供的镀膜机由于可以在所述侧壁固定多块基板，所以可以同时对多块基板进行镀膜，由此大大的提高了镀膜效率。
文档编号C23C14/24GK101906611SQ200910302939
公开日2010年12月8日 申请日期2009年6月5日 优先权日2009年6月5日
发明者裴绍凯 申请人:鸿富锦精密工业(深圳)有限公司;鸿海精密工业股份有限公司