专利名称：简易型蒸发器的制作方法
技术领域：
本实用新型属于真空设备，特别是超高真空成膜用蒸发器。
背景技术：
超高真空环境中的镀膜技术是新材料合成的基础。为了实现在超高真空环境中的镀膜质量可靠，需要具有高质量的简易型的蒸发设备，目前所用用于金属蒸发的蒸发设备多数结构复杂，难于从外界进行控制，蒸发质量较差。发明内容
本实用新型的目的是克服上述不足问题，提供一种简易型蒸发器，结构简单，外界控制精确，确保蒸发质量。
本实用新型为实现上述目的所采用的技术方案是简易型蒸发器，回转导入器导入棒真空端固定安装遮板，遮板位于坩埚上方，坩埚上缠绕有加热丝，加热丝接通电极。
所述导入棒自转轴端固定安装遮板支架，遮板支架上固定装有遮板。
所述回转导入器为超高真空旋转导入器，外管内装有波纹管、驱动杆和导入棒，驱动杆和导入棒均由轴心线平行的自转轴和绕转轴一体构成，波纹管一端焊接在可动法兰上，另一端焊接在真空设备连接法兰上，真空设备连接法兰固定装有外管一端，且中心孔内通过轴承安装导入棒自转轴，外管另一端通过轴承安装驱动杆自转轴，导入棒自转轴与驱动杆自转轴同轴心，可动法兰两端均带有套体，两端套体内分别通过轴承安装驱动杆绕转轴和导入棒绕转轴，驱动杆绕转轴与导入棒绕转轴同轴心。
所述真空设备连接法兰由法兰盘、轴套和外筒连接套一体构成，轴套一端连接法兰板，另一端连接外筒连接套，外筒连接套通过固定法兰与外管固定连接。
所述驱动杆自转轴端头固定安装把手，把手上装有定位螺钉。
本实用新型蒸发器具有显著的特点l)可蒸发绝大多数金属，2)坩埚的材质为氧化铝，可耐1800摄氏度的高温，而且放出气体少，3)热源采用高熔点的钨丝，通电加热，使用方式简单，4)安装蒸发遮挡板，可以控制蒸发的时机，同时也可以确保蒸发的质量，5)蒸发遮挡板的驱动靠超高真空旋转驱动器实现，可以人工从外界控制，6)和真空接触部件，选用材质考虑到放出气体少的要求，适合超高真空环境的使用，7)采用刀口法兰，适合超高真空密封，8)简易蒸发源可耐高温烘烤，9)整体构造独特且操作简单。
图l是本实用新型结构示意图。
图2是本实用新型加热原理图。
图3是本实用新型回转导入器结构示意图。
图l中l回转导入器；2法兰；3钼棒；4坩埚；5遮板支架；6遮板；7加热丝；8法兰盘；9负极；10正极；ll波纹管；12导入棒；13真空设备连接法兰；14固定法兰；15可动法兰；16外管；17把手；18定位螺钉；19驱动杆；20轴承。
具体实施方式
如图1所示的简易型蒸发器，回转导入器1的导入棒12真空端 固定安装遮板支架5，遮板支架上固定装有遮板6，遮板位于坩埚4 上方，坩埚上缠绕有加热丝7——鸭丝，加热丝7分别接通电极负极 9和正级10的钼棒3，加热原理如图2所示，回转导入器如图3所示， 外管16内装有波纹管11、驱动杆19和导入棒12,驱动杆和导入棒 均由轴心线平行的自转轴和绕转轴一体构成，波纹管11 一端焊接在 可动法兰15上，另一端焊接在真空设备连接法兰13上，真空设备连 接法兰13由法兰板、轴套和外筒连接套一体构成，轴套一端连接法 兰板，另一端连接外筒连接套，外筒连接套通过固定法兰与外管焊接 固定，真空设备连接法兰中心孔内通过轴承安装导入棒自转轴，外管 另一端通过轴承20安装驱动杆自转轴，导入棒自转轴与驱动杆自转 轴同轴心，可动法兰15两端均带有套体，两端套体内分别通过轴承 安装驱动杆绕转轴和导入棒绕转轴，驱动杆绕转轴与导入棒绕转轴同 轴心，驱动杆自转轴端头固定安装把手17，操作方便，把手上装有 定位螺钉，旋转到设定位置后旋紧定位螺钉18。
使用时回转导入器的导入棒控制遮板的旋转，控制蒸发的时机和 成膜质量。钨丝缠绕在坩埚上，通过电极给钨丝通电产生热量，蒸发 坩埚内的金属。公式应用<formula>formula see original document page 5</formula> i^为钨丝的电阻，
S
2『为电流经过钨丝产生的热量。
权利要求1、简易型蒸发器，其特征是回转导入器导入棒真空端固定安装遮板，遮板位于坩埚上方，坩埚上缠绕有加热丝，加热丝接通电极。
2、 根据权利要求1所述的简易型蒸发器，其特征是导入棒真 空端固定安装遮板支架，遮板支架上固定装有遮板。
3、 根据权利要求1或2所述的简易型蒸发器，其特征是回转 导入器为超高真空旋转导入器，外管内装有波纹管、驱动杆和导入棒, 驱动杆和导入棒均由轴心线平行的自转轴和绕转轴一体构成，波纹管 一端焊接在可动法兰上，另一端焊接在真空设备连接法兰上，真空设 备连接法兰固定装有外管一端，且中心孔内通过轴承安装导入棒自转 轴，外管另一端通过轴承安装驱动杆自转轴，导入棒自转轴与驱动杆 自转轴同轴心，可动法兰两端均带有套体，两端套体内分别通过轴承 安装驱动杆绕转轴和导入棒绕转轴，驱动杆绕转轴与导入棒绕转轴同 轴心。
4、 根据权利要求3所述的简易型蒸发器，其特征是真空设备 连接法兰由法兰板、轴套和外筒连接套一体构成，轴套一端连接法兰 板，另一端连接外筒连接套，外筒连接套通过固定法兰与外管固定连 接。
5、 根据权利要求3所述的简易型蒸发器，其特征是驱动杆自 转轴端头固定安装把手，把手上装有定位螺钉。
专利摘要本实用新型涉及真空设备。简易型蒸发器，回转导入器导入棒真空端固定安装遮板，遮板位于坩埚上方，坩埚上缠绕有加热丝，加热丝接通电极。本实用新型蒸发器可蒸发绝大多数金属，坩埚的材质为氧化铝，可耐1800摄氏度的高温，而且放出气体少，热源采用高熔点的钨丝，通电加热，使用方式简单，安装蒸发遮挡板，可以控制蒸发的时机，同时也可以确保蒸发的质量，蒸发遮挡板的驱动靠超高真空旋转驱动器实现，可以人工从外界控制，和真空接触部件选用材质适合超高真空环境的使用，简易蒸发源可耐高温烘烤，整体构造独特且操作简单。
文档编号C23C14/26GK201386134SQ20092001104
公开日2010年1月20日 申请日期2009年2月27日 优先权日2009年2月27日
发明者郭方准 申请人:大连齐维科技发展有限公司