专利名称：一种用扫描蒸镀制膜设备的制作方法
技术领域：
本实用新型属于一种用扫描蒸镀制膜设备。
背景技术：
薄膜光伏电池，包括CIGS光伏电池可替代单晶硅材料用作太阳能发电，晶体硅材 料作为光伏发电材料价格昂贵，制作难度大，成本高，难以推广使用。最新的科学显示可以 用在玻璃或其他材料的基板上用电子枪蒸镀方法镀数层金属和非金属薄膜来替代晶体硅 材料用作太阳能发电，这种新材料价格低廉，利于推广使用。用电子枪蒸镀方法镀数层金属 薄膜在基板上，要求薄膜必须厚度均匀，但目前的设备难以达到这样的要求。传统的电子枪 蒸镀设备包括一个真空腔体，真空腔体内下端固定设置若干个电子枪，待镀的基板置于电 子枪上端，完成电子枪蒸镀制膜。这种传统的设备不能保证基板上薄膜厚度的均匀，往往造 成靠近电子枪的基板上薄膜厚，反之，则薄。而薄膜厚度的不均匀使玻璃基板光电转换率大 幅下降，质量一致性差，难以在市场上推广使用。
发明内容本实用新型的目的是设计一种用扫描蒸镀制膜设备，使电子枪在移动状态下进行 喷镀，具有镀膜均匀，速度快，质量好，价格低，可大幅度提高基板光电转换率，大幅延长其 使用寿命的优点。 为此，本实用新型采用电子枪位于摆动装置上，电子枪在移动状态下进行喷镀。所 述的摆动装置是扫描支架，呈中空T字形，呈T字形扫描支架的上端位于真空腔体内，扫描 支架与真空腔体之间通过磁流体密封装置轴接，扫描支架下端连接大带轮；摆盘，呈中空T 字形，位于呈T字形扫描支架的上端两侧，摆盘与扫描支架通过磁流体密封装置轴接，摆盘 下端设有摆盘轮，摆盘上端设有电子枪；传动装置，包括传动扫描支架的电机、减速器、传送 轮、传送带和传动摆盘的电机、传送轮和传送带，传动摆盘的电机、传送轮和传送带位于扫 描支架内，传动摆盘的电机通过传送轮和传送带带动摆盘轮，传动扫描支架的电机通过减 速器、传送轮和传送带带动扫描支架转动。 所述的摆动装置是扫描支架，呈中空T字形，呈T字形扫描支架的上端位于真空 腔体内，扫描支架与真空腔体之间通过磁流体密封装置轴接，扫描支架下端连接大带轮；摆 盘，呈中空T字形，位于呈T字形扫描支架的上端两侧；传动装置，由传动扫描支架的电机、 减速器、传送轮、传送带所构成，传动扫描支架的电机通过减速器、传送轮和传送带带动扫 描支架转动。 所述的摆动装置是扫描支架，其内中空，扫描支架的一端位于真空腔体内其上设 有摆盘，位于真空腔体内的扫描支架与真空腔体之间通过密封波纹管轴接，扫描支架另一 端位于真空腔体外并与直线导轨滑配，位于真空腔体外的扫描支架侧端与滚珠丝杆螺接； 摆盘，呈中空T字形，位于真空腔体内的扫描支架内侧上端，摆盘与扫描支架通过磁流体密 封装置轴接，摆盘下端设有摆盘轮，摆盘上端设有电子枪。
3[0007] 所述的摆动装置是扫描支架，其内中空，扫描支架的一端位于真空腔体内其上设 有摆盘，位于真空腔体内的扫描支架与真空腔体之间通过密封波纹管轴接，扫描支架另一 端位于真空腔体外并与直线导轨滑配，位于真空腔体外的扫描支架侧端与滚珠丝杆螺接； 摆盘，呈中空T字形，位于真空腔体内的扫描支架内侧上端，摆盘与扫描支架通过磁流体密 封装置轴接，摆盘下端设有摆盘轮，摆盘上端设有电子枪；传动装置，包括传动扫描支架的 电机、电机轮、传送带、传送轮、受传送轮带动的滚珠丝杆和传动摆盘的电机、传送轮和传送 带，传动摆盘的电机、传送轮和传送带位于扫描支架内，传动摆盘的电机通过传送轮和传送 带带动摆盘轮，传动扫描支架的电机通过电机轮、传送带、传送轮和受传送轮带动的滚珠丝 杆带动扫描支架左右移动。上述结构设计达到了本实用新型的目的。 本实用新型的优点使电子枪在移动状态下进行喷镀，具有镀膜均匀，速度快，质量 好，价格低，可大幅度提高基板光电转换率，经本实用新型蒸镀的基板光电转换率较高，并 大幅延长其使用寿命，利于在市场上推广使用。
图1是本实用新型的结构示意图 图2是图1的A-A剖面局部结构示意图 图3是本实用新型的结构示意图 图4是图3的A-A剖面局部结构示意图 图5是本实用新型的使用状态结构示意图 图6是本实用新型的另一实施例结构示意图
具体实施方案 如图1至图6所示，一种用扫描蒸镀制膜设备，主要由多个电子枪7，机架1和真空
腔体2所组成。电子枪位于摆动装置上，电子枪在移动状态下进行喷镀。 如图1和图2所示，所述的摆动装置由扫描支架、摆盘和传动装置构成。该装置为
扫描支架、摆盘均旋转摆动。 扫描支架3，呈中空T字形，呈T字形扫描支架的上端位于真空腔体内，扫描支架与 真空腔体之间通过磁流体16密封装置轴接，扫描支架下端连接大带轮13。扫描支架上端的 真空腔体内设有加热器9，用于保障真空腔体内的蒸镀温度。位于真空腔体内上端两侧的基 板框8，用于夹持基板10并受位于真空腔体外的输送轴11传动，输送轴由电机带动。 摆盘6，呈中空T字形，位于呈T字形扫描支架的上端两侧，摆盘与扫描支架通过磁 流体12密封装置轴接，摆盘下端设有摆盘轮15，摆盘上端设有电子枪。位于扫描支架的上 端两侧的摆盘为两个摆盘，每个摆盘上设一个或数个电子枪。 传动装置，包括传动扫描支架的电机20、减速器19、传送轮、传送带14和传动摆盘 的电机5、传送轮4和传送带。传动摆盘的电机、传送轮和传送带位于扫描支架内。传动摆 盘的电机通过传送轮和传送带带动摆盘轮15，每个摆盘下端各设一组传动摆盘的装置。传 动扫描支架的电机通过减速器、传送轮和传送带带动扫描支架转动。在真空腔体下端的支 架上还设有电子枪电源盒18，其内的电子枪电源通过电子枪导线17与摆盘上的电子枪连 接。支架用于支撑真空腔体。[0020] 所述的电子枪的数量为一个或数个，电子枪位于摆盘上端。所述的摆盘呈正反 90° 180°范周内转动。所述的扫描支架呈正反90。 180°范周内转动。所述的位于 摆盘上的电子枪呈十字分布。 如图3和图4所示，该结构与如图1和图2所示结构不同的是在扫描支架的大带 轮下端设有一个电刷滑环21，以方便各电子枪电源通过各电子枪导线与摆盘上的电子枪连 接。显然在每个摆盘的摆盘轮下端亦可设有一个电刷滑环，以方便各电子枪电源通过各电 子枪导线与摆盘上的电子枪连接。这样亦可使扫描支架和摆盘在任意范周内转动。其余结 构相同，故不再累述。 如图5所示，是本实用新型的使用状态结构示意图，在真空腔体内，可根据需要在 扫描支架一端设一个摆盘装置。 使用时，传动装置带动扫描支架呈正反90。 180°范周内转动，同时使摆盘呈 正反90° 180°范周内转动，使其上的数个电子枪亦移动，电子枪在移动状态下进行喷 镀，保证了喷镀膜的均匀性。 显然，在上述实施例中扫描支架、摆盘均旋转摆动。在上述实施例中可令扫描支架 摆动，而摆盘固定不转；或反之。喷镀膜的均匀性效果相同。 如扫描支架摆动，而摆盘固定不转时，采用 扫描支架，呈中空T字形，呈T字形扫描支架的上端位于真空腔体内，扫描支架与 真空腔体之间通过磁流体密封装置轴接，扫描支架下端连接大带轮； 摆盘，呈中空T字形，位于呈T字形扫描支架的上端两侧，摆盘固定在扫描支架的 上端两侧； 传动装置，由传动扫描支架的电机、减速器、传送轮、传送带所构成，传动扫描支架 的电机通过减速器、传送轮和传送带带动扫描支架转动。其余结构相同，故不再累述。 亦可去掉摆盘装置及相关的传动装置，多个电子枪直接固定在扫描支架两端，摆 动的扫描支架配合移动的玻璃基板亦可达到喷镀膜均匀的目的。故不再累述。 或如扫描支架固定不转，而摆盘摆动时，采用 扫描支架，呈中空T字形，呈T字形扫描支架的上端位于真空腔体内，扫描支架固 定在真空腔体内； 摆盘，呈中空T字形，位于呈T字形扫描支架的上端两侧，摆盘与扫描支架通过磁 流体密封装置轴接，摆盘下端设有摆盘轮，摆盘上端设有电子枪； 传动装置，由传动摆盘的电机、传送轮和传送带所构成，传动摆盘的电机、传送轮 和传送带位于扫描支架内，传动摆盘的电机通过传送轮和传送带带动摆盘轮。其余结构相 同，故不再累述。 如图6所示，所述的摆动装置还可以包括扫描支架、摆盘和传动装置。该装置为横 向左右摆动。 扫描支架，其内中空，扫描支架的一端位于真空腔体内其上设有摆盘，位于真空腔 体内的扫描支架与真空腔体之间通过密封波纹管28轴接。扫描支架另一端位于真空腔体 外并与直线导轨22滑配。位于真空腔体外的扫描支架侧端与滚珠丝杆26螺接。 摆盘，呈中空T字形，位于真空腔体内的扫描支架内侧上端，摆盘与扫描支架通过 磁流体密封装置轴接，摆盘下端设有摆盘轮，摆盘上端设有电子枪。
5[0037] 传动装置，包括传动扫描支架的电机23、电机轮24、传送带25、传送轮27、受传送
轮带动的滚珠丝杆和传动摆盘的电机、传送轮和传送带。传动摆盘的电机、传送轮和传送带
位于扫描支架内，传动摆盘的电机通过传送轮和传送带带动摆盘轮。传动扫描支架的电机
通过电机轮、传送带、传送轮和受传送轮带动的滚珠丝杆带动扫描支架左右移动。 使用时，传动装置带动扫描支架在直线导轨上横向左右摆动，同时使摆盘呈正反
90° 180°范周内转动，使其上的数个电子枪亦移动，电子枪在移动状态下进行喷镀，保
证了喷镀膜的均匀性。 总之，本实用新型使电子枪在移动状态下进行喷镀，具有镀膜均匀，速度快，质量 好，价格低，可大幅度提高基板光电转换率，经本实用新型蒸镀的基板光电转换率较高，并 大幅延长其使用寿命，利于在市场上推广使用。
权利要求一种用扫描蒸镀制膜设备，主要由多个电子枪、机架和真空腔体所组成，其特征在于电子枪位于摆动装置上，电子枪在移动状态下进行喷镀。
2. 按权利要求1所述的一种用扫描蒸镀制膜设备，其特征在于所述的摆动装置是 扫描支架，呈中空T字形，呈T字形扫描支架的上端位于真空腔体内，扫描支架与真空腔体之间通过磁流体密封装置轴接，扫描支架下端连接大带轮；摆盘，呈中空T字形，位于呈T字形扫描支架的上端两侧，摆盘与扫描支架通过磁流体 密封装置轴接，摆盘下端设有摆盘轮，摆盘上端设有电子枪；传动装置，包括传动扫描支架的电机、减速器、传送轮、传送带和传动摆盘的电机、传送 轮和传送带，传动摆盘的电机、传送轮和传送带位于扫描支架内，传动摆盘的电机通过传送 轮和传送带带动摆盘轮，传动扫描支架的电机通过减速器、传送轮和传送带带动扫描支架 转动。
3. 按权利要求1所述的一种用扫描蒸镀制膜设备，其特征在于所述的摆动装置是 扫描支架，呈中空T字形，呈T字形扫描支架的上端位于真空腔体内，扫描支架与真空腔体之间通过磁流体密封装置轴接，扫描支架下端连接大带轮； 摆盘，呈中空T字形，位于呈T字形扫描支架的上端两侧；传动装置，由传动扫描支架的电机、减速器、传送轮、传送带所构成，传动扫描支架的电 机通过减速器、传送轮和传送带带动扫描支架转动。
4. 按权利要求1所述的一种用扫描蒸镀制膜设备，其特征在于所述的摆动装置是 扫描支架，呈中空T字形，呈T字形扫描支架的上端位于真空腔体内； 摆盘，呈中空T字形，位于呈T字形扫描支架的上端两侧，摆盘与扫描支架通过磁流体密封装置轴接，摆盘下端设有摆盘轮，摆盘上端设有电子枪；传动装置，由传动摆盘的电机、传送轮和传送带所构成，传动摆盘的电机、传送轮和传 送带位于扫描支架内，传动摆盘的电机通过传送轮和传送带带动摆盘轮。
5. 按权利要求1所述的一种用扫描蒸镀制膜设备，其特征在于所述的摆动装置是 扫描支架，其内中空，扫描支架的一端位于真空腔体内其上设有摆盘，位于真空腔体内的扫描支架与真空腔体之间通过密封波纹管轴接，扫描支架另一端位于真空腔体外并与直 线导轨滑配，位于真空腔体外的扫描支架侧端与滚珠丝杆螺接；摆盘，呈中空T字形，位于真空腔体内的扫描支架内侧上端，摆盘与扫描支架通过磁流 体密封装置轴接，摆盘下端设有摆盘轮，摆盘上端设有电子枪；传动装置，包括传动扫描支架的电机、电机轮、传送带、传送轮、受传送轮带动的滚珠 丝杆和传动摆盘的电机、传送轮和传送带，传动摆盘的电机、传送轮和传送带位于扫描支架 内，传动摆盘的电机通过传送轮和传送带带动摆盘轮，传动扫描支架的电机通过电机轮、传 送带、传送轮和受传送轮带动的滚珠丝杆带动扫描支架左右移动。
6. 按权利要求2或3或4或5所述的一种用扫描蒸镀制膜设备，其特征在于所述的 电子枪的数量为一个或数个，电子枪位于摆盘上端。
7. 按权利要求2或3或4或5所述的一种用扫描蒸镀制膜设备，其特征在于所述的 位于摆盘上的电子枪呈十字分布。
专利摘要本实用新型属于一种用扫描蒸镀制膜设备，采用电子枪位于摆动装置上，电子枪在移动状态下进行喷镀。本实用新型使电子枪在移动状态下进行喷镀，具有镀膜均匀，速度快，质量好，价格低，可大幅度提高基板光电转换率，大幅延长其使用寿命的优点。
文档编号C23C14/30GK201459232SQ20092010915
公开日2010年5月12日 申请日期2009年6月22日 优先权日2009年6月22日
发明者冯焕培, 王军, 黎志欣 申请人:北京京运通科技股份有限公司