专利名称：镀膜设备的防漏构件的制作方法
技术领域：
本实用新型提供一种镀膜设备的防漏构件，尤其提供一种充气式o型环，使其配
合机构有效区隔密封数空间，并该等空间得抽气成不同真空压力，且灌入不同制程气体时也不会相互污染或相互影响。
背景技术：
—般机构在组装配置上，难免因为构件材质与加工精度关系而产生缝隙，但其缝隙会产生泄漏等情形，有时候是不被允许的，如在输送气体或液体的管路，则其缝隙将会让气体或液体泄漏出来，而对真空镀膜机使用上，其防漏施作于真空镀膜机活动构件间时，仍要达到防漏结构不泄漏的目标。 该习用的O型环主要设于机构与机构间，制成实心且具若干的弹性，以提供作为机构间锁紧时，迫压住习用0型环使的变形，并达到密封的目的，习用的0型环变形后很难回复。 惟，其上述习知的0型环仍存在有下列缺失 1.因为习用的0型环系制成实心并具若干弹性，以提供压縮密封时的变形密封效用，但因为实心O型环长时间处于压力变形的状态下，乃会使其变型而无法回复，如果使用
于常需开、合作动的机构上时，其变形的o型环将无法有效密封而易产生泄漏者。 2.习用的0型环一般制成实心的圈状0型环，该实心圈状0型环的使用状态受限于只能压縮变形的防漏，常分合作动机构上则无法使用。 再其习用的真空镀膜机的防漏上，主要利用钣金技术将接触面的钣金加工到可密合的程度，使加工过程的密合动作上，钣金嵌入隔板形成密合，方可使密闭空间抽成真空的效果，但其仍有以下缺失 1.该藉由钣金加工使其得以密合，如此精密加工至密合的程度，其加工精度必然要提升，所花费的成本也较多，但是仍无法达到确实防漏效益。 2.金属材料如何精密加工都无法达到完全密合的效果，故习用此种采用金属材料作密合材料的设计，先天已存在缺失；而且在于机械的多次开合后，也会影响到密合效果，造成密合不完全而泄漏；且其泄漏时会造成真空镀膜机不同区域内的不同制程气体相互混杂或相互影响，使产品品质无法控制。
发明内容本实用新型的目的在于，提供一种镀膜设备的防漏构件，以解决习知技术存在的
缺点，该防漏构建在组件分离、组合的多次操作后，密封效果仍能保持，隔舱密封组的多个气密容置空间可调整为不同真空压力，且灌入不同制程气体时仍不会相互污染或相互影响，该构件能紧贴组件进行密封，并在受压下不会变形，由此实现长寿命的完全密封效果。 为实现上述目的，本实用新型一种镀膜设备的防漏构件，该镀膜设备包含有一平
台、一真空腔、一前封板及一后封板，平台供真空腔固定，平台上设有供前封板与后封板滑移的滑轨，后封板设有收发料机构，而真空腔内设有区隔多个容置空间的隔舱密封组；该防 漏构件为弹性体，内部设有充气室，防漏构件的环周设连接充气室的充气嘴，防漏构件设于 容置空间的组合机构间。 其中，该防漏构件为呈筒形的0型环，该0型环具有环形段及环形段之间的直条 段，而该环形段与直条段内部的充气室相互贯通，0型环环周设连通内部充气室的充气嘴。 其中，该0型环设一个以上的充气嘴。 其中，该0型环的环形段为中断设置，中断位置的二端面形成封闭端面。 其中，该容置空间由多角形管体与密封盖封闭形成，防漏构件为0型环，容纳于密
封盖的沟槽内，该O型环设有穿过沟槽孔洞的充气嘴。 其中，该充气嘴为一个以上，密封盖的孔洞数目与充气嘴数目 一致。 其中，该0型环截面为矩形或圆形。 本实用新型技术效果如下 1、镀膜设备的防漏构件，其充气式0型环充气膨胀，使防漏效果更佳，密封效果更 好，并可配合灌气量及后续的补充气体而保持在最佳密封状态。 2、该镀膜设备的防漏构件，以其充气式0型环的使用，得以在活动构件经常开启 闭合情形下，每次闭合时O型环充气防漏，均能保有确实气密防漏的效果。
图1 :本实用新型的其一较佳实施例立体示意图。 图2 :本实用新型的隔舱密封组前视立体示意图。 图3 :本实用新型的真空镀膜机侧剖示简图。 图4 :本实用新型的0型环立体图。 图4A :是图4的局部剖示放大示意图。 图5 :本实用新型的真空腔内室组入收发料机构后的隔板间密合关系局部剖示 图。 图6 :本实用新型的另一较佳实施例立体示意图。 图7 :本实用新型的隔舱密封组局部立体分解图。 图8 :气密盖闭合于隔舱密封组的立体示意图。 图9 :是图8的9-9剖面0型环充气前的剖示图。 图10 :是图8的9-9剖面0型环充气后的剖示图。
具体实施方式参阅图1所示，为本实用新型的一较佳实施例的立体示意图，镀膜设备的的真空 镀膜机1包含有 —平台7，平台7上固定有一真空腔IO，该真空腔10内部形成一中空内室15，平台 顶面靠两侧缘的位置各铺设有滑轨71，两滑轨71上则设沿着两滑轨71滑移而调整位置的 前封板5及后封板6，该后封板6上设有一收发料机构61，该收发料机构61朝真空腔10的 内室15伸出二导轨14。 真空腔10的内室15形成有镀膜区12，镀膜区12通过多个隔板13隔出多个气密容置空间131 ;该后封板6设有隔舱密封组21 (得配合参照图2的隔舱密封组图示)，该隔 舱密封组21设有对应于真空腔10各隔板13的隔板211，当前、后封板5、6朝真空腔10滑 移而使收发料机构61送入至真空腔10内室15时，真空腔10的隔板13与隔舱密封组21 的隔板211将真空腔10内室15区隔形成若干隔舱30、31、32、33、34、35、36(得配合参照图 3的真空镀膜机侧剖示简图)；通过上述结构，真空腔内部抽真空后，真空腔内隔舱30 36 借由泵浦抽气作真空压力调整，可使得各个隔舱30 36内的真空压力进行独立调整，且不 会影响其他隔舱的真空压力调整，由此达到各隔舱30 36的真空压力不一样。 参阅图2、图4、图5所示，该隔舱密封组21依照对应真空腔10 (参阅图1所示) 内室15的隔板13位置，设有隔板211，每一隔板211的二侧面设凸出的板片212、213(如图 2所示)，二板片212、213间形成一嵌槽214，使各嵌槽214提供0型环40 (参阅图4、图5 所示)组设其间，嵌槽214还可供真空腔10的隔板13嵌入，由此真空腔10的各隔板13与 隔舱密封组21的各211与二板片212、213形成一容置空间(如图5所示)，使其0型环40 充气膨胀时，得以有一限制范围，该0型环的充气膨胀能更好的密封隔板13、211与二板片 212、213间任何有可能发生泄漏的缝隙，让各个隔舱30 36(参阅图3所示)完全密封，O 型环40可以为矩形或者圆形。 上述0型环40内部设相互贯通的充气室42 (参图5所示)，0型环40外侧设有充 气嘴411 (如图4所示)连通至内部充气室42 (如图4A所示)。 上述隔舱密封组21与真空腔10的隔板13组成组合机构。 上述0型环40为防漏构件的一种，防漏构件为弹性体，内部设有充气室42，而防漏 构件的环周上设连接充气室的充气嘴41。 参阅图4所示，一立体式的0型环40，包含有周边圈绕的环形段43及其间的多条 直条段44，环形段43与直条段44内部设充气室42 (参图5所示)且相互贯通连接，0型环 40设有二充气嘴41、411，藉由其充气嘴41、411得以充灌气体进入0型环40，并使其充气膨 胀，如此该膨胀的0型环40得以充满于真空镀膜机隔舱的隔板间缝隙内，达到完全密封防 漏的目的。 上述环形段43可以是中断的设置，中断位置的二端面431形成封闭，使充气室封 闭。 参阅图6所示，为本实用新型的另一较佳实施例的立体示意图，该镀膜设备的真 空镀膜机1包含有一平台7，提供真空腔10a进行固定，平台7上铺设滑轨71，前封板5a与 后封板6a能通过滑轨71滑移调整位置，真空腔10a设上滑轨14a，后封板6a上设置的收发 料机构61能通过上滑轨14a校正滑移，真空腔10a的内室15a提供组设一隔舱密封组80， 当前、后封板5a、6a往真空腔10a进行密封动作后，真空腔10a内部能够抽真空，且可对每 一隔舱进行不同真空压力的调整，且每一隔舱内灌注不同制程气体也不会相互污染或相互 影响； 真空镀膜机1的收发料机构61设于后封板6a上，真空腔10a的内室15a的上滑 轨14a提供收发料机构61在上方的滑移校正，真空腔10a内包含隔舱密封组80 (得配合参 照图7的隔舱密封组图示)，当前、后封板5a、6a往真空腔10a进行密封动作时，前、后封板 5a、6a上设置的对应隔舱密封组80开口 82、83的气密盖90则前、后密封隔舱密封组80多 个气密容置空间84，使真空腔10a内部抽吸真空外，每一气密容置空间84还可作不同真空
5压力的调整，且每一气密容置空间84内灌注不同制程气体也不会相互污染或相互影响。 参阅图7所示，显示了本实用新型的隔舱密封组的局部立体分解图，真空镀膜机1 的隔舱密封组80设有多个气密容置空间84，在图7的具体实施方式
中，该气密容置空间84 可设成四个，且每一个气密容置空间84为多角形管体85，多角形管体85的前后两端则形成 有多角形的开口 82、83，隔舱密封组80于多角形管体85之间形成一圆弧凹室86 ; 多个气密盖90，前、后气密盖90的盖体形状类似于开口 82、83，盖体的大小则略大 于开口 82、83，气密盖90盖合隔舱密封组前、后端面的贴靠位置设有环绕沟槽91，沟槽91 一处设有贯通盖体外部的孔洞911，沟槽91内设有立体0型环40a， 0型环40a的充气嘴41a 由孔洞911穿出； 同样如图7所示，各0型环40a的内部设充气室42a (参阅图9所示)，而0型环外 侧面设有连通充气室42a的充气嘴41a， 0型环40a设于气密盖90的沟槽91内。 上述其多角形管体85与气密盖90组成一组合机构。 请参阅图8的气密盖闭合于隔舱密封组的立体示意图，其隔舱密封组80的每一气 密容置空间84的多角形管体85 (参阅图7所示)的前后端开孔82、83，由与气密容置空间 84的对应数量的气密盖90所罩盖封闭，该气密盖90与隔舱密封组80前端面87、或气密盖 90与隔舱密封组80后端面88贴合(配合参阅图10所示)，该气密盖90设有容置0型环 40a的沟槽91， 0型环40a充气膨胀得密封端面87、88与气密盖90贴合形成的缝隙，如此 在抽真空时，得使气密容置空间84确实呈现真空状态，并使其真空腔内各气密容置空间84 的真空状态不相同，灌注的制程气体也不会相互污染，或相互影响。 参阅图9、图10所示，为图8的9-9剖面0型环40a充气前、后的剖示图，其隔舱 密封组80的产品加工完成或待加工前，与气密盖90分离，待欲镀膜的材料装于收发料机构 61 (参阅图6所示)并前封板5a与后封板6a封闭于真空腔10a，真空腔10a可抽真空，每 一气密盖90亦紧密贴于隔舱密封组80的端面87和88，并闭合开口 82或83，使其内部形 成一气密容置空间84，气密盖90在密贴隔舱密封组80端面87和88的适当处设有多角形 环状沟槽91，该沟槽91内设有0型环40a，沟槽91内设有孔洞911贯通至气密盖90的外 部，孔洞911容纳0型环40a的充气嘴41a，使充气嘴41a突出于气密盖90夕卜，充气嘴41a 供压力气体灌入，气体通过充气嘴41a进入0型环40a的充气室42a内，使0型环40a膨胀 而胀满于沟槽91及气密盖90与隔舱密封组80的端面87和88之间的缝隙，如此得以达到 确实防漏的效果，并使每一多角形管体85内部均形成一气密容置空间84，并且各气密容置 空间84的真空压力均能分别调整，且不同气密容置空间84内的不同制程气体也不会相互 影响。 该0型环40a的截面为矩形，亦可制成其他如圆形等几何形状，而其0型环40a的 充气嘴41a可设成一个以上，该气密盖90的孔洞911亦可配合充气嘴41a的数目增减。
权利要求一种镀膜设备的防漏构件，其特征在于，该镀膜设备包含有一平台、一真空腔、一前封板及一后封板，平台供真空腔固定，平台上设有供前封板与后封板滑移的滑轨，后封板设有收发料机构，而真空腔内设有区隔多个容置空间的隔舱密封组；该防漏构件为弹性体，内部设有充气室，防漏构件的环周设连接充气室的充气嘴，防漏构件设于容置空间的组合机构间。
2. 如权利要求1所述的镀膜设备的防漏构件，其特征在于，该防漏构件为呈筒形的0型环，该0型环具有环形段及环形段之间的直条段，而该环形段与直条段内部的充气室相互贯通，0型环环周设连通内部充气室的充气嘴。
3. 如权利要求2所述的镀膜设备的防漏构件，其特征在于，该0型环设一个以上的充气嘴。
4. 如权利要求2所述的镀膜设备的防漏构件，其特征在于，该0型环的环形段为中断设置，中断位置的二端面形成封闭端面。
5. 如权利要求1所述的镀膜设备的防漏构件，其特征在于，该容置空间由多角形管体与密封盖封闭形成，防漏构件为0型环，容纳于密封盖的沟槽内，该0型环设有穿过沟槽孔洞的充气嘴。
6. 如权利要求5所述的镀膜设备的防漏构件，其特征在于，该充气嘴为一个以上，密封盖的孔洞数目与充气嘴数目 一致。
7. 如权利要求5所述的镀膜设备的防漏构件，其特征在于，该0型环截面为矩形或圆形。
专利摘要一种镀膜设备的防漏构件，特别针对真空镀膜机的隔舱密封组的防漏结构，隔舱密封组为隔板式或由多个多角形管体形成，因此配合作气密的立体式O型环具有连通的充气室及对充气室进行充气的充气嘴，当隔舱密封组密合时仍有缝隙，防漏的立体式O型环充气膨胀，得以有效密封防漏，阻绝缝隙泄漏，O型环在构件间分离、组合的多次操作后，密封效果仍能保持，隔舱密封组的多个气密容置空间可调整为不同真空压力，且灌入不同制程气体时仍不会相互污染或相互影响。
文档编号C23C14/56GK201520801SQ20092021691
公开日2010年7月7日 申请日期2009年9月25日 优先权日2009年9月25日
发明者刘镒诚 申请人:建铯科技股份有限公司