专利名称：用于卧式镀膜生产线中镀膜箱体上盖的翻转结构的制作方法
技术领域：
本发明涉及真空镀膜生产线中的设备，具体是是一种用于卧式镀膜生产线中镀膜箱体上盖的翻转。
背景技术：
真空镀膜技术是在真空中把靶材(金属、合金或化合物)进行蒸发(或溅射)，使其沉积在被涂覆的物体(称基片、基板或基体)上的方法。靶材在使用过程中需要周期性的更换。连续型镀膜生产线分为卧式和立式的。立式镀膜生产线的阴极系统和靶材安装在侧面的门上，换靶时，可将真空腔体从侧面打开，通过铰链将侧门(含阴极系统)打开90° 空间进行作业。而卧式镀膜生产线的阴极和靶材需安装至上盖上。换靶时必须将上盖翻转 180°后，进行作业。随着大尺寸镀膜玻璃基板在建筑、太阳能电池基板上的应用等，基板玻璃尺寸不断增大，导致镀膜设备不得不由立式转为卧式镀膜生产线。基板尺寸的增大，导致生产线的上盖(含阴极系统和靶材)也变得很沉重，而一条镀膜生产线上的靶位数又较多， 因此每次换靶作业时，需翻转较多的上盖(含阴极系统和靶材)。现国内的卧式连续镀膜生产线，如大型LOW-E玻璃镀膜生产线，镀膜箱体上盖的翻转，均采用车间顶部安装行车来起吊翻转实现，其对生产车间的净化度要求不高，上盖的翻转均采用车间顶部安装行车，将上盖吊起移至设备侧面，然后翻转180°。但随着镀膜工艺对车间净化度的提高，不允许净化车间内安装行车，因此镀膜箱体上盖的180°翻转就需要解决。此外，现有技术也不利于车间的整体外观效果，另外加装行车还需要将厂房的高度增加。而随着镀膜用靶位数的增多，行车吊起翻转操作，需要一个个吊起，效率相对较低， 也很耗时间。不能实现自动化翻转，还具有一定的危险性。
发明内容
针对上述问题，本发明旨在提供一种能实现大重量上盖的180°自动化翻转，可有效提高安全性和翻转效率的翻转结构。为实现该技术目的，本发明的方案是一种用于卧式镀膜生产线中镀膜箱体上盖的翻转结构，包括箱体、盖于箱体上的含阴极系统的上盖，还包括η字型弯耳，其一端与箱体的侧边铰接，另一端铰接有一个下液压缸；该下液压缸的另一端接在箱体的底部，其通过伸缩可使弯耳90°翻转；所述上盖的一端铰接在弯耳上，弯耳的中部设有一凸起铰接一个上液压缸，该上液压缸的另一端铰接在上盖侧边，其通过伸缩可使上盖90°翻转。本方案完全实现了大重量上盖的180°自动化翻转，有效提高安全性和翻转效率。 在翻转过程中，可让上盖在任意一个位置上停止，这也是起吊翻转装置所不能实现的。另外，还降低了对车间高度的要求，在净化车间内安装也不会影响车间净化度及车间的整体外观效果。
图1为本发明的整体结构示意图。图2为本发明的结构使用状态之一。图3为本发明的结构使用状态之二。
具体实施例方式下面结合附图和具体实施例对本发明做进一步详细说明。如图1所示，本机构可据动作原理分成四部分，一为箱体1，二为箱体上盖(含阴极系统)，三为下液压缸32，四为上液压缸31。在结构上，主要还包括η字型弯耳2，弯耳2的一端与箱体的侧边铰接，另一端铰接有一个下液压缸32 ；该下液压缸32的另一端接在箱体的底部，其通过伸缩可使弯耳90°翻转；所述上盖的一端铰接在弯耳2上，弯耳2的中部设有一凸起铰接一个上液压缸31，该上液压缸31的另一端铰接在上盖侧边，其通过伸缩可使上盖90°翻转。工作时，下液压缸32收缩，使得上盖转到图2所示位置，使其翻转约90°，此时上液压缸31开始收缩工作，使得上盖翻转85°，如图3所示位置。当换靶作业完成后，上液压缸31伸出，将上盖(含阴极系统)翻转回至图2所示，然后下液压缸开始工作，将上盖推回至图1所示，将箱体关闭。完全实现了大重量上盖的180°自动化翻转，有效提高安全性和翻转效率。在翻转过程中，可让上盖在任意一个位置上停止，这也是起吊翻转装置所不能实现的。另外，本发明降低了对车间高度的要求，在净化车间内安装也不会影响车间净化度及车间的整体外观效果。
权利要求
1. 一种用于卧式镀膜生产线中镀膜箱体上盖的翻转结构，包括箱体、盖于箱体上的含阴极系统的上盖，其特征在于还包括一 η字型弯耳，其一端与箱体的侧边铰接，另一端铰接有一个下液压缸；该下液压缸的另一端接在箱体的底部，其通过伸缩可使弯耳90°翻转；所述上盖的一端铰接在弯耳上，弯耳的中部设有一凸起铰接一个上液压缸，该上液压缸的另一端铰接在上盖侧边，其通过伸缩可使上盖90°翻转。
全文摘要
本发明公开了一种能实现大重量上盖的180°自动化翻转，可有效提高安全性和翻转效率的用于卧式镀膜生产线中镀膜箱体上盖的翻转结构，包括箱体、上盖，还包括n字型弯耳，其一端与箱体铰接，另一端铰接有一个下液压缸；该下液压缸的另一端接在箱体的底部；所述上盖的一端铰接在弯耳上，弯耳的中部设有一凸起铰接一个上液压缸，该上液压缸的另一端铰接在上盖侧边。本方案完全实现了大重量上盖的180°自动化翻转，有效提高安全性和翻转效率。在翻转过程中，可让上盖在任意一个位置上停止；另外，还降低了对车间高度的要求，在净化车间内安装也不会影响车间净化度及车间的整体外观效果。
文档编号C23C14/22GK102260848SQ20101018407
公开日2011年11月30日 申请日期2010年5月26日 优先权日2010年5月26日
发明者姜翠宁, 王克斌 申请人:姜翠宁, 王克斌