专利名称：耐崩刀的表面包覆切削工具的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种即使在伴随高热产生的高速连续切削条件下进行硬化钢等硬质合金钢的切削加工时，硬质包覆层也发挥优异的耐崩刀性的表面包覆切削工具(以下，称为包覆工具)。
背景技术：
以往，公知有如下包覆切削工具(称为以往包覆工具)在由碳化钨(以下，以WC 表示)基超硬合金等构成的基体(以下将这些总称为工具基体)的表面，首先形成Ti碳化物层作为下部层，接着，在其上形成由Al2O3与Cr2O3的相互固溶体构成的上部层。专利文献1 日本专利公开昭53-116239号公报目前为如下现状近年来，切削装置的高性能化异常显著，另一方面对切削加工的节省劳力化及节能化以及低成本化的要求强烈，伴随此，切削加工具有高速化的倾向，但在上述的以往包覆工具中，将此用于钢或铸铁等的一般条件下的高速连续切削加工时虽然没有问题，但特意将此使用于硬化钢等硬质合金钢的伴随高热产生的高速连续切削加工时， 在将上述以往的Al2O3与Cr2O3的相互固溶体作为上部层的硬质包覆层中，不能说具有足够的高温硬度和高温强度，所以容易产生崩刀(微小碎片)，其结果在较短时间内达到使用寿命。
发明内容
因此，本发明者们从如上述的观点考虑，为谋求包覆工具的硬质包覆层的耐崩刀性的提高，进行深入研究的结果，得到以下见解。作为上述先行技术文献引用的以往包覆工具的硬质包覆层，首先，形成Ti碳化物层作为下部层，接着，在其上交替层压由Al2O3构成的层和由Cr2O3构成的层之后，通过对此进行热处理形成由Al2O3与Cr2O3的相互固溶体构成的上部层(以下，以以往(Al、Cr)0层表不)O但是，本发明者们发现如下现象若在由Ti化合物构成的下部层表面，首先形成作为中间层的改质氧化铝层(以下，称为改质Al2O3层)，通过该改质Al2O3层形成Al2O3与 Cr2O3的混合层，则结果可以蒸镀形成高温硬度和高温强度都优异的由Al2O3与Cr2O3的混合层(以下，以改质(Al、Cr)0层表示)构成的上部层。上述改质Al2O3层可以设为如下而蒸镀形成。S卩，用一般化学蒸镀装置，例如在以容量％计，AlCl3 3 10%、CO2 :0. 5 3%、 C2H4 0. 01 0. 3%、H2 余量的反应气体组成，反应气氛温度750 900 V，反应气氛压力3 13kPa的低温条件下，在由Ti化合物层构成的下部层的表面形成Al2O3核，此时所述Al2O3核优选为具有20 200nm的平均层厚的Al2O3核薄膜，接着， 在将反应气氛改为压力3 13kPa的氢气气氛并将反应气氛温度升温至1100 1200°C的条件下，对所述Al2O3核薄膜施以加热处理，在这种状态下，可通过以一般条件形成α型 Al2O3层而蒸镀形成改质Al2O3层。对上述改质Al2O3层制作了倾斜角度数分布图，此时，所述以往Al2O3层如图4例示那样，(0001)面的测量倾斜角的分布在0 45度范围内显出无偏倾斜角度数分布图，相反蒸镀形成于所述加热处理Al2O3核薄膜上的改质Al2O3层如图3例示那样，在倾斜角划分区域的特定位置处出现明显的最高峰，就该明显的最高峰位置而言，根据使所述Al2O3核薄膜的平均层厚变化来改变出现于图横轴的倾斜角划分区域的位置，该倾斜角度数分布图如下制作用场致发射扫描电子显微镜，如图1的(a)、(b)中以简要说明图所示，对存在于截面研磨面的测量范围内的具有六方晶系晶格的α型Al2O3晶粒分别照射电子射线，测量所述晶粒的晶面(0001)面的法线相对于基体表面的法线所成的倾斜角，按0. 25度间距划分所述测量倾斜角中处于0 45度范围内的测量倾斜角，且总计存在于各划分区域内的度数而构成倾斜角度数分布图。S卩，由此可知，蒸镀形成于所述加热处理Al2O3核薄膜上的改质Al2O3层为具有 (0001)面取向率高的α型晶体结构的Al2O3层。而且，对由蒸镀形成于上述改质Al2O3层上的改质(Al、Cr)0层构成的上部层制作了构成原子共有晶格点分布图，此时，如图5所示，在Σ 3处存在最高峰且所述Σ 3在整体 Σ Ν+1中所占的分布比例为40 60%，而且，由此可知，该改质(Al、Cr)0层与以往包覆工具的以往(Al、Cr)0层相比，具有更加优异的高温硬度及高温强度，该构成原子共有晶格点分布图如下制作用场致发射扫描电子显微镜对存在于截面研磨面的测量范围内的具有六方晶系晶格的晶粒分别照射电子射线，测量所述晶粒的晶面(0001)面及(10-10)面的法线相对于所述截面研磨面的法线所成的倾斜角，根据从该结果得到的测量倾斜角，计算在相互邻接的晶粒的界面上，各所述构成原子在所述晶粒相互之间共有1个构成原子的晶格点 (构成原子共有晶格点)的分布，以Σ Ν+1表示在所述构成原子共有晶格点之间存在N个 (其中，N成为刚玉型密排六方晶系的晶体结构上2以上的偶数，但从分布频率方面考虑，将 N的上限设为观时，不存在偶数4、8、14、24、及26)不共有构成原子的晶格点的构成原子共有晶格点形态，求出每个Σ Ν+1在整体Σ Ν+1中所占的分布比例，由此制作表示每个Σ Ν+1 在整体Σ Ν+1中所占的分布比例的构成原子共有晶格点分布图(此时，从上述结果，不存在 Σ 5、Σ 9、Σ 15、Σ 25、及Σ 27的构成原子共有晶格点形态)。此外，关于所述专利文献1中的以往(Al、Cr)0层，与上述相同地制作了表示每个 Σ Ν+1在整体Σ Ν+1中所占的分布比例的构成原子共有晶格点分布图的结果，如图6所示， 显出Σ 3的分布比例为20%以下的相对低的构成原子共有晶格点分布图。S卩，改质(Al、Cr) 0层与以往(Al、Cr)0层不同，蒸镀形成改质Al2O3层来作为中间层，从而Σ 3对应粒界的分布比例变得非常高，其结果可知，与以往(Al、Cr)0层相比，高温硬度及高温强度进一步提尚ο如上所述，作为硬质包覆层在由Ti化合物层构成的下部层的表面蒸镀形成改质 Al2O3层作为中间层，并在其上进一步蒸镀形成作为上部层的改质(Al、Cr) 0层，这种本发明的包覆工具与以往包覆工具相比，具有更加优异的高温硬度及高温强度，所以即使在伴随高热产生的硬质合金钢的高速连续切削条件中使用时，也发挥优异的耐崩刀性。该发明是根据上述见解完成的，其具有如下特征，
“一种表面包覆切削工具，在由碳化钨基超硬合金或碳氮化钛基金属陶瓷构成的工具基体表面蒸镀形成由下部层、中间层和上部层构成的硬质包覆层，所述表面包覆切削工具通过蒸镀形成由以下(a) (C)构成的硬质包覆层而构成(a)下部层为Ti化合物层，该Ti化合物层由Ti的碳化物层、氮化物层、碳氮化物层、碳氧化物层、及碳氮氧化物层中的1层或2层以上构成且具有3 20 μ m的整体平均层厚；(b)中间层为α型氧化铝层，该α型氧化铝层在化学蒸镀的状态下具有α型晶体结构且具有1 3 μ m的平均层厚，对该中间层用倾斜角度数分布图表示，此时，在0 10度范围内的倾斜角划分区域处存在最高峰，且存在于所述0 10度范围内的度数的合计占倾斜角度数分布图中的度数整体的45%以上比例，该倾斜角度数分布图如下制作用场致发射扫描电子显微镜对存在于截面研磨面的测量范围内的具有六方晶系晶格的晶粒分别照射电子射线，测量所述晶粒的晶面(0001)面的法线相对于基体表面的法线所成的倾斜角，按0. 25度间距划分所述测量倾斜角中处于0 45度范围内的测量倾斜角，且总计存在于各划分区域内的度数而构成倾斜角度数分布图；(c)上部层为α型氧化铝相与氧化铬相的均勻混合组织层，该均勻混合组织层在化学蒸镀的状态下具有α型晶体结构且具有2 15μπι的平均层厚，而且，在α型氧化铝相的基础材料中均勻分散分布氧化铬相，另外，在该均勻混合组织层中的铬在铬与铝的总量中所占的含有比例为0. 003 0. 2(其中，为原子比)，该上部层在构成原子共有晶格点分布图中，在Σ 3处存在最高峰且所述Σ 3在整体Σ Ν+1中所占的分布比例为40 60%，该构成原子共有晶格点分布图如下制作用场致发射扫描电子显微镜对存在于截面研磨面的测量范围内的具有六方晶系晶格的晶粒分别照射电子射线，测量所述晶粒的晶面(0001)面及(10-10)面的法线相对于所述截面研磨面的法线所成的倾斜角，根据从该结果得到的测量倾斜角，计算在相互邻接的晶粒的界面上， 各所述构成原子在所述晶粒相互之间共有1个构成原子的晶格点(构成原子共有晶格点) 的分布，以Σ Ν+1表示在所述构成原子共有晶格点之间存在N个(其中，N成为刚玉型密排六方晶系的晶体结构上2以上的偶数，但从分布频率方面考虑，将N的上限设为28)不共有构成原子的晶格点的构成原子共有晶格点形态时，求出每个Σ Ν+1在整体Σ Ν+1中所占的分布比例，由此制作表示每个Σ Ν+1在整体Σ Ν+1中所占的分布比例的构成原子共有晶格点分布图。”以下对此发明的包覆工具的硬质包覆层的结构层进行详细说明。下部层的Ti化合物层Ti化合物层作为改质Al2O3层的下部层而存在，除了通过自身所具备的优异的高温强度有助于提高硬质包覆层的高温强度以外，还有均牢固附着于工具基体和改质Al2O3 层而提高对硬质包覆层的工具基体的附着性的作用，但如果其平均层厚不到3 μ m，就无法充分发挥所述作用，另一方面若其平均层厚超过20 μ m,则尤其在伴随高热产生的高速切削中容易引起热塑性变形，这成为偏磨的原因，所以将其平均层厚定为3 20 μ m。中间层的改质Al2O3层
构成中间层的改质Al2O3层可以通过如下形成在一般化学蒸镀装置中，例如在以容量％计，AlCl3 3 10%,CO2 0. 5 3%, C2H4 :0. 01 0. 3%,H2 余量的反应气体组成，反应气氛温度750 900 V，反应气氛压力3 13kPa的低温条件下，在由Ti化合物层构成的下部层的表面形成Al2O3核，此时所述Al2O3核优选为具有20 200nm的平均层厚的Al2O3核薄膜，接着， 在将反应气氛改为压力3 13kPa的氢气气氛并将反应气氛温度升温至1100 1200°C 的条件下对所述Al2O3核薄膜施以加热处理，在这种状态下，可通过以一般条件蒸镀α型 Al2O3层而形成。中间层的改质Al2O3层具备优异的高温硬度，不仅有助于提高耐磨性，而且均牢固附着于下部层的Ti化合物层及上部层的改质(Al、Cr)0层而提高作为硬质包覆层整体的剥离强度。另外，用倾斜角度数分布图表示上述改质Al2O3层，此时，在0 10度范围内的倾斜角划分区域处存在最高峰，且存在于所述0 10度范围内的度数的合计占倾斜角度数分布图中的度数整体的45%以上比例，且(0001)面取向率高，该倾斜角度数分布图如下制作用场致发射扫描电子显微镜对存在于截面研磨面的测量范围内的具有六方晶系晶格的晶粒分别照射电子射线，测量所述晶粒的晶面(0001)面的法线相对于基体表面的法线所成的倾斜角，按0. 25度间距划分所述测量倾斜角中处于0 45度范围内的测量倾斜角，且总计存在于各划分区域内的度数而构成倾斜角度数分布图。而且，通过在这种(0001)面取向率高的改质Al2O3层上蒸镀形成作为上部层的改质(Al、Cr)0层(α型氧化铝相与氧化铬相的均勻混合组织层)，尽管在该改质(Al、Cr)0 层中含Cr成分，也以较高的比例形成Σ 3对应粒界而提高粒界强度，其结果，改质(Al、Cr) 0层具备优异的高温硬度，同时具备优异的高温强度。即，中间层的改质Al2O3层担负如提高上部层的改质(Al、Cr)0层的Σ 3对应粒界的比例这种较大任务。在关于上述改质Al2O3层的倾斜角度数分布图中，存在于0 10度范围内的度数的合计不到倾斜角度数分布图中的度数整体的45 %时，无法期待上部层中的Σ 3对应粒界的比例增加，所以通过在加热处理Al2O3核薄膜上进一步蒸镀α型Al2O3层来形成改质Al2O3 层时，优选将Al2O3核薄膜的平均层厚设为20 200nm。此外，如果由改质Al2O3层构成的中间层的平均层厚不到Ιμπι时，(0001)面取向率就成为不到45%，另一方面，平均层厚超过3 μ m时，与作为上部层的改质(Al、Cr) 0层的粘合强度下降，所以其平均层厚定为1 3ym。上部层的改质(Al、Cr) 0层构成上部层的改质(Al、Cr) 0层可通过在如下形成在一般化学蒸镀装置中，例如在以容量％计，AlCl3 6 10%, CrCl3 :0. 1 1. 2%, CO2 10 15%, HCl 3 5%, H2S 0.05 0.2%、H2 余量的反应气体组成，反应气氛温度950 1000°C，反应气氛压力3 5kPa的条件下，在由改质Al2O3层构成的中间层的表面蒸镀而形成。上部层的改质(Al、Cr)0层表示在α型氧化铝相的基础材料上均勻分散分布氧化铬相的均勻混合组织层，构成基础材料的α型氧化铝相尤其能提高层的高温硬度及耐热性，并且均勻分散分布于基础材料中的氧化铬相尤其能提高高温强度和耐热塑性变形性。并且，由改质(Al、Cr)0层构成的上部层在构成原子共有晶格点分布图中，在Σ 3 处存在最高峰且所述Σ 3在整体Σ Ν+1中所占的分布比例为40 60%，该构成原子共有晶格点分布图如下制作用场致发射扫描电子显微镜对存在于截面研磨面的测量范围内的具有六方晶系晶格的晶粒分别照射电子射线，测量所述晶粒的晶面(0001)面及(10-10)面的法线相对于所述截面研磨面的法线所成的倾斜角，根据从该结果得到的测量倾斜角，计算在相互邻接的晶粒的界面上，各所述构成原子在所述晶粒相互之间共有1个构成原子的晶格点(构成原子共有晶格点)的分布，以Σ Ν+1表示在所述构成原子共有晶格点之间存在 N个(其中，N成为刚玉型密排六方晶系的晶体结构上2以上的偶数，但从分布频率方面考虑，将N的上限设为28)不共有构成原子的晶格点的构成原子共有晶格点形态时，求出每个 Σ Ν+1在整体Σ Ν+1中所占的分布比例，由此制作表示每个Σ Ν+1在整体Σ Ν+1中所占的分布比例的构成原子共有晶格点分布图。S卩，将改质Al2O3层作为中间层来设置，在其上蒸镀形成上部层的改质(Al、Cr)0 层，由此增加Σ 3对应粒界的比例而提高粒界强度，所以其结果，改质(Al、Cr)0层成为高温硬度、高温强度更加优异的层，而使耐崩刀性、耐缺损性提高。而且，为了将Σ 3对应粒界的分布比例设为上述40 60%，在上部层中的Cr在 Cr与Al的总量中所占的含有比例(Cr/(A1+Cr))需为0. 003 0. 2 (其中，为原子比)，Cr 含有比例不到0. 003时，即使可以使Σ 3对应粒界的分布比例增加，上部层的耐热塑性变形性也会变得不充分，存在由偏磨的产生等引起的耐磨性劣化的忧虑。另一方面，如Cr含有比例超过0. 2时，Σ 3对应粒界的分布比例变为不到40%，从而无法期待高温强度的提高。 而且，上部层中的Cr成分的含量在上述0. 003 0. 2 (其中，为原子比)的范围内时，氧化铬相在基础材料中作为均勻微细的分散相而存在，所以不会对硬质包覆层的耐崩刀性、耐缺损性、耐剥离性带来影响。如果由改质(Al、Cr)0层构成的上部层其平均层厚不到2μπι，就无法发挥优异的高温强度，另一方面，若其平均层厚超过15 μ m,则容易产生崩刀等，所以其平均层厚定为 2 15 μ m。此外，从防止崩刀产生等观点考虑，由改质Al2O3层构成的中间层和由改质(Al、 Cr) 0层构成的上部层的合计平均层厚优选设为3 15 μ m。发明效果此本发明的包覆工具即使在伴随高发热的高速连续切削条件下进行硬化钢等硬质合金钢的切削加工中使用时，设置改质Al2O3层作为硬质包覆层的中间层，并在其上进一步设置提高了 Σ 3对应粒界的分布比例的改质(Al、Cr)0层，由此硬质包覆层也具备优异的高温硬度和高温强度，其结果，在长期使用中发挥更加优异的耐崩刀性。
图1是表示(Al、Cr)0层及Al2O3层中的晶粒的(0001)面及(10-10)面的倾斜角的测量状态的简要说明图。图2是表示相互邻接的晶粒的界面处的构成原子共有晶格点形态的单位形态的示意图，(a)表示Σ 3的单位形态，(b)表示Σ 7的单位形态，(c)表示Σ 11的单位形态。图3是本发明的包覆工具13的改质Al2O3层的倾斜角度数分布图。图4是比较包覆工具1的以往Al2O3层的倾斜角度数分布图。图5是本发明的包覆工具13的改质(Al、Cr)0层的构成原子共有晶格点分布图。图6是比较包覆工具1的非改质(Al、Cr)0层的构成原子共有晶格点分布图。
具体实施例方式接着，通过实施例进一步具体说明此发明的包覆工具。[实施例]作为原料粉末，准备均具有平均粒径2 4 μ m的WC粉末、TiC粉末、ZrC粉末、VC 粉末、TaC粉末、NbC粉末、Cr3C2粉末、TiN粉末、TaN粉末、及Co粉末，将这些原料粉末配合成表1所示的配合组成，进一步加入石蜡在丙酮中球磨混合M小时，减压干燥之后，以98MPa 的压力挤压成型为预定形状的压坯，在5Pa的真空中，在1370 1470°C范围内的预定温度中保持1小时的条件下真空烧结该压坯，烧结之后，对刀刃部施以R :0. 07mm的珩磨加工，由此分别制造了具有ISO · CNMG160412规定的多刃刀片形状的WC基超硬合金制的工具基体 A F。并且，作为原料粉末，准备均具有平均粒径0. 5 2 μ m的TiCN(以质量比计，为 TiC/TiN = 50/50)粉末、Mo2C粉末、ZrC粉末、NbC粉末、TaC粉末、WC粉末、Co粉末，及Ni 粉末，将这些原料粉末配合成表2所示的配合组成，用球磨机湿式混合M小时，干燥之后， 以98ΜΙ^的压力挤压成型为压坯，在1. 的氮气气氛中，在温度1540°C中保持1小时的条件下烧结该压坯，烧结之后，对刀刃部施以R :0. 07mm的珩磨加工，由此形成了具有ISO规格· CNMG160412的刀片形状的TiCN基金属陶瓷制工具基体a f。接着，将这些工具基体A F及工具基体a f分别装入一般化学蒸镀装置中，首先，用表3 (表3中的I-TiCN表示日本专利公开平6-8010号公报中记载的具有纵长生长结晶组织的TiCN层的形成条件，除此以外表示一般的粒状结晶组织的形成条件)所示的条件，以表6所示的组合及目标层厚蒸镀形成Ti化合物层作为硬质包覆层的下部层，接着，同样用表4所示的条件，以表7所示的组合及目标层厚蒸镀形成改质Al2O3层作为硬质包覆层的中间层，另外，用表5所示的条件，以表7所示的组合及目标层厚蒸镀形成改质(Al、Cr)0 层作为硬质包覆层的上部层，由此分别制造了本发明的包覆工具1 13。从比较的目的考虑，如表8所示，作为硬质包覆层的中间层，用表4所示的条件， 以表8所示的目标层厚形成以往Al2O3层，另外，用表6 (a)所示的条件交替层压Al2O3层和 Cr2O3层，以表6(b)所示的各层的层厚、热处理、目标层厚蒸镀形成以往(Al、Cr)0层作为硬质包覆层的上部层，由此分别制造了比较包覆工具1 13。接着，对上述本发明的包覆工具1 13及比较包覆工具1 13的构成硬质包覆层的中间层的改质Al2O3层及以往Al2O3层各自分别制作倾斜角度数分布图，该倾斜角度数分布图如下制作用场致发射扫描电子显微镜对存在于截面研磨面的测量范围内的具有六方晶系晶格的晶粒分别照射电子射线，测量所述晶粒的晶面(0001)面的法线相对于基体表面的法线所成的倾斜角，按0. 25度间距划分所述测量倾斜角中处于0 45度范围内的测量倾斜角，且总计存在于各划分区域内的度数而构成倾斜角度数分布图。
S卩，通过如下过程制作在将与工具基体表面垂直的面分别设为研磨面的状态下， 设处于场致发射扫描电子显微镜的镜筒内，以与所述研磨面70度的入射角度且以InA的照射电流对存在于各自所述研磨面的测量范围内的具有六方晶系晶格的晶粒分别照射15kV 的加速电压的电子射线，用电子背散射衍射装置在30Χ50μπι的区域以0. lym/st印的间隔测量所述晶粒的晶面(0001)面的法线相对于基体表面的法线所成的倾斜角，根据该测量结果，按0. 25度的间距划分所述测量倾斜角中处于0 45度范围内的测量倾斜角，且总计存在于各划分区域内的度数。从该结果得到的各种改质Al2O3层及以往Al2O3层的倾斜角度数分布图求出最高峰所存在的倾斜角划分区域、及存在于0 10度范围内的度数的合计在倾斜角度数分布图中的度数整体中所占的比例，将该值分别示于表7、表8。如表6中分别所示，在上述各种倾斜角度数分布图中，本发明的包覆工具的改质 Al2O3层在0 10度范围内都存在最高峰，而且倾斜角度数分布图中的存在于0 10度范围内的度数的合计在度数整体中所占的比例显出45%以上，相反以往Al2O3层如表7中分别所示，在0 10度范围内都不存在最高峰，而且存在于0 10度范围内的度数的合计比例也至多不过10%这种小比例，且没有向特定方向的(0001)面的取向性。此外，图3是表示本发明的包覆工具13的改质Al2O3层的倾斜角度数分布图，图4 是表示比较包覆工具1的以往Al2O3层的倾斜角度数分布图。接着，用场致发射扫描电子显微镜对构成上述本发明的包覆工具1 13的上部层的改质(Al、Cr) 0层及构成比较包覆工具1 13的硬质包覆层的以往(Al、Cr)0层各自分别制作了构成原子共有晶格点分布图。S卩，上述构成原子共有晶格点分布图通过如下制作在将上述改质(Al、Cr)0层及以往(Al、Cr)0层的截面设为研磨面的状态下，设处于场致发射扫描电子显微镜的镜筒内， 以与所述研磨面70度的入射角度且以InA的照射电流对存在于所述截面研磨面的测量范围内的晶粒分别照射15kV的加速电压的电子射线，用电子背散射衍射装置，在30 X 50 μ m 的区域以0. lym/st印的间隔测量所述晶粒的晶面(0001)面及(10-10)面的法线相对于所述截面研磨面的法线所成的倾斜角，根据从该结果得到的测量倾斜角，如图2所示，计算在相互邻接的晶粒的界面上，各所述构成原子在所述晶粒相互之间共有1个构成原子的晶格点(构成原子共有晶格点)的分布，以Σ Ν+1表示在所述构成原子共有晶格点之间存在 N个(其中，N成为刚玉型密排六方晶系的晶体结构上2以上的偶数，但从分布频率方面考虑，将N的上限设为观时，不存在偶数4、8、14、24、及26)不共有构成原子的晶格点的构成原子共有晶格点形态时，求出每个Σ Ν+1在整体Σ Ν+1中所占的分布比例，由此制作构成原子共有晶格点分布图。在从该结果得到的各种改质(Al、Cr)0层及以往(Al、Cr)0层的构成原子共有晶格点分布图中，分别求出Σ 3在整体Σ Ν+1 (从上述结果，Σ 3、Σ 7、Σ 11、Σ 13、Σ 17、Σ 19、 Σ 21、Σ 23、及Σ四各自的分布比例的合计)中所占的分布比例，将该值分别示于表7、表8。在上述各种构成原子共有晶格点分布图中，如表6中分别所示，本发明的包覆工具的改质(Al、Cr)0层均显出Σ 3所占的分布比例为40 60%的构成原子共有晶格点分布图，相反比较包覆工具的非改质(Al、Cr) 0层如表7中分别所示，均显出Σ 3的分布比例为20%以下的构成原子共有晶格点分布图，Σ 3对应粒界的分布比例较小。此外，图5表示本发明的包覆工具13的改质(Al、Cr)0层的构成原子共有晶格点分布图，图6表示比较包覆工具1的以往(Al、Cr)0层的构成原子共有晶格点分布图。并且，用扫描电子显微镜测量(测量纵截面)本发明的包覆工具1 13及比较包覆工具1 13的硬质包覆层的各结构层的厚度的结果，均显出实际上与目标层厚相同的平均层厚(5点测量的平均值)。接着，对于上述本发明的包覆工具1 13及比较包覆工具1 13，均以使用固定夹具拧紧在工具钢制切刀的前端部的状态，进行在被切削材料JIS · SCr420H的圆棒、切削速度270m/min、吃刀深度0· 10讓、给料速度0.15mm/rev,切削时间5分钟的条件(称为切削条件A)下的硬化铬钢的干式高速连续切削试验(一般的切削速度为200m/min)、和在被切削材料JIS · SCM415H的圆棒、切削速度270m/min、吃刀深度0.10mm、给料速度0.17mm/rev、切削时间5分钟的条件(称为切削条件B)下的硬化铬钼钢的干式高速连续切削试验(一般的切削速度为200m/min)，在所有切削试验中测量了刀刃的后刀面磨损宽度。将该测量结果示于表9。
权利要求
1. 一种表面包覆切削工具，在由碳化钨基超硬合金或碳氮化钛基金属陶瓷构成的工具基体的表面蒸镀形成由下部层、中间层和上部层构成的硬质包覆层，其特征在于，所述表面包覆切削工具通过蒸镀形成由以下(a) (c)构成的硬质包覆层而构成(a)下部层为Ti化合物层，所述Ti化合物层由Ti的碳化物层、氮化物层、碳氮化物层、 碳氧化物层、及碳氮氧化物层中的1层或2层以上构成且具有3 20 μ m的整体平均层厚；(b)中间层为α型氧化铝层，所述α型氧化铝层在化学蒸镀的状态下具有α型晶体结构且具有1 3 μ m的平均层厚，对该中间层用倾斜角度数分布图表示，此时，在0 10度范围内的倾斜角划分区域处存在最高峰，且存在于所述0 10度范围内的度数的合计占倾斜角度数分布图中的度数整体的45%以上比例，所述倾斜角度数分布图如下制作用场致发射扫描电子显微镜对存在于截面研磨面的测量范围内的具有六方晶系晶格的晶粒分别照射电子射线，测量所述晶粒的晶面(0001)面的法线相对于基体表面的法线所成的倾斜角，按0. 25度间距划分所述测量倾斜角中处于0 45度范围内的测量倾斜角，且总计存在于各划分区域内的度数而构成倾斜角度数分布图；(c)上部层为α型氧化铝相与氧化铬相的均勻混合组织层，所述均勻混合组织层在化学蒸镀的状态下具有α型晶体结构且具有2 15μπι的平均层厚，而且，在α型氧化铝相的基础材料中均勻分散分布氧化铬相，另外，在该均勻混合组织层中的铬在铬与铝的总量中所占的含有比例以原子比计为0. 003 0. 2，该上部层在构成原子共有晶格点分布图中，在Σ 3处存在最高峰且所述Σ 3在整体 Σ Ν+1中所占的分布比例为40 60%，所述构成原子共有晶格点分布图如下制作用场致发射扫描电子显微镜对存在于截面研磨面的测量范围内的具有六方晶系晶格的晶粒分别照射电子射线，测量所述晶粒的晶面(0001)面及(10-10)面的法线相对于所述截面研磨面的法线所成的倾斜角，根据从该结果得到的测量倾斜角，计算在相互邻接的晶粒的界面上， 各所述构成原子在所述晶粒相互之间共有1个构成原子的晶格点，即构成原子共有晶格点的分布，以Σ Ν+1表示在所述构成原子共有晶格点之间存在N个不共有构成原子的晶格点的构成原子共有晶格点形态时，求出每个Σ Ν+1在整体Σ Ν+1中所占的分布比例，由此制作表示每个Σ Ν+1在整体Σ Ν+1中所占的分布比例的构成原子共有晶格点分布图，其中，N成为刚玉型密排六方晶系的晶体结构上2以上的偶数，但从分布频率方面考虑，将N的上限设为28。
全文摘要
本发明提供一种在硬质合金钢的高速连续切削加工中发挥优异的耐崩刀性的表面包覆切削工具。在工具基体表面蒸镀形成由下部层、中间层、和上部层构成的硬质包覆层的表面包覆切削工具中，下部层为Ti化合物层，中间层为(0001)面取向率高的α型Al2O3层，上部层为Al2O3相与Cr2O3相的均匀混合组织层，另外，计算在该混合组织层的各晶面中相互邻接的晶粒的界面上，共有1个构成原子的晶格点(构成原子共有晶格点)的分布，以∑N+1表示在所述构成原子共有晶格点之间存在N个不共有构成原子的晶格点的构成原子共有晶格点形态时，在∑3处存在最高峰，并且所述∑3在整体∑N+1中所占的分布比例为40～60％。
文档编号C23C14/24GK102398050SQ20101028024
公开日2012年4月4日 申请日期2010年9月9日 优先权日2010年9月9日
发明者中村惠滋, 五十岚诚, 富田兴平, 长田晃 申请人:三菱综合材料株式会社