专利名称：化学机械研磨用金刚石修整器的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种化学机械研磨器，尤其涉及一种化学机械研磨用金刚石修整
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背景技术：
随着各种电子器件体积小型化的发展，IC行业的集成度也在不断提升，这就需要 在晶圆基板上做多层处理，如光学显影、蚀刻、气相沉积、高温制程、离子植入等，而且蚀刻 和沉积是多次进行的，每次之间都必须要经过化学机械研磨(CMP)的工序，所以随着高集 成度要求的不断提高，晶圆表面所做的“层数”就越多，CMP的工序也越发频繁和重要。化学 机械研磨工具一般包括研磨垫。为了保持研磨垫的高切削能力、高排污能力，就必须要使研 磨垫能够始终保持一种多孔、微观上凹凸不平的结构，也就是要对研磨垫做在线修正，修正 的工具一般采用金刚石修正器。目前国内外的同类产品中，主要是在磨轮上设置金刚石工 作层，而金刚石工作层只有三种结构外低内高的斜面结构、圆弧结构和平面结构。斜面结 构和圆弧结构都存在高点磨损严重的缺点，使真正参与工作的金刚石不到5%，使产品的寿 命大大降低，造成浪费。平面结构虽然有较长的寿命，但是在磨削修正过程中对研磨垫的挤 压缺少缓冲，如果加压不当，极易对研磨垫造成破损或微观移位，使研磨垫出现局部“鼓泡” 现象，使研磨垫平面不再平整，严重时甚至会造成晶圆的报废。
实用新型内容本实用新型所要解决的技术问题是针对上述现有技术的不足，提供一种质量好， 使用寿命长，对研磨垫的修正效果好的化学机械研磨用金刚石修整器。为解决结局上述技术问题，本实用新型采用的技术方案为一种化学机械研磨用 金刚石修整器，包括磨轮，所述磨轮上设有金刚石研磨面，所述金刚石研磨面包括外环面、 中环面和内环面，外环面和内环面的径向截面为圆弧形，中环面为平面，外环面、中环面和 内环面依次相接形成金刚石研磨面。弧面和平面的结合，既能提高金刚石的利用率，提高修 正质量，也延长了化学机械研磨用金刚石修整器的使用寿命。作为本实用新型进一步改进的技术方案，所述金刚石研磨面上沿磨轮径向还设有 多个凹槽，多个凹槽均勻分布在金刚石研磨面上。凹槽能够容纳磨削时所产生的碎屑或者 粉末，也方便碎屑或者粉末的及时排除。作为本实用新型进一步改进的技术方案，所述凹槽问为八个。作为本实用新型进一步改进的技术方案，所述磨轮为中间设有通孔的圆环状磨 轮。通孔用于安装化学机械研磨用金刚石修整器。作为本实用新型进一步改进的技术方案，所述磨轮上靠近内环面内侧设有至少两 个定位孔。定位孔用于化学机械研磨用金刚石修整器的安装和定位。本实用新型在磨轮上设置金刚石复层，即研磨工作区，研磨工作区采用圆弧和平 面相结合的方式，集合了圆弧状工作区和平面式工作区的优点，因此在改善化学机械研磨用金刚石修整器的使用寿命的同时，还有效地保持了圆弧型结构的“缓冲进给”的效果，确 保了研磨垫的正常使用，避免了研磨垫的非正常损坏。
图1为本实用新型实施例1的结构示意图。图2为本实用新型实施例1的结构示意图。图3为本实用新型实施例1的结构示意图。图4为本实用新型实施例1的结构示意图。图5为图4的A-A向剖视示意图。图6为图5中B处的放大示意图。图7为4中的凹槽示意图。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型的具体实施方式
作进一步说明。参见图1、图2、图3和图4，本化学机械研磨用金刚石修整器包括磨轮1所述磨轮 1设有金刚石研磨面，金刚石研磨面包括外环面2、中环面3和内外环面4，参见图5和图6， 外环面2和内环面4的径向截面为圆弧形，中环面3为平面，外环面2、中环面3和内环面4 依次平缓相接，形成沿磨轮1周向突起的环状金刚石研磨面。金刚石研磨面上沿磨轮1径 向还设有多个凹槽5，见图7，多个凹槽5均勻分布在金刚石研磨面上。凹槽5能够容纳磨 削时所产生的碎屑或者粉末，也方便碎屑或者粉末的及时排除。凹槽5的数量可以跟实际 需要而定，本实施例中，凹槽5为八个。磨轮1为中间设有通孔6的圆环状磨轮，即磨轮1 中间沿其轴向设有用于安装本化学机械研磨用金刚石修整器的通孔6。磨轮1上靠近内环 面4内侧设有至少两个定位孔7，定位孔7可用于本化学机械研磨用金刚石修整器安装时 的定位，定位孔7的数量也可根据格局实际需要而定，本实施例中为两个定位孔7。
权利要求一种化学机械研磨用金刚石修整器，包括磨轮(1)，所述磨轮(1)上设有金刚石研磨面，其特征在于所述金刚石研磨面包括外环面(2)、中环面(3)和内环面(4)，外环面(2)和内环面(4)的径向截面为圆弧形，中环面(3)为平面，外环面(2)、中环面(3)和内环面(4)依次相接形成金刚石研磨面。
2.根据权利要求1所述的化学机械研磨用金刚石修整器，其特征在于所述金刚石研 磨面上沿磨轮(1)径向还设有多个凹槽(5)，多个凹槽(5)均勻分布在金刚石研磨面上。
3.根据权利要求1所述的化学机械研磨用金刚石修整器金刚石修整器，其特征在于 所述凹槽(5)为八个。
4.根据权利要求1所述的化学机械研磨用金刚石修整器金刚石修整器，其特征在于 所述磨轮(1)为中间设有通孔(6)的圆环状磨轮。
5.根据权利要求1所述的化学机械研磨用金刚石修整器金刚石修整器，其特征在于 所述磨轮(1)上靠近内环面(4)内侧设有至少两个定位孔(7)。
专利摘要本实用新型公开以了一种化学机械研磨用金刚石修整器，包括磨轮，所述磨轮上设有金刚石研磨面，金刚石研磨面包括外环面、中环面和内环面，外环面和内环面的径向截面为圆弧形，中环面为平面，外环面、中环面和内环面依次相接形成金刚石研磨面，金刚石研磨面上沿磨轮径向还设有多个凹槽，多个凹槽均匀分布在金刚石研磨面上。弧面和平面的结合，既能提高金刚石的利用率，提高修正质量，也延长了金刚石修整器的使用寿命。凹槽能够容纳磨削时所产生的碎屑或者粉末，并方便碎屑或者粉末的及时排除。本实用新型在改善使用寿命的同时，还有效地保持了圆弧型结构的“缓冲进给”的效果，确保了研磨垫的正常使用，避免了研磨垫的非正常损坏。
文档编号B24B53/12GK201645323SQ20102014983
公开日2010年11月24日 申请日期2010年4月2日 优先权日2010年4月2日
发明者邹余耀 申请人:南京三超金刚石工具有限公司