专利名称：石墨框周转装载车的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及光伏电池生产过程中使用的工位器具，尤其涉及一种PECVD用石 墨框的周转装载车。
技术背景PECVD是太阳能电池片等离子体化学沉积镀膜法的简称，在太阳能电池的生产过 程中，对硅片镀膜是提高太阳能吸收效率的关键技术，根据硅片的光电转换发电原理，光线 照射到硅片上存在反射，硅片的光学损失和复合损失都会使太阳能电池的输出低于理想 值，对硅片表面进行镀膜处理是目前工业化生产应用层面上的成熟技术，目前，硅片镀膜多 数采用平板式等离子体化学沉积法，即通过PECVD在硅片表面形成一层减反射膜。太阳能电池镀膜设备的化学沉积镀膜原理是在密闭的真空沉积源中装有多根真 空石英管，在每根真空石英管中放有一根铜管，向沉积源中通入硅烷和氨气，再通过电控部 分使真空石英管中的铜管发射出微波，在高温条件下，沉积源中的硅烷、氨气反应生成氮化 硅，氮化硅会慢慢沉积在电池片表面上，从而实现硅片镀膜。由于氮化硅具有良好的减反射 性能，因此在硅片的吸光面进行镀膜可以大幅度提高太阳能电池的吸光效率。在整个沉积过程中，电池片被挂放于如图1所示的方形石墨框上的框格中，石墨 框放置于沉积源上方，反应生成的氮化硅向上沉积于电池片表面，同时也有部分沉积在石 墨框上，因此，在PECVD之后，需要将沉积在石墨框上的氮化硅去除。目前，将石墨框运送到 下道清洗工序是靠人工搬运，然而由于在PECVD之后石墨框的温度较高，人工无法用手直 接搬运，即使带上厚重的隔热手套，也忍受不了全程搬运的热量，必须等冷却之后再搬运， 由于石墨框的平面尺寸较大，重量也不轻，一个人一次只能搬运二至三个石墨框，不仅劳动 强度大，而且效率低
实用新型内容
本实用新型的目的是提供一种石墨框周转装载车，它不仅能在PECVD之后石墨框 无需冷却直接搬运，而且一人一次就能轻松搬运几十个石墨框，劳动强度小，生产效率高。本实用新型所采用的技术方案是本实用新型所述石墨框周转装载车，其特征是它包括底部框架、后支撑框架、倾 斜框架、前支撑柱和脚轮，底部框架水平放置，脚轮安装在底部框架的底部；后支撑框架、倾 斜框架和前支撑柱均安装在底部框架的上表面，倾斜框架与底部框架之间的夹角为90° 150°，后支撑框架的高端与倾斜框架的高端固定连接，底部框架、后支撑框架和倾斜框架 长度相同，且为石墨框边长的6/10 9/10，倾斜框架的宽度为石墨框边长的6/10 9/10， 两个前支撑柱焊接在底部框架的外侧角上，其高度为30毫米 100毫米。进一步，倾斜框架与底部框架之间的夹角为120°，底部框架、后支撑框架和倾斜 框架长度相同，且为石墨框边长的9/10，倾斜框架的宽度为石墨框边长的7/10。有了本实用新型，操作人员可以将石墨框周转装载车直接推到石墨框下线处，戴
3上隔热手套可以将刚下线的高温石墨框逐块搬放在底部框架和倾斜框架上，由于搬运是瞬 间动作，高温石墨框不会炀伤操作人员的手，石墨框在PECVD之后，可以直接下线运到下道 清洗工序，无需等石墨框冷却再搬运，这样不仅不影响镀膜生产，而且有利于降低镀膜车间 的温度，同时，较高温度的石墨框在下道清洗工序中更利于清除沉积在石墨框上的氮化硅。 搬运石墨框的工作一个人就能独立完成，且一次可运输几十块石墨框，不仅搬运劳动强度 低，而且搬运效率高。
图1为石墨框的结构示意图；图2为本实用新型的结构示意图。图中1_底部框架；2-后支撑框架；3-倾斜框架；4-前支撑柱；5-脚轮。
具体实施方式
以下结合附图说明本实用新型的具体实施方式
本实用新型所述石墨框周转装载车，如图2所示，它由底部框架1、后支撑框架2、 倾斜框架3、前支撑柱4和脚轮5组成，底部框架1水平放置，脚轮5安装在底部框架1的底 部；后支撑框架2、倾斜框架3和前支撑柱4均安装在底部框架1的上表面，倾斜框架3与 底部框架1之间的夹角为120°，后支撑框架2的高端与倾斜框架3的高端固定连接，底部 框架1、后支撑框架2和倾斜框架3长度相同，且为石墨框边长的9/10，倾斜框架3的宽度 为石墨框边长的6/10，两个前支撑柱4焊接在底部框架1的外侧角上，其高度为50毫米。本实用新型的实施方式很多，倾斜框架3与底部框架1之间的夹角在90° 150°之间均可，底部框架1、后支撑框架2和倾斜框架3长度相同，且为石墨框边长的 6/10 9/10，倾斜框架3的宽度为石墨框边长的6/10 9/10均可。
权利要求一种石墨框周转装载车，其特征是它包括底部框架(1)、后支撑框架(2)、倾斜框架(3)、前支撑柱(4)和脚轮(5)，底部框架(1)水平放置，脚轮(5)安装在底部框架(1)的底部；后支撑框架(2)、倾斜框架(3)和前支撑柱(4)均安装在底部框架(1)的上表面，倾斜框架(3)与底部框架(1)之间的夹角为90°～150°，后支撑框架(2)的高端与倾斜框架(3)的高端固定连接，底部框架(1)、后支撑框架(2)和倾斜框架(3)长度相同，且为石墨框边长的6/10～9/10，倾斜框架(3)的宽度为石墨框边长的6/10～9/10，两个前支撑柱(4)焊接在底部框架(1)的外侧角上，其高度为30毫米～100毫米。
2.根据权利要求1所述石墨框周转装载车，其特征是倾斜框架(3)与底部框架(1)之 间的夹角为120°，底部框架(1)、后支撑框架(2)和倾斜框架(3)的长度为石墨框边长的 9/10，倾斜框架(3)的宽度为石墨框边长的7/10。
专利摘要一种石墨框周转装载车，它包括底部框架、后支撑框架、倾斜框架、前支撑柱和脚轮，底部框架水平放置，脚轮安装在底部框架的底部；后支撑框架、倾斜框架和前支撑柱均安装在底部框架的上表面，倾斜框架与底部框架之间的夹角为90°～150°，后支撑框架的高端与倾斜框架的高端固定连接，底部框架、后支撑框架和倾斜框架长度为石墨框边长的6/10～9/10，倾斜框架的宽度为石墨框边长的6/10～9/10，前支撑柱高度为30毫米～100毫米。石墨框下线后可以直接运到下道清洗工序，不影响镀膜生产，有利于降低镀膜车间的温度，还利于氮化硅的清除。降低了搬运石墨框的劳动强度，提高了搬运效率。
文档编号C23C16/44GK201762440SQ20102028724
公开日2011年3月16日 申请日期2010年8月7日 优先权日2010年8月7日
发明者滕息生 申请人:常州亿晶光电科技有限公司