反射膜层叠体的制作方法

专利名称：反射膜层叠体的制作方法
技术领域：
本发明涉及反射膜层叠体和具备该反射膜层叠体的车辆用灯具、照明器具、光学
背景技术：
纯Al膜具有高反射率(88% 90% )，因此，作为车辆用灯具和照明器具、或装饰 品等的反射膜使用。反射膜所需要的耐久性中包括耐酸性、耐碱性、耐温水性、耐热性、耐湿 性、耐硫化性、耐盐水性等。但是，由于纯Al膜是两性金属，所以对酸和碱的耐蚀性低。因 此，在将由纯Al膜构成的反射膜(纯Al反射膜)使用于车辆用灯具等时，存在反射膜短期 劣化，不能长时间维持高反射率的问题。作为长时间维持纯Al反射膜的高反射率的方法，有在纯Al反射膜的表面形成具 有酸碱耐蚀性的保护膜的方法。但是，该方法在保护膜上存在针孔等缺陷时，经该缺陷部分 纯Al反射膜的腐蚀(氧化或溶出)发生，导致反射率降低。该针孔等缺陷引起的反射率的 降低能够通过加厚保护膜的厚度得到抑制，但是，制品的生产性降低，成本升高，因此，并非 是有效手段。鉴于上述情况，在专利文献1中公开了在反射膜的表面形成难以发生针孔等缺陷 的保护膜(顶覆层(卜W 二一卜))的方法。具体地说，在真空槽中在等离子体容易产生 的压力环境下，导入HMDS(六甲基二硅胺)或TEOS(四乙氧基硅烷)等的顶覆材的单体，使 所述单体在等离子体中聚合在反射膜的表面析出，在索素华反射膜的表面设置顶覆材的方 法。但是，在该方法中，由于需要维护(真空槽的清理等)用于形成保护膜(顶覆层)的装 置，所以制品的生产性下降。另外，上述专利文献1中公开了在树脂基材之上顺序形成底覆 层、等离子体处理层和顶覆层的层叠体，也存在厚膜化产生的反射率降低的问题。另外，作为长时间维持纯Al反射膜的高反射率的方法，还公开了用其他元素将Al 合金化的方法。例如在专利文献2中公开了添加了周期表的IIIa族、IVa族、Va族、VIa族、 VIIa族、VIII族的转移金属元素的Al合金反射膜。但是，该Al合金反射膜虽然在从酸性 到中性的区域中显示优异的耐蚀性，但是，合金设计思想是形成化学稳定的惰态，完全没有 考虑惰性皮膜的溶解导致的腐蚀进行的碱性区域的耐蚀性的提高。因此，在存在针孔缺陷 时，经该缺欠部分发生Al合金反射膜的腐蚀(碱导致的溶出)，产生反射率下降的问题。另外，头等和尾灯等车辆用灯具还存在容易内部结露产生水滴的问题。其原因是 含有湿气的外部气体侵入车辆用灯具的内部，并且，被亮灯时光源发出的热加热，而在灯灭 时被外部气体或雨等冷却，这种加热冷却反复的原因。而且，水滴产生时会导致车辆用灯具 所具备的反射膜的透明化(氧化)和反射率的下降。因此，无论是耐酸性还是耐碱性，均强 烈希望耐温水性优异的反射膜。同样的问题也发生在照明器具和光学镜等中。专利文献1 特开平11-221517号公报专利文献2 特开平7-301705号公报

发明内容
本发明鉴于上述情况而形成，本发明的目的在于以高生产性、低成本提供具有极 力减少针孔的保护膜，并作为其结果提高具有纯Al膜或Al基合金膜(以下，也称为Al膜) 的反射膜层叠体的耐碱性和耐温水性，在碱环境和温水环境中的Al的溶出和氧化引起的 Al膜的反射率的下降难以发生的反射膜层叠体。

能够解决上述课题的本发明的反射膜层叠体在基体上作为第1层具有纯Al膜或 Al基合金膜，在所述第1层上作为第2层具有包括从由Zr、Cr、Y、Nb、Hf、Ta、W、Ti、Si和 Mo构成的群中选出的一种以上元素的金属的氧化物膜，所述第2层的厚度为0. 1 lOnm。还有，在本发明说明书中所述“基体上”或“层上”包括第1层和第2层上下设置 的情况，也包括经其他的膜设置的情况。另外，在本发明说明书中，所谓“包括从…选出的一种以上元素的金属的氧化物” 是指形成第2层的氧化物膜的金属，包括上述群的元素中的至少一种。具体地说，上述金属 可以仅由上述群中的元素构成，或者也可以在上述群中的元素之外，在不阻碍上述群中的 元素的使用效果的范围内含有上述群中不含有的其他元素。上述“其他元素”例如可以例 举 Al、Fe、Cu 等。本发明的反射膜层叠体的优选形态为，所述第1层是含有0. 05 2. 5原子％的 稀土金属元素的Al基合金膜，是含有0. 05 3原子％的ττ的Al基合金膜，另外是含有 0. 2 6. 3原子％的Mg的Al基合金膜。还有，在本发明说明书中，所谓“稀土金属元素”是指镧系元素，还有Sc和Y元素。另外，本发明中的“纯Al膜”是指含有98. 5原子％以上的Al，余量是不可避免的 杂质。还有，不可避免的杂质是稀土金属元素或&时，其含有率分别低于0.05原子％。另 夕卜，不可避免的杂质是Mg时，Mg含有率低于0. 2原子％。本发明的反射膜层叠体的优选形态为，作为所述第2层具有由从&、Cr、Nb、Ta和 Ti构成的群中选出的一种以上的元素构成的金属的氧化物膜。在本发明中，所述反射膜层叠体的制造方法包括在基体上形成所述第1层的工 序；使用由所述元素的金属构成的溅射靶在所述第1层上进行溅射形成溅射金属薄膜，接 着在含有氧的气氛中使所述溅射金属薄膜氧化，形成所述第2层的工序。在本发明说明书中，所谓“氧化”是指不论氧化的意图，包括将所述溅射金属薄膜 暴露于含有氧的气氛下，至少使其一部分氧化的全部形态。例如，包括在含有氧的气氛中有 意图地使所述溅射金属薄膜氧化的情况和将仅在第1层上形成有溅射金属薄膜的层叠体 放置在含有氧的气氛中，由此作为结果所述溅射金属薄膜被氧化的情况。在本发明中，在第1层上形成具有包括规定元素的金属的氧化物膜的第2层时，使 用由上述金属元素构成的溅射靶(并非是金属氧化物的溅射靶)进行溅射形成溅射金属薄 膜，接着对该溅射金属薄膜进行氧化处理，因此，能够得到金属氧化时的体积膨胀产生的针 孔封孔效果。在本发明中还包括具备所述反射膜层叠体的车辆用灯具、照明器具、光学镜。本发明的反射膜层叠体通过含有规定元素的金属的氧化物膜(第2层)来保护第 1层的Al膜，因此，在碱环境和温水环境下能够抑制Al膜的溶出和氧化，提高耐碱性和耐温 水性，长时间维持高反射率。另外，由于能够长时间维持高反射率，所以将本发明的反射膜层叠体作为车辆用灯具、照明器具、光学镜使用，能够提高它们的耐久性。
具体实施例方式本发明的反射膜层叠体在基体上作为第1层具有纯Al膜或Al基合金膜，在所述 第1层上作为第2层具有包括从由Zr、Cr、Y、Nb、Hf、Ta、W、Ti、Si和Mo构成的群中选出的 一种以上元素的金属的氧化物膜，所述第2层的厚度为0. 1 lOnm。
本发明者们为了提供使用Al膜的反射膜层叠体，即具有车辆用灯具、照明器具、 光学镜等所要求的高反射率，而且能够防止由于碱导致的Al的溶出的反射膜层叠体，进行 了锐意研究。作为其结果发现，在Al膜上形成作为第2层的含有ττ等规定元素的金属的 氧化物膜有效。对于本发明的反射膜层叠体具有优异的耐碱性和耐温水性的详细原理尚不清楚， 但进行了如下的推断。即形成第2层的&等金属的氧化物膜，水分或碱难以扩散、渗透，另外，其自身具 有优异的耐碱性、耐温水性。另外，如后所述，本发明中，在第2层的形成时，预先形成含有 Zr等规定元素的金属膜后，使该金属膜氧化作为金属氧化物膜，但&等规定元素由于氧化 体积膨胀，因此，即使金属氧化物膜(第2层)变薄，也能够期待抑制针孔的形成的效果。另外，为了实现金属氧化物膜(第2层)的上述特性，将第2层的厚度减薄为 0. 1 lOnm，因此，即使设置第2层也能够防止反射膜层叠体的高反射率的下降。以下，详细说明本发明的反射膜层叠体。(第1 层)首先，对本发明的反射膜层叠体所具备的Al膜(第1层)进行说明。本发明的反 射膜层叠体所具备第1层是用于发挥高反射率的层，由纯Al膜或Al基合金膜构成。在此，本发明中的“纯Al膜”，含有Al为98. 5原子％以上(更优选为98. 8原子％ 以上，进一步优选为99. O原子％以上)，余量是不可避免的杂质。作为用于Al基合金膜的合金元素能够例举不使纯Al的高反射率降低，能够提高 耐碱性的元素(例如Gd、La、Y等的稀土金属元素，&和Mg等)。如上所述，纯Al膜的反射率为88 90%，与其他的一般金属材料相比具有高反射 率。而纯Al膜特别是对碱的耐蚀性低。因此，在将本发明的反射膜层叠体在碱环境下使用 时，例如，优选使用含有稀土金属元素(REM)的Al基合金膜。本发明的反射膜层叠体只要 通过由金属氧化物膜构成的第2层实现耐碱性、耐温水性的提高，但对于第1层通过使用有 助于提高这些特性的Al基合金膜，能够进一步提高上述特性。REM中更优选为Gd、La、Y。 REM可以单独使用，也可以组合两种以上使用。REM具有提高Al膜的耐碱性的作用。为了有效发挥这些作用，提高Al膜的耐碱 性，优选Al基合金膜中的REM含有率的下限为0. 05原子％ (更优选为0. 1原子％，进一 步优选为0. 15原子％ )。其中，REM含有率高时，耐碱性的提高效果保护，而反射率反而下 降，因此，REM含有率的上限优选为2. 5原子％ (更优选为1. 8原子％，进一步优选为1. 5原 子％ )。作为所述Al基合金膜可以例举含有上述量的REM，余量是Al和不可避免的杂质。本发明作为第1层使用的Al基合金膜例如与上述REM —起，或作为上述REM的替代，可以含有&、Mg。 Zr具有提高Al基合金膜(第1层)和金属氧化物膜(第2层)的紧密性的作用， 作为其结果能够提高耐碱性、耐温水性。为了有效发挥这种作用，优选Al基合金膜中的ττ 含有率的下限为0.05原子％ (更优选为0.1原子％，进一步优选为0.15原子％)。还有， &含有率的上限优选为3原子％ (更优选为2.5原子％，进一步优选为2原子％)。这是 因为，即使超过3原子％含有Zr，上述耐碱性提高效果也饱和，反而引起反射率的下降。作为所述Al基合金膜可以例举含有上述量的REM和&，余量是Al和不可避免的 杂质；和含有上述量的Zr (不含REM)，余量是Al和不可避免的杂质。Mg与REM同样具有提高Al的耐碱性的作用。为了有效发挥这种作用，优选Al基 合金膜中的Mg含有率的下限为0. 2原子％ (更优选为0. 25原子％，进一步优选为0. 3原 子％ )。还有，Mg含有率高时，耐碱性的提高效果饱和，反而引起反射率下降，因此，Mg含有 率的上限优选为6. 3原子％ (更优选为6. 0原子％，进一步优选为5. 5原子％ )。作为所述Al基合金膜可以例举含有上述量的REM和Mg，余量是Al和不可避免的 杂质；和含有上述量的rLx和Mg，余量是Al和不可避免的杂质；含有上述量的REM、Zr、Mg， 余量是Al和不可避免的杂质；含有上述量的Mg (不含REM、&)，余量是Al和不可避免的杂 质。Al基合金膜中的各种添加元素的平均含有率可以通过ICP(Inductively Coupled Plasma 诱导结合等离子体)发光分析法或ICP质量分析法测定。测定方法在后面详细介 绍。(第2层)本发明的反射膜层叠体所具备第2层是用于发挥对于碱和温水的耐久性的层，具 有包括从由Zr、Cr、Y、Nb、Hf、Ta、W、Ti、Si* Mo构成的群中选出的一种以上元素的金属的 氧化物膜(以下，有时仅称为“金属氧化物膜”)。构成第2层的上述元素是作为PB比(Pilling-Bedworth ratio 单位摩尔的金属 氧化物的体积/单位摩尔的该金属的体积)大于1且氧化时体积发生膨胀的元素选择的， 在氧化时能够期待对针孔的封孔效果。另外，这些金属氧化物膜自身具有优异的耐久性，因 此，不会发生第2层劣化，也不会由此使Al膜(第1层)劣化。另外，金属膜状态下，虽然 有损作为第1层的Al膜的特征的高反射率，但是，通过形成金属氧化物膜进行透明化，能够 防止反射膜层叠体的反射率的下降。在本发明中，在上述元素中优选使用从Zr、Cr、Nb、Ta 和Ti中选出的1种以上。在本发明中，第2层的厚度优选为0. Inm以上(更优选为0. 15nm以上，进一步优选 为0. 2nm以上，进一步优选为0. 5nm以上)，IOnm以下(更优选为7nm以下，进一步优选为 5nm以下)。如果第2层的厚度在上述范围内，则能够得到在厚度方向整体被氧化的金属氧 化物膜(第2层)，因此，能够使第2层透明化，防止本发明的反射膜层叠体的反射率降低。在第2层的厚度低于0. Inm时，有时不能够充分发挥设置第2层得到的上述耐久 性提高效果。第2层的厚度越厚，针孔尺寸越小，因此，金属氧化物膜的针孔封孔变得容易， 但是，第2层的厚度方向整体的氧化困难，第2层不能充分透明化，会使本发明的反射膜层 叠体的反射率下降。例如，在提供除了高耐久性还要求高反射率的反射膜层叠体时，上述第2层优选是在厚度方向整体被氧化的金属氧化物膜，但是，这种情况以外时，第2层如果至少含有包 括规定元素的金属的氧化物即可，其一部分保持金属状态也可。(基体)本发明的反射膜层叠体使用的基体的材质没有特别限定，如果使具备Al膜的照 明器具和车辆用灯具和光学镜等领域中常用的即可。例如，可以例举出树脂、玻璃等。作 为树脂例如可以是聚碳酸酯树脂、丙烯基树脂、PET (polyethylene terephthalate)或 PBT(polybutylene terephthalate)等的聚酯树脂、ABS树脂、环氧树脂、缩醛树脂、脂环式 碳化氢树脂等，这些树脂的混合物也可以。在本发明中，优选根据光源发出的热的温度确定基体的材质。例如，光源的温度大 约为180°C以上时优选使用玻璃，大约为120 180°C时优选使用PET或PBT等的聚酯树脂， 大约为120°C以下时优选使用聚碳酸酯树脂。另外，可以使用根据JISK7209规定的A法(23°C纯水中浸渍24小时后测定吸水量 的方法)进行测定时的吸水率低于0. 的树脂材料。如果使用这种防湿性(防水性)优 异的基体(吸水率小的基板)，可以抑制基体所含水分和从未形成Al膜一侧的基体面(背 面)侵入的水分引起的Al膜的反射率的下降，因此，能够得到耐湿性优异的反射膜层叠体。作为满足上述要件的树脂，例如可以例举PET树脂(吸水率0. 05 % )、 PPS(polyphenylene sulfide)树脂(吸水率0.03%)等。基体的优选吸水率为0. 08%以 下，更优选为0. 06%以下。(第3 层)本发明的反射膜层叠体虽然作为代表性的实例是在基体之上顺序层叠上述第1 层和第2层，但并不限定于此。例如，也可以在第1层之上经Al氧化膜层叠第2层。即使 Al氧化膜存在，本发明的反射膜层叠体的耐久性和反射率也不会下降。或者，为了进一步提高本发明的反射膜层叠体的耐久性，更长时间地维持高反射 率，也可以在第2层上设置公知的等离子体聚合膜和树脂膜。例如，可以例举出使用有机硅形成等离子体聚合膜的方式。作为该有机 硅例如可以例举出六甲基二硅氧烷(hexamethyldisiloxane)、六甲基二硅氮烷 (hexamethldisilazane)、三乙氧基娃烧(triethoxysilane)等。等离子体聚合膜的厚度优选为5 500nm，更优选为10 400nm。厚度变薄则障 碍性降低，而厚度变厚则膜应力变大，层叠成膜后，在进行耐热性试验和耐湿性试验时有可 能大声裂纹或剥离。另外，作为形成树脂膜的树脂材料，例如可以例举出丙烯基树脂和硅树脂。树脂膜 的优选厚度为0. 1 20 μ m。厚度在该范围外时发生的问题与上述相同。(反射膜层叠体的特性和用途)本发明的反射膜层叠体在由Al膜构成的第1层上具有包括ττ等规定元素的金属 的氧化物膜(第2层)，因此，即使使第2层的厚度变薄(0. 1 lOnm)也能够得到针孔的封 孔效果，能够发挥优异的耐碱性和耐温水性、高反射率。本发明的反射膜层叠体的反射率由于非常高，所以在将本发明的反射膜层叠体用 于车辆用灯具、照明器具或光学镜等用途时，即使与现有相比降低光源(灯)的消耗电能也 能够确保与现有同等程度的亮度。另外，在使用多个灯时，能够减少灯的个数，因此，能够削减光源的费用和成本。在此，所谓车辆用灯具是指机动车或摩托车的头灯和尾灯等。本发明的反射膜层 叠体适用于这些灯的反射板或扩展件。所谓照明器具是指下照灯或荧光灯等。照明器具也 包括光源使用LED或有机EL的照明器具。所谓光学镜是指相机的电子闪光灯的透镜或利 用光的反射的分析装置内的透镜等。(本发明的反射膜层叠体的制造方法)为了使本发明具备的第2层(金属氧化物膜)厚度为0. 1 IOnm就能够发挥充 分的针孔封孔效果，优选在本发明的反射膜层叠体的制造中，如上所述，在第1层(Al膜) 上预先形成含有&等规定元素的金属膜，接着通过对该金属膜进行氧化形成金属氧化物 膜(形成第2层)。Zr等的金属膜形成后进行氧化形成第2层的金属氧化物膜，由此，能够有效地发 挥氧化时的体积膨胀产生的针孔封孔的效果。作为本发明的反射膜层叠体的制造方法，包括例如在基体上形成所述第1层的工 序，和使用由所述元素的金属构成的溅射靶在所述第1层上进行溅射形成溅射金属薄膜， 接着在含有氧的气氛中使所述溅射金属薄膜氧化形成所述第2层的工序。以下，对所述反 射膜层叠体的制造方法进行说明。作为构成第1层的Al膜的形成方法，可以例举出使用纯Al溅射靶或Al基合金溅 射靶，通过溅射法成膜的方法。特别优选通过使用直流负极的DC溅射法成膜。在形成第2层时，作为形成溅射金属薄膜的方法没有特别限定，但可以例举出使 用由上述元素的金属构成的溅射靶，通过溅射法成膜。特别优选通过使用直流负极的DC溅 射法成膜。由于第2层的形成所使用的元素是易氧化金属，所以溅射金属薄膜的氧化能够在 大气中保持长时间(通常24小时左右)而进行(即自然氧化)。此时，由于溅射金属薄膜 的氧化需要长时间，所以为了促进氧化，优选实施高温(基体的耐热温度以下即可)的热处 理同时进行保持。或者，也可以是在氧浓度比大气中高的气氛中进行保持(也可以在高温 进行热处理)的方法，或通过半导体制造中所用的O2等离子体处理等进行溅射金属薄膜的 氧化。还有，从生产成本的观点出发，最优选在大气中热处理使其氧化。在第2层之上还形成等离子体聚合膜时，例如可以例举出以六甲基二硅氧烷为原 料，通过等离子体CVD法成膜的方法。替代等离子体聚合膜形成树脂膜时，例如可以例举出滚涂或喷涂的方法。实施例以下，根据实施例对本发明进行详细说明。但本发明不受下述实施例的限定，在不 脱离前后所述的宗旨的范围内可以进行变更实施，这均包含在本发明的技术范围内。(制造例1 24)基体使用直径50. SmmX厚度Imm的聚碳酸酯(PC)，溅射靶使用直径101. 6mmX厚 度5mm的纯Al或Al基合金的溅射靶。首先，抽真空使溅射腔内的压力为IX ICT3Pa以下。 接着，将Ar气导入溅射腔内，使溅射腔内的压力为2. 6 X KT1Pa,对电极施加DC (直流)电 力250W，使等离子体产生，对溅射靶进行溅射，由此在PC基体上形成第1层(Al膜)。溅射 靶和PC基体之间的距离为80mm，使PC基体公转同时形成。
第2层的形成是在第1层的Al膜形成后，不打开溅射腔，将Ar气导入溅射腔内， 使溅射腔内的压力为2. 6X ICT1Pa,以DC电力200W对直径101. 6mmX厚度5mm的金属(Zr、 Ti、Cr、Nb、Ta、Mg等)溅射靶进行溅射，接着进行氧化，由此进行。氧化方法是在大气中常 温保持24小时。第1层和第2层的厚度通过控制溅射时间调整。制造例1 24所得到的反射膜层叠体通过下述方法测定第1层(Al膜)中的各 种添加元素的含有率。另外，以下述条件进行耐碱性试验、耐温水试验。其结果，在表1中表不。(各种添加元素的含有率)Al基合金膜中的各种添加元素的含有率通过ICP(InductiVelyCoupled Plasma 诱导结合等离子体)发光分析法或ICP质量分析法测定。具体地说，使用与Al和各种添 加元素能够一起溶解的酸，全量溶解Al合金膜，通过ICP发光分析法或ICP质量分析法测 定所得到的溶液中的Al和各种添加元素的量，将其100%规格化，算出Al基合金膜的组成 (原子％ )。(可视光反射率(初期反射率))用JISR3106所示方法通过D65光源的波长范围为380 780nm的光对反射膜层 叠体的表面(第2层侧的面)测定可视光反射率。(耐碱性试验)在常温(25°C )的1质量％的氢氧化钾水溶液中浸渍反射膜层叠体10分钟。用 JISR3106所示方法通过D65光源的波长范围为380 780nm的光对浸渍后的反射膜层叠 体的表面(第2层侧的面)测定可视光反射率。在耐碱性试验前求出和用同样方法测定的 可视光反射率(初期反射率)的差(即实验前后的反射率的差=初期反射率(％ )_耐碱性 试验后的可视光反射率(％ ))，通过该反射率的差评价耐碱性。该反射率的值的差在5以 下为◎，超过5在20以下为〇，超过20在30以下为Δ，超过30为X。还有，耐碱性试验后 的反射率的值的差为30以下的( 、〇、Δ)为合格，耐碱性试验后的反射率的值的差超过 30的(X)为不合格。(耐温水性试验)在40°C的离子交换水中浸渍反射膜层叠体30分钟。对浸渍后的反射膜层叠体的表面(第2层侧的面，表面积25. 4mmX25. 4mmX π ) 用数码相机进行拍摄，得到试样照片，对该照片通过图像加工软件进行二值化处理使透明 部为黑色，接着，通过图像分析软件求出黑色部(透明部)的面积后，根据下式算出膜残存 率。还有，上述η式圆周率的意思(下同)。膜残存率(％) = 100Χ (25. 4mmX25. 4mmX π -透明部面积(mm2)/ (25. 4mmX25. 4mmX π))耐温水性试验后的膜残存率为90%以上的为〇，低于90%的为X。表 权利要求
1.一种反射膜层叠体，其特征在于，在基体上作为第1层具有纯Al膜或Al基合金膜， 在所述第1层上作为第2层具有金属的氧化物膜，其中，所述金属包括从由&、Cr、Y、Nb、Hf、 Ta、W、Ti、Si和Mo构成的群中选出的一种以上的元素，所述第2层的厚度为0. 1 lOnm。
2.根据权利要求1所述的反射膜层叠体，其中，所述第1层的Al基合金膜是含有 0. 05 2. 5原子％的稀土金属元素的Al基合金膜。
3.根据权利要求1或2所述的反射膜层叠体，其中，所述第1层的Al基合金膜是含有 0. 05 3原子％的ττ的Al基合金膜。
4.根据权利要求1 3中任一项所述的反射膜层叠体，其中，所述第1层的Al基合金 膜是含有0. 2 6. 3原子％的Mg的Al基合金膜。
5.根据权利要求1所述的反射膜层叠体，其中，所述第1层的纯Al膜含有98.5原子％ 以上的Al，余量是不可避免的杂质。
6.根据权利要求1 5中任一项所述的反射膜层叠体，其中，所述第2层是由从&、 Cr, Nb, Ta和Ti构成的群中选出的一种以上的元素构成的金属的氧化物膜。
7.—种权利要求1 6中任一项所述的反射膜层叠体的制造方法，其特征在于，包括 在基体上形成所述第1层的工序，和使用由权利要求1所述的元素的金属构成的溅射靶在 所述第1层上进行溅射形成溅射金属薄膜，接着在含有氧的气氛中使所述溅射金属薄膜氧 化形成所述第2层的工序。
8.—种车辆用灯具，其特征在于，具备权利要求1 6中任一项所述的反射膜层叠体。
9.一种照明器具，其特征在于，具备权利要求1 6中任一项所述的反射膜层叠体。
10.一种光学镜，其特征在于，具备权利要求1 6中任一项所述的反射膜层叠体。
全文摘要
本发明涉及反射膜层叠体，是以高生产性、低成本提供具有极力减少针孔的保护膜，并作为其结果提高具有纯Al膜或Al基合金膜的反射膜层叠体的耐碱性和耐温水性，在碱环境和温水环境中的Al的溶出和氧化引起的Al膜的反射率的下降难以发生的反射膜层叠体。本发明的反射膜层叠体，在基体上作为第1层具有纯Al膜或Al基合金膜，在所述第1层上作为第2层具有包括从由Zr、Cr、Y、Nb、Hf、Ta、W、Ti、Si和Mo构成的群中选出的一种以上元素的金属的氧化物膜，所述第2层的厚度为0.1～10nm。
文档编号C23C14/34GK102141642SQ201110022270
公开日2011年8月3日 申请日期2011年1月18日 优先权日2010年2月1日
发明者佐藤俊树, 小林宣裕, 桂翔生, 铃木顺 申请人:株式会社神户制钢所