专利名称：一种用于移动挡板的快速抛光方法
技术领域：
本发明涉及一种用于移动挡板的快速抛光方法。
背景技术：
移动挡板为半导体薄膜制程设备中常见的关键核心零件之一。移动挡板会因为长时间的使用，零件表面会逐渐劣化，时间久了就会影响半导体生产设备稳定度；当此状况产生时，大部份处理的方式都是采取“报废零件、新品采购”的方式。众所皆知的，半导体生产生设备相关的零部件皆为国外进口，国内本身并无制造能力，相对的，相关零部件的采购成本自然就高，又因为是国外进口所以采购时程又长，当需要大量采购时，庞大的金钱与时间的成本，都是沉重的负担。因此，采取何种抛光方法来达到复原移动挡板质量的目的是本领域技术人员致力于解决的难题之一。
发明内容
本发明的目的，就是针对上述问题而提供一种用于移动挡板的快速抛光方法，该快速抛光方法能有效地延长移动挡板的使用寿命，降低时间与金钱的成本。本发明为达目的所采用的技术方案是:本发明的一种用于移动挡板的快速抛光方法，包括以下步骤:a.采用喷砂方式对移动挡板整体进行喷涂，将移动挡板表面的伤痕先修整均匀；b.使用砂纸对移动挡板表面先做初步修整，使其表面伤痕均匀；c.使用研磨布将移动挡板表面进行二次修整，使其表面伤痕更加均匀；d.重复b、c步骤直到移动挡板表面伤痕消失；e.使用抛光剂，对移动挡板表面进行镜面处理，直到表面亮丽如新为止。本发明清洗方法具有以下优点:1.本发明方法操作简单，作业人员操作与训练容易，作业中产生异常风险低；2.本发明方法过程单纯，不需投资大量生产设备成本即可达成；3.采用本发明方法处理后的移动挡板，能有效地达到使用要求，且有效地降低生产设备的当机机率；4.本发明方法能有效地延长移动挡板的使用寿命，降低在旧品报废、新品采购上所花费的时间与金钱成本。
具体实施例方式下面结合实施例对本发明作进一步描述:本发明用于移动挡板的快速抛光方法，包括以下步骤:a.采用喷砂机对移动挡板整体进行喷涂，喷涂的砂采用的是氧化铝砂，利用喷砂的方式将移动挡板表面因使用多次而产生的伤痕先修整均匀；
b.使用砂纸对移动挡板表面先做初步修整，使其表面伤痕均匀；c.使用研磨布将移动挡板表面进行二次修整，使其表面伤痕更加均匀；d.重复b、c步骤直到移动挡板表面伤痕消失；e.使用抛光剂，对移动挡板表面进行镜面处理，直到表面亮丽如新为止。以上实施例仅供说明本发明之用，而非对本发明的限制，有关技术领域的技术人员，在不脱离本发明的精神和范围的情况下，还可以作出各种变换或变型，因此所有等同的技术方案也应该属于本发明的范畴，应由各权利要求所限定。
权利要求
1.一种用于移动挡板的快速抛光方法，其特征在于，包括以下步骤:a.采用喷砂方式对移动挡板整体进行喷涂,将移动挡板表面的伤痕先修整均匀；b.使用砂纸对移动挡板表面先做初步修整，使其表面伤痕均匀；c.使用研磨布将移动挡板表面进行二次修整，使其表面伤痕更加均匀；d.重复b、C步骤直到移动挡板表面伤痕消失；e.使用抛光剂，对移动挡板表面进行镜面处理，直到表面亮丽如新为止。
全文摘要
本发明涉及一种用于移动挡板的快速抛光方法，包括以下步骤采用喷砂方式对移动挡板整体进行喷涂，将移动挡板表面的伤痕先修整均匀；使用砂纸对移动挡板表面先做初步修整，再使用研磨布将移动挡板表面进行二次修整，如此重复，直到移动挡板表面伤痕消失；使用抛光剂，对移动挡板表面进行镜面处理，直到表面亮丽如新为止。本发明方法操作简单，过程单纯，采用本发明方法处理后的移动挡板，能有效地达到使用要求，有效地降低生产设备的当机机率；本发明方法能有效地延长移动挡板的使用寿命，降低在旧品报废、新品采购上所花费的时间与金钱成本。
文档编号B24B1/00GK103084932SQ201110340500
公开日2013年5月8日 申请日期2011年11月1日 优先权日2011年11月1日
发明者徐国栋 申请人:上海科秉电子科技有限公司, 科治新技股份有限公司