专利名称：有机小分子热蒸发坩埚组件的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种真空热蒸发工艺设备，特别是涉及一种有机小分子热蒸发坩埚组件。
背景技术：
有机半导体技术由于其低成本、可柔性、易于大面积成膜等特点而成为当前研究开发的热点，基于有机半导体材料的有机发光、有机太阳能、有机薄膜晶体管、有机激光、有机存储、有机传感器等近年来都在快速的发展中。有机半导体材料有小分子和聚合物两种， 有机小分子器件一般采用真空热蒸发技术制备，而聚合物器件一般采用溶液法制备，由于技术的相对成熟，基于真空热蒸发工艺的有机小分子器件近年来得到了相对较快的发展。有机小分子器件的制备过程一般是在高真空(10_3Pa I(T7Pa)环境下，通过加热坩埚内的有机材料使其熔化、挥发，从而沉积到坩埚上方的基片上，对于有机材料的真空热蒸发工艺来说，为提高有机薄膜均勻性，在线性蒸发源以及坩埚的上方常加上有一定空间分布的出料孔的上盖，由于有机材料的蒸发一般使用绝缘的石英、陶瓷坩埚，这些绝缘材料的传热性能较差，因此常造成出料孔处材料的聚集和堵塞，从而影响有机材料的蒸发速率的控制。鉴于此，实有必要设计一种有机小分子热蒸发坩埚组件，用于解决上述技术问题。
发明内容
鉴于以上所述现有技术的缺点，本发明的目的在于提供一种有机小分子热蒸发坩埚组件，用于解决现有技术中因坩埚出料孔处受热不均勻，导致蒸发材料聚集和堵塞，影响有机材料蒸发速率控制的问题。为实现上述目的及其他相关目的，本发明提供一种有机小分子热蒸发坩埚组件， 其设置于外部加热丝之间加热，该坩埚组件包括坩埚本体100以及位于所述坩埚本体上的盖板；所述盖板上设有若干出料孔，该坩埚组件还包括贯穿所述盖板的导热杆，该导热杆自所述盖板延伸至坩埚底部。优选地，所述导热杆自所述盖板延伸至坩埚内部。优选地，所述导热杆自所述盖板延伸至坩埚与外部加热丝之间。优选地，所述盖板的材料为金属材料或者具有传热性的绝缘材料。优选地，所述导热杆的材料为金属材料或者具有传热性的绝缘材料。优选地，所述盖板的厚度为0. 05 0. 2mm,所述出料孔大小相等，数目为四个，呈中心对称排列，所述导热杆位于该中心。优选地，所述导热杆为螺杆。优选地，所述导热杆与盖板之间采用螺栓固定。如上所述，本发明一种有机小分子热蒸发坩埚组件，有效的解决了现有技术中因坩埚出料孔处受热不均勻，导致蒸发材料聚集和堵塞，影响有机材料蒸发速率控制的问题。
图1显示为本发明有机小分子热蒸发坩埚组件示意图。图2显示为本发明有机小分子热蒸发坩埚组件中盖板的俯视图。元件标号说明坩埚本体100盖板101出料孔1011、1012导热杆10具体实施例方式以下由特定的具体实施例说明本发明的实施方式，熟悉此技术的人士可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本发明的其他优点及功效。请参阅图1至图2。须知，本说明书所附图式所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本发明可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本发明所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本发明所揭示的技术内容得能涵盖的范围内。同时，本说明书中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中间”及 “一”等的用语，亦仅为便于叙述的明了，而非用以限定本发明可实施的范围，其相对关系的改变或调整，在无实质变更技术内容下，当亦视为本发明可实施的范畴。如图1所示，本发明提供一种有机小分子热蒸发坩埚组件，其设置于外部加热丝之间加热，该坩埚组件包括坩埚本体100以及位于所述坩埚本体100上的盖板101 ；所述盖板上设有若干出料孔1011、1012，该坩埚组件还包括贯穿所述盖板的导热杆102，该导热杆自所述盖板延伸至坩埚底部。该导热杆102可以设置为自所述盖板延伸至坩埚内部。也可以设置成自所述盖板延伸至坩埚与外部加热丝之间。只要靠近坩埚底部实现导热即可，使得坩埚的出料孔出的温度和坩埚底部温度趋于一致即可。所述盖板101和导热杆102为金属材料或者具有传热性的绝缘材料。例如图2所示，所述盖板的厚度为0. 05 0. 2mm，所述出料孔大小相等，数目为四个，呈中心对称排列，所述导热杆可以设置在上述中心对称图形的中心。所述导热杆102可以为螺杆，此时出料孔可以设置成与之配合的内螺纹。当选择螺杆时，该导热杆102与该盖板之间采用螺栓固定。本发明通过在坩埚与盖板之间加导热杆，导热杆通过螺杆和螺栓固定在盖板上的出料孔附近，与盖板保持紧密接触，并下伸到坩埚底部，以保证热量可方便地从坩埚经过导热杆传输到盖板的出料孔处，导热杆和盖板都采用金属或导热性良好的绝缘材料，保证出料孔处的温度与坩埚内有机材料的蒸发温度基本一致并且保持恒定，因此，一方面保证出料孔不被堵塞，另一方面出料孔处恒定的温度可保证得到稳定的蒸发速率。导热杆的上螺帽的高度以不影响蒸发区域为准。导热杆上段与盖板接触处为螺杆以方便固定，下段可以是螺杆也可以不是。导热杆可在坩埚内部，也可在坩埚外部位于坩埚与外部加热丝之间，均可保证热量传输到加热孔附近。图1为导热杆位于坩埚内部的示意图。
综上所述，本发明有效克服了现有技术中因坩埚出料孔处受热不均勻，导致蒸发材料聚集和堵塞，影响有机材料蒸发速率控制的问题。具高度产业利用价值。上述实施例仅例示性说明本发明的原理及其功效，而非用于限制本发明。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本发明的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本发明所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本发明的权利要求所涵盖。
权利要求
1.一种有机小分子热蒸发坩埚组件，设置于外部加热丝之间加热，其特征在于，该坩埚组件包括坩埚本体(100)以及位于所述坩埚本体(100)上的盖板(101)；所述盖板上设有若干出料孔(1011、1012)，该坩埚组件还包括贯穿所述盖板的导热杆(102)，该导热杆自所述盖板延伸至坩埚底部。
2.根据权利要求1所述的一种有机小分子热蒸发坩埚组件，其特征在于，所述导热杆 (102)自所述盖板延伸至坩埚内部。
3.根据权利要求1所述的一种有机小分子热蒸发坩埚组件，其特征在于，所述导热杆 (102)自所述盖板延伸至坩埚与外部加热丝之间。
4.根据权利要求1所述的一种有机小分子热蒸发坩埚组件，其特征在于，所述盖板(101)的材料为金属材料或者具有传热性的绝缘材料。
5.据权利要求1所述的一种有机小分子热蒸发坩埚组件，其特征在于，所述导热杆(102)的材料为金属材料或者具有传热性的绝缘材料。
6.根据权利要求1所述的有机小分子热蒸发坩埚组件，其特征在于所述盖板的厚度为0. 05 0. 2mm，所述出料孔大小相等，数目为四个，呈中心对称排列，所述导热杆位于该中心。
7.根据权利要求1所述的有机小分子热蒸发坩埚组件，其特征在于所述导热杆(102) 为螺杆。
8.根据权利要求7所述的有机小分子热蒸发坩埚组件，其特征在于所述导热杆(102) 与盖板之间采用螺栓固定。
全文摘要
本发明提供一种有机小分子热蒸发坩埚组件，设置于外部加热丝之间加热，该坩埚组件包括坩埚本体(100)以及位于所述坩埚本体(100)上的盖板(101)；所述盖板上设有若干出料孔(1011、1012)，该坩埚组件还包括贯穿所述盖板的导热杆(102)，该导热杆自所述盖板延伸至坩埚底部。本发明有效的解决了现有技术中因坩埚出料孔处受热不均匀，导致蒸发材料聚集和堵塞，影响有机材料蒸发速率控制的问题。
文档编号C23C14/24GK102392218SQ20111041716
公开日2012年3月28日 申请日期2011年12月14日 优先权日2011年12月14日
发明者容佳玲, 张建华, 曹进, 王立 申请人:上海大学