专利名称：一种硅片抛光用游轮片的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种硅片抛光用游轮片，特别是一种用于大直径硅片双面抛光的游轮片。
背景技术：
随着半导体工业沿着摩尔定律的急速发展，微电子器件特征尺寸的不断减小，给硅材料的完整性、均匀性、表面质量等提出了越来越苛刻的要求。同时，为了满足器件厂家提高生产率降低制造成本的需要，超大规模集成电路用硅材正向大尺寸方向发展，硅片尺寸已经由150mm和200mm转到300mm。为了解决硅片抛光过程中因尺寸的增大而带来的平整度的问题，双面抛光代替单面抛光，从而获得集成电路用大尺寸硅抛光片。双面抛光过程中硅片的运动状态完全不同于单面抛光，硅片不用固定在陶瓷板上，而是被安放在游轮片内，在中心齿轮和边缘齿轮的带动下自转和以大盘为中心公转。由于硅片是像三明治一样“悬浮”在上下大盘之间，自由度增加，抛光工艺变得更加复杂。在双面抛光过程中，游轮片起到非常重要的作用，极大的影响着抛光后的表面几何参数。很多的研究表明，游轮片的厚度越接近硅片的最终厚度，硅片的边缘的几何参数越好。双面抛光用的游轮片的材质一般有几种，一种是不锈钢游轮片，优点是边缘齿轮强度好，不易磨损，寿命相对较长，但缺点是不锈钢材质容易造成硅片边缘损伤，另一种是碳纤维游轮片，边缘易破损。使用最多的是树脂游轮片，制造成本低。在双面抛光过程中，游轮片的厚度在一定程度上决定了抛光后的硅片的几何参数，因此对游轮片厚度的监控是非常重要的。在实际的生产过程中，树脂游轮片有一个非常致命的缺点，就是强度太低，在抛光过程中损耗较快，与硅片接触的边缘的厚度很容易变薄，这样就会加大控制硅片几何参数的难度，增加了连续生产的不稳定性。现行的做法是定期检测游轮片的厚度，超出控制范围就更换。
发明内容本实用新型的目的是提供一种硅片抛光用游轮片，该新型的优点游轮片边缘齿轮耐磨性好，与硅片接触处对硅片边缘损伤小，抛光过程中因为损耗对硅片的几何参数影响较小，提高双面抛光的制备性能与成品率。为达到上述发明目的本实用新型采用以下技术方案；这种硅片抛光用游轮片包括由不锈钢制作而成游轮片，游轮片的厚度为0. 5 Imm,游轮片中放娃片的内圆处镶嵌一圈碳纤维材料。本实用新型的优点是游轮片不锈钢边缘齿轮耐磨性好，与硅片接触处的碳纤维材料对硅片边缘损伤小，耐磨性也好，抛光过程中因为损耗对硅片的几何参数影响较小，提高双面抛光的制备性能与成品率。
图I :树脂或碳纤维游轮片示意图图2 :本实用新型提供的一种游轮片示意图图3a :图2中附有局部位置标示a的本实用新型游轮片图图3b :图3a的局部放大图
具体实施方式
如图I、图2、图3a、图3b所示，硅片抛光用游轮片包括以不锈钢材料制作的游轮片I，在游轮片中放硅片的内圆处镶嵌一圈的碳纤维2，碳纤维材料市场有售。 本实用新型的优点是游轮片不锈钢边缘齿轮耐磨性好，与硅片接触处的碳纤维材料对硅片边缘损伤小，耐磨性也好，抛光过程中因为损耗对硅片的几何参数影响较小，提高双面抛光的制备性能与成品率。
权利要求1.一种硅片抛光用游轮片，其特征在于由不锈钢制作而成游轮片，游轮片的厚度为0. 5 Imm,游轮片中放娃片的内圆处镶嵌一圈碳纤维材料。
2.根据权利要求I所述的一种硅片抛光用游轮片，其特征在于所述的镶嵌一圈碳纤维材料的厚度为0. 5 1mm。
专利摘要一种硅片抛光用游轮片，它包括由不锈钢制作而成游轮片，游轮片的厚度为0.5～1mm，游轮片中放硅片的内圆处镶嵌一圈碳纤维材料。本实用新型的优点是游轮片不锈钢边缘齿轮耐磨性好，与硅片接触处的碳纤维材料对硅片边缘损伤小，耐磨性也好，抛光过程中因为损耗对硅片的几何参数影响较小，提高双面抛光的制备性能与成品率。
文档编号B24B29/02GK202428296SQ20112050319
公开日2012年9月12日 申请日期2011年12月6日 优先权日2011年12月6日
发明者叶松芳, 库黎明, 索思卓, 葛钟, 闫志瑞, 鲁进军 申请人:有研半导体材料股份有限公司