专利名称:一种晶体加工平磨料台的制作方法
技术领域:
本发明属于晶体加工技术领域,特别是涉及晶体平面磨装置。
背景技术:
晶体平面磨时,易出现崩边、裂纹等多种问题,现有技术的平面磨只能够一次磨一锭晶体,且加工粗糙,工作效率和质量都很难提高。
发明内容
本发明要解决的技术问题是克服现有平磨效率低、质量差的缺陷,提供了一种简单、使用方便的平磨料台。为了解决上述技术问题,本发明提供了如下的技术方案
一种晶体加工平磨料台,在所述平磨料台上设有多个圆柱形的、与晶体大小基本匹配的凹槽,所述凹槽的侧壁和/或底部上设有缓冲层,侧壁上设顶紧装置。进一步地,所述缓冲层为橡胶垫,所述顶紧装置为顶紧螺丝。晶体平磨是加工晶体时最重要的一步,在平磨晶体开始时,首先将此平磨料台平放到固定面上,晶体放置在料台上的凹槽内,根据晶体直径大小调节顶紧料台的顶紧装置至夹紧晶体,即可进行平磨加工。凹槽的侧壁和底部上设有缓冲层可以起到减震效果,侧壁的缓冲层还可以防止顶紧装置划损晶体,从而减少晶体破裂的可能。通过此料台的加工,可以得到平整、完整的单晶,晶体的角度可以是0°到8°。
附图用来提供对本发明的进一步理解,并且构成说明书的一部分,与本发明的实施例一起用于解释本发明,并不构成对本发明的限制。在附图中
图I是本发明平磨料台的主视图2是图I的料台的俯视图3是图I的料台的左视图4是图I的凹槽的剖面图。
具体实施例方式以下结合附图对本发明的优选实施例进行说明,应当理解,此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本发明,并不用于限定本发明。如图1-4所示,一种晶体加工平磨料台,在所述平磨料台I上设有多个圆柱形、与晶体大小匹配的凹槽2,所述凹槽的侧壁和底部上设有缓冲层橡胶垫(图未示)和顶紧螺丝 3。实施例I :
所述凹槽为3个,将相应大小的、未加工的碳化硅晶体放到本发明的凹槽内,根据晶体大小调整缓冲层和顶紧螺丝,直至晶体平整和牢固,然后上平面磨床待磨,待加工完毕后, 便会得到三块平整度极好的完整晶体。实施例2:
所述凹槽为3个,将相应大小的、未加工的蓝宝石晶体放到本发明的凹槽内,根据晶体大小调整缓冲层和顶紧螺丝,直至晶体平整和牢固,然后上平面磨床待磨,待加工完毕后, 便会得到三块平整度极好的完整晶体。最后应说明的是以上所述仅为本发明的优选实施例而已,并不用于限制本发明, 尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明,对于本领域的技术人员来说,其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分技术特征进行等同替换。 凡在本发明的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本发明的保护范围之内。
权利要求
1.一种晶体加工平磨料台,其特征在于在所述平磨料台上设有多个圆柱形的、与晶体大小基本匹配的凹槽,所述凹槽的侧壁和/或底部上设有缓冲层,侧壁上设顶紧装置。
2.根据权利要求I所述的晶体加工平磨料台,其特征在于所述缓冲层为橡胶垫。
3.根据权利要求I所述的晶体加工平磨料台,其特征在于所述顶紧装置为顶紧螺丝。
4.根据权利要求I或2或3所述的晶体加工平磨料台,其特征在于所述晶体为碳化硅、蓝宝石、磷化铟或氮化镓。
全文摘要
一种晶体加工平磨料台,属于晶体加工技术领域,特别是涉及晶体平面磨装置。在所述平磨料台上设有多个圆柱形的、与晶体大小基本匹配的凹槽,所述凹槽的侧壁和/或底部上设有缓冲层,侧壁上设顶紧装置。在平磨晶体开始时,首先将此平磨料台平放到固定面上,晶体放置在料台上的凹槽内,再调节缓冲层和顶紧装置至晶体牢固,即可进行平磨加工。通过此料台的加工,可以得到平整、完整的单晶。
文档编号B24B41/06GK102581762SQ20121009428
公开日2012年7月18日 申请日期2012年4月1日 优先权日2012年4月1日
发明者倪代秦, 吴星, 张世杰, 李旭明, 李闯, 贾海涛, 高鹏成 申请人:北京华进创威电子有限公司