被覆切削工具的制作方法
【专利摘要】本发明提供一种具有优良耐缺损性的被覆切削工具。一种被覆切削工具，其特征在于，其由WC基超硬合金的基材和通过化学蒸镀法在基材的表面形成的被膜构成，并且，其具有前刀面、后刀面以及位于前刀面和后刀面之间的切削刃棱线部，并且，被膜整体的总膜厚度以平均膜厚度计是3～20μm，在距切削刃棱线部300μm以内的前刀面存在一条以上的倾斜裂缝，该倾斜裂缝的相对于被膜的表面的裂缝进展角度是45°以下。
【专利说明】被覆切削工具
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种具有优良耐缺损性的被覆切削工具，具体涉及一种在用于例如钢或铸铁等的重切削能发挥优良耐缺损性、而且即使在用于这些钢或铸铁等的铣削或断续切削时也能发挥优良耐缺损性的被覆切削工具。
【背景技术】
[0002]已熟知，通过化学蒸镀法在碳化钨基超硬合金(以下，称之为WC基超硬合金)基材的表面以3?20 μ m的总膜厚蒸镀形成有被膜而形成的被覆切削工具能够用于钢等的切削加工，其中被膜由Ti的碳化物、氮化物、碳氮化物、碳氧化物以及碳氮氧化物、以及氧化铝中的一种的单层膜或两种以上的多层膜所构成。
[0003]通常，在WC基超硬合金的表面上形成被膜时，在被膜上残留着拉伸应力，因此被覆切削工具的破坏强度减弱，变得容易损坏。迄今为止提出了一种在被膜形成后通过喷丸硬化(shot peening)等生成裂缝而释放拉伸残余应力的方案,此方案得到了较好的效果(例如，参考对比文件I以及非专利文献I)。但是，根据工具的用途或使用条件需要更高的耐缺损性。
[0004]现有技术文献
[0005]专利文献
[0006]专利文件1:日本特开平3-92204号公报
[0007]非专利文献
[0008]非专利文献1:片山，另外4名，日本金属学会会报，1991年，30卷，4号，第298-300页
【发明内容】
[0009]发明要解决的课题
[0010]近年来对于切削工具的省力化以及节能化要求强烈，与此相伴随，虽然切削加工倾向于高速化，但是上述的现有的被覆切削工具中存在如下问题:当其用于切削条件严格的高速的断续切削时，即，当其用于在切削刃棱线部上以非常短的节距(Pitch)反复承受机械性冲击的高速断续切削时，被膜容易发生缺损或剥落，短时间内就到了使用寿命。
[0011]作为释放通过化学蒸镀法形成的被膜的拉伸残余应力的方法，以往所知的方法有喷丸硬化(shot peening)的方法。但是，当使用以90°的投射角度相对于被膜表面进行干式喷丸加工(Shot blast)的被覆切削工具，进行切削实验时，其耐缺损性不充足。本发明的目的在于提供一种具有优良耐剥落性以及耐缺损性的被覆切削工具。
[0012]用于解决课题的方法
[0013]本发明人从上述观点出，以提高被覆切削工具的耐缺损性为目的进行悉心研究的结果表明，形成如下构成则能够使耐剥落性以及耐缺损性大幅提高。
[0014]S卩，本发明的要点如下:[0015](I)被覆切削工具，其特征在于，
[0016]其由WC基超硬合金的基材和通过化学蒸镀法在基材的表面形成的被膜构成，
[0017]并且，其具有前刀面、后刀面以及位于前刀面和后刀面之间的切削刃棱线部，
[0018]并且，被膜整体的总膜厚度以平均膜厚度计是3?20 μ m，在距切削刃棱线部300 μ m以内的前刀面存在一条以上的倾斜裂缝，该倾斜裂缝的相对于被膜的表面的裂缝进展角度是45°以下。
[0019](2)上述(I)记载的被覆切削工具，其中，倾斜裂缝的进展深度为距被膜的表面是
0.3 ?2 μ m0
[0020](3)上述(I)或(2)记载的被覆切削工具，其中，被膜的表面中的裂缝间隔的平均值是20 μ m以上且100 μ m以下。
[0021](4)上述(I)?(3)中任一项记载的被覆切削工具，其中，被膜的表面中的裂缝间隔的平均值是40 μ m以上且60 μ m以下。
[0022](5)上述(I)?(4)中任一项记载的被覆切削工具，其中，被膜的至少一层，是通过选自由Ti的碳化物、Ti的氮化物、Ti的碳氮化物、Ti的碳氧化物以及Ti的碳氮氧化物所组成的组中的至少一种构成的Ti化合物膜。
[0023](6)上述(I)?(5)中任一项记载的被覆切削工具，其中，被膜的至少一层是氧化铝膜。
[0024](7)上述(I)?(6)中任一项记载的被覆切削工具，其中，被膜构成为，相接于基材的内膜的至少一层是Ti化合物膜，与内膜相比形成在表面侧的外膜的至少一层是Al2O3膜，在Ti化合物膜和Al2O3膜之间相接于Ti化合物膜以及Al2O3膜而具有密接膜，该密接膜是通过选自由Ti的碳氧化物、Ti的氮氧化物、Ti的碳氮氧化物、以及含有Ti和Al的碳氧化物、含有Ti和Al的氮氧化物、含有Ti和Al的碳氮氧化物所组成的组中的至少一种化合物构成。
[0025](8)上述(I)?(7)中任一项记载的被覆切削工具，其中，倾斜裂缝是存在有I条以上且50条以下。
[0026](9)上述(I)?(8)中任一项记载的被覆切削工具，其中，倾斜裂缝是存在有3条以上且30条以下。
[0027](10)上述(I)?(9)中任一项记载的被覆切削工具，其中，裂缝是通过干式喷丸加工(Shot blast)或者喷丸硬化(shot peening)而形成。
[0028](11)上述(I)?(10)中任一项记载的被覆切削工具，其中，裂缝是通过将投射材料以相对于被膜的表面投射角度成为30?45°的方式进行投射而形成。
[0029](12)上述(I)?(11)中任一项记载的被覆切削工具，其中，裂缝是通过将投射材料以50?80m/秒的投射速度进行投射而形成。
[0030](13)上述(11)或(12)记载的被覆切削工具，其中，投射材料是由平均粒径为100?150 μ m、维式硬度为1000以上的材料构成。
[0031](14)上述(11)?(13)中任一项记载的被覆切削工具，其中，投射材料是由Al2O3或ZrO2构成。
[0032]发明效果
[0033]本发明的被覆切削工具具有优良的耐剥落性以及耐缺损性。使用本发明的被覆切 削工具则能够得到延长工具使用寿命的效果。
【专利附图】
【附图说明】
[0034]图1是本发明的被覆切削工具的主要部分的剖面图。
[0035]图2是用于本发明的切削试验的被切削材料的概要图。
【具体实施方式】
[0036]本发明的被覆切削工具由WC基超硬合金的基材和通过化学蒸镀法在基材的表面形成的被膜构成。本发明的WC基超硬合金是通过烧结硬质相形成粉末和Co的结合相形成粉末的混合粉末而得到的WC基超硬合金，其中，硬质相形成粉末是由WC构成，或者是由WC和T1、Zr、Hf、V、Nb、Ta、Cr、Mo以及W的碳化物、氮化物、碳氮化物以及它们的相互固溶体(但，WC除外)中选出的至少一种构成。本发明的WC基超硬合金是由WC的硬质相和结合相构成，或者是由WC的硬质相和由选自T1、Zr、Hf、V、Nb、Ta、Cr、Mo以及W中的至少一种金属(或元素)的碳化物、氮化物、碳氮化物以及它们的相互固溶体所组成的组中选出的至少一种构成的硬质相和结合相构成。
[0037]本发明的被膜是通过化学蒸镀法形成。通过化学蒸镀法形成时，则能够提高基材和被膜之间的密接强度。其原因认为是，化学蒸镀法的被膜温度较高，在基材和被膜之间的界面中发生扩散。因此，根据化学蒸镀法形成耐磨性优良的被膜时，则能够得到耐磨性优良的被覆切削工具。
[0038]本发明的被膜由如下化合物膜的至少一层构成，该化合物膜由T1、Zr、Hf、V、Nb、Ta、Cr、Mo、W、Al以及Si中选出的至少一种金属(或是元素)的碳化物、氮化物、氧化物、碳氮化物、碳氧化物、氮氧化物、碳氮氧化物以及硼化物所组成的组中选出的至少一种所构成。WC基超硬合金基材的表面上形成化合物膜时，虽然从基材向化合物膜中扩散基材成分，如W、C、Co、Mo、Cr、V等，但是此状况时也不会改变本发明的本质效果。
[0039]本发明的被膜优选，一层所构成的单层膜或两层以上积层的多层膜的任意一种。本发明的被膜的至少一层为，由Ti的碳化物、Ti的氮化物、Ti的碳氮化物、Ti的碳氧化物以及Ti的碳氮氧化物组成的组中选出的至少一种构成的Ti化合物膜时，因为能够进一步提高耐磨性和韧性之间的平衡，因此进一步优选。
[0040]本发明的被膜的至少一层为氧化铝膜(以下，Al2O3膜)时，耐凹陷(Crater)磨耗性提高，因此进一步优选。并不特别限定Al2O3膜的晶型，例如有α型、β型、δ型、Υ型、K型、X型、拟τ型、η型以及P型等。其中，Al2O3膜的晶型优选，高温下稳定的α型，或者是密接膜和Al2O3膜之间的密接性优良的K型。特别是，与碳钢或合金钢的高速切削等切削相关的领域处于高温时，Al2O3膜为α型Al2O3膜时则难以发生缺损或剥落。
[0041]本发明的被膜的相接于基材的内膜的至少一层为Ti化合物膜，与本发明的内膜相比形成在表面侧的外膜的至少一层为Al2O3膜，Ti化合物膜和Al2O3膜之间相接于Ti化合物膜和Al2O3膜而形成有密接膜时，能够提高Ti化合物膜和Al2O3膜之间的密接性，提高耐磨性、韧性以及耐凹陷磨耗性，因此进一步优选，上述密接膜由Ti的碳氧化物、Ti的氮氧化物、Ti的碳氮氧化物、以及含有Ti和Al的碳氧化物、含有Ti和Al的氮氧化物、含有Ti和Al的碳氮氧化物组成的组中选出的至少一种化合物构成。作为密接膜可具体例举，TiCO,TiNO, TiCNO、TiAlCO、TiAlNO以及TiAlCNO等。其中，进一步优选，密接膜为含有Ti和Al的碳氧化物、含有Ti和Al的氮氧化物以及含有Ti和Al的碳氮氧化物组成的组中选出的至少一种构成的化合物，其中，再进一步优选，密接膜为含有Ti和Al的碳氮氧化物。
[0042]本发明的被膜整体的总厚度为，以平均厚度计为小于3μπι时，则耐磨性减弱，以平均厚度计为大于20 μ m时，则切削刃棱线部易剥落。因此，本发明的被膜整体的总厚度为，以平均厚度计为3?20μπι。其中优，进一步优选，被膜整体的总厚度，以平均厚度计为
3.5 ?18 μ m0
[0043]< 内膜>
[0044]本发明的内膜是通过化学蒸镀法在超硬合金基材的表面上形成。内膜的平均厚度小于1.5 μ m时，则被覆切削工具的耐磨性减弱，大于15 μ m时易发生以被膜的剥离为起点的剥落。因此，本发明中优选，内膜的平均厚度为1.5?15 μ m，其中，进一步优选，内膜的平均厚度为2?13 μ m。
[0045]〈外膜〉
[0046]本发明的外膜的平均厚度小于1.1ym时，则本发明的被覆切削工具的前刀面中的耐凹陷磨耗性无法提高，另一方面大于10 μ m时，则刀尖易损坏。因此，优选，上部膜的平均膜厚为1.1?10 μ m。
[0047]<密接膜>
[0048]本发明的密接膜的平均膜厚小于0.4μπι时，本发明的被覆切削工具的密接性无法提高，超过2 μ m时密接膜自身的强度减弱，因此，优选密接膜的平均厚为0.4?2 μ m。
[0049]根据化学蒸镀法形成被膜时，被膜难以承受拉伸残余应力，对于被膜的表面以接近垂直的方向发生裂缝，裂缝从被膜的表面达到了基材。另外，干式喷丸加工等的机械性处理，是以被膜上存在的拉伸残余应力的释放作为目的之一而进行的，但是进行干式喷丸加工等的机械性处理也会在被膜上发生裂缝。被膜上存在的裂缝中，相对于被膜的表面以超过45°的进展角度进展的裂缝称为垂直裂缝，相对于被膜的表面以45°以下的进展角度进展的裂缝称为倾斜裂缝。本发明的被覆切削工具需要存在一条以上的倾斜裂缝，但是，本发明的被覆切削工具中，在倾斜裂缝存在的同时也存在垂直裂缝时，也不会受到影响。
[0050]裂缝的进展角度以及裂缝的进展深度，可通过如下方法求出。拍摄被覆切削工具的断裂截面的SEM(扫描电子显微镜)图像的相片或者被覆切削工具的截面的镜面研磨面的SEM图像的相片。断裂截面或者截面的镜面研磨面的SEM图像中，如图1所示，以相交于基材I的表面上形成的被膜2表面的裂缝5 (粗线)的起点B的形式，将与被膜2的前刀面3构成平行方向的直线A引到被膜2的表面上，经由点B和裂缝5距表面最远的点C而构成的线为直线D，其中点B为表面的直线A和裂缝5相交构成的点。但是，点C存在多个时，其中，点B和点C的距离最长的点成为点C。此直线A以及直线D构成的角Θ为裂缝5的进展角度。从被膜表面至距被膜表面的直线A最远的点C之间的垂直距离d为进展深度。相对于与被膜2表面平行的方向的裂缝5的进展角度为45°以下的倾斜裂缝5，如图1的裂缝5所示，显示成中间断裂。其认为是，倾斜裂缝5进展到结晶粒子的晶界时显示成中间断裂的形式。因此，虽然显示成中间断裂，但对于连接的裂缝而言，视为一条倾斜裂缝。本发明的被覆切削工具，在距切削刃棱线部300 μ m以内的前刀面中存在一条以上的进展角度为45°以下的倾斜裂缝时，耐缺损性以及耐剥落性提高。其中，在距切削刃棱线部300μπι以内的前刀面上存在超过50条的倾斜裂缝时，两条以上的倾斜裂缝易发生连接，显示出耐缺损性以及耐剥落性减弱的倾向，因此，优选，存在I条以上且50条以下的倾斜裂缝。其中，存在3条以上且30条以下的倾斜裂缝时耐缺损性以及耐剥落性进一步提高，因此进一步优选。另外，对于一个试样，可以观察一个地方的断裂截面或者一个地方的截面的镜面研磨面而确认倾斜裂缝即可，但是，观察三个地方以上的断裂截面或者三个地方以上的截面的镜面研磨面，从其全部的断裂截面或者其全部的截面的镜面研磨面上确认I条以上的倾斜裂缝时，可知宽范围内存在倾斜裂缝。另外，切削刃棱线部的宽度大致为30?70μπι。
[0051]如图1所示，本发明的被覆切削工具具有前刀面3、后刀面4、位于前刀面和后刀面之间的切削刃棱线部(曲面部)，在距切削刃棱线部300 μ m以内的前刀面上，S卩，从后刀面4的延长线朝向朝着前刀面3方向的300 μ m以内的除去切削刃棱线部的前刀面上，存在一条以上的裂缝的进展角度为45°以下的倾斜裂缝。在距切削刃棱线部300 μ m以内的前刀面上存在裂缝的进展角度为45°以下的倾斜裂缝时，即使是以切削时的冲击使倾斜裂缝进展到被膜的表面部，也不会进展到基材内部，因此可提高耐缺损性以及耐剥落性。另外，在距切削刃棱线部超过300 μ m的前刀面上也可以存在倾斜裂缝。另外，本发明被覆切削工具中，通过以切削时的冲击使倾斜裂缝进展到被膜的表面部，可能会在被膜表面上生成非常微小的欠损，但是并不至于发生剥落或缺损，因此，本发明的提高耐缺损性以及耐剥落性的效果不会改变。
[0052]本发明的被覆切削工具中，倾斜裂缝的进展角度设成45°以下的原因是，进展角度超过45°而较大时，切削时被膜的裂缝进展到基材中，易发生较大的剥落，在加工初期时易发生缺损。因此，倾斜裂缝的进展角度设为45°以下。
[0053]本发明的被覆切削工具中，倾斜裂缝的进展深度是从被膜的表面朝向深度方向优选为0.3?2 μ m。倾斜裂缝的进展深度小于0.3 μ m时，难以得到充足的提高耐缺损性以及耐剥落性的效果。相反，倾斜裂缝的进展深度超过2 μ m时，显现出如下倾向:切削时在被膜内部或者构成多层膜的被膜的层和层的界面中发生剥离，发生微小的欠损。
[0054]作为于被膜的表面部上加入倾斜裂缝的方法，可例举有，干式喷丸加工、喷丸硬化(shot peening)等给予机械性冲击的方法。使用干式喷丸加工或者喷丸硬化时,通过以相对于被膜的表面投射角度成为30?45°的方式投射投射材料，能够使裂缝的进展角度为45°以下。其中，进一步优选，投射角度为35?40°。投射角度小于30°时，无法给予充足的残余应力释放能量，超过45°而构成大角度时，裂缝的进展角度会超过45°，会导致大幅减弱耐缺损性以及耐剥落性。其中，干式喷丸加工或者喷丸硬化的方法中，进一步优选，对于平均粒径100?150 μ m的硬度高的投射材料，以50?80m/秒(sec)的投射速度、3?60秒(sec)的投射时间进行投射。其中，进一步优选，对于平均粒径120?140 μ m的硬度高的投射材料，以60?70m/秒(sec)的投射速度、5?30秒(sec)的投射时间进行投射。在使用钢球(维式硬度Hv:200?600)等的硬度低的投射材料以30?45°的投射角度进行干式喷丸加工或者喷丸硬化时，对于试样实施冲击时会发生投射材料弹性变形，因此无法给予充足的残余应力释放能量，因而优选硬度高的难以发生弹性变形的投射材料。作为硬度高的投射材料，具体地可例举有HvlOOO以上的投射材料，如Al2O3制投射材料(Hv:1800?2000)或ZrO2制投射材料(Hv:1250?1300)等。另外，投射材料的平均粒径小于ΙΟΟμπι或者投射速度小于50m/秒(sec)时，无法给予充足的残余应力释放能量，投射材料的平均粒径超过150 μ m或者投射速度超过80m/秒(sec)时，工具的切削刃棱线部上有时会发生剥落。
[0055]优选，被膜的表面中的裂缝间隔的平均值为20μπι以上ΙΟΟμπι以下。被膜的表面中的裂缝间隔的平均值选定为此间隔时，能够有效减少拉伸残余应力，能够进一步提高耐缺损性以及耐剥落性。裂缝间隔的平均值小于20 μ m时，显现出被膜易剥离的倾向，相反，裂缝间隔的平均值超过100 μ m时，拉伸残余应力能量的释放不充足，因此显现出难以提高切削时的耐缺损性以及耐剥落性的倾向。因此，优选裂缝间隔的平均值为20μπι以上且100 μ m以下。其中，进一步优选裂缝间隔的平均值为40 μ m以上且60 μ m以下。
[0056]作为被膜的表面中的裂缝间隔的测定方法，可例举有如下方法。镜面研磨用于测定裂缝间隔的被膜的表面，并用氟硝酸(Fluonitric acid)进行蚀刻时，能够易观察裂缝。完全去除氟硝酸之后用光学显微镜以75?150倍的倍率拍摄镜面研磨面，从而得到光学显微相片。在得到的光学显微相片上引入多条直线，求出裂缝和其直线相交的交点之间的距离，将其作为裂缝间隔。可以求出至少50个地方的裂缝间隔，从这些值求出裂缝间隔的平均值。
[0057]作为本发明的被覆切削工具的制造方法，可例举有如下方法。准备WC基超硬合金的基材，在基材的表面上以化学蒸镀法形成被膜。例如，TiN膜可以通过如下条件下的化学蒸镀法得到，其条件为:原料气体的组成为，TiCl4:5.0?10.0mo 1%, N2:20?60mol%、H2:余量，温度:850?920°C，压力:100?350hPa。另外，TiCN膜可以通过如下条件下的化学蒸镀法得到，其条件为:原料气体的组成为，TiCl4:10?15mol%、CH3CN:1?3mol%、N2:0?2Omo 1%、H2:余量，温度:850 ?920°C，压力:60 ?8OhPa。
[0058]α型Al2O3膜可以通过如下条件下的化学蒸镀法得到，其条件为:原料气体的组成为，AlCl3:2.1 ?5.0mo 1%,CO2:2.5 ?4.0mo 1%,HCl:2.0 ?3.0mo 1%,H2S:0.28 ?0.45mol%、H2:余量，温度:900?1000。。，压力:60?80hPa。
[0059]K型Al2O3膜可以通过如下条件下的化学蒸镀法得到，其条件为:原料气体的组成为，AlCl3:2.1 ?5.0mo 1%, CO2:3.0 ?6.0mo 1%, CO:3.0 ?5.5mol%、HCl:3.0 ?5.0mo 1%,H2S:0.3 ?0.5mol%、H2:余量，温度:900 ?1000。。、压力:60 ?80hPa。
[0060]TiAlCNO膜可以通过如下条件下的化学蒸镀法得到，其条件为:原料气体的组成为，TiCl4:3.0 ?5.0mol%、AlCl3:1.0 ?2.0mo 1%,CO:0.4 ?1.0mo 1%,N2:30 ?40mol%、H2:余量，温度:975?1025°C，压力:90?llOhPa。
[0061]WC基超硬合金的基材的表面上形成被膜之后，利用干式喷丸加工或者喷丸硬化，当对于被膜的表面以投射角度成为30?45°的方式投射投射材料时，能够制造本发明的被覆切削工具。此时，优选，将平均粒径100?150 μ m的硬度高的投射材料以50?80m/秒(sec)的投射速度投射。
[0062]实施例
[0063]烧结由平均粒径4.5 μ m的WC粉:89重量％、平均粒径1.5 μ m的TiCN粉'2重量％、平均粒径1.5 μ m的(Ta、Nb)C粉:2重量％、平均粒径1.5 μ m的Co粉-J重量％构成的混合粉末，从而得到WC- (T1、W、Ta、Nb) (C、N)-Co系的WC基超硬合金。将此WC基超硬合金加工成ISO规格CNMG120412形状的嵌件(insert)，将其作为基材。另外，WC基超硬合金基材的表面附近形成了仅由WC和Co构成的脱β层。后刀面中的脱β层的厚度是15 μ m。通过化学蒸镀法在此WC基超硬合金基材的表面上形成了表1所示的膜构成的被膜。另外，表
I的第4层(Al2O3膜)中(α )表不a型Al2O3膜，(κ )表不κ型Al2O3膜。
[0064]表1
[0065]
【权利要求】
1.一种被覆切削工具，其特征在于， 其由WC基超硬合金的基材和通过化学蒸镀法在基材的表面形成的被膜构成， 并且，其具有前刀面、后刀面以及位于前刀面和后刀面之间的切削刃棱线部， 并且，被膜整体的总膜厚度以平均膜厚度计是3?20 μ m，在距切削刃棱线部300 μ m以内的前刀面存在一条以上的倾斜裂缝，该倾斜裂缝的相对于被膜的表面的裂缝进展角度是45°以下。
2.如权利要求1所述的被覆切削工具，其中，倾斜裂缝的进展深度为距被膜的表面是0.3 ?2 μ m0
3.如权利要求1或2所述的被覆切削工具，其中，被膜的表面中的裂缝间隔的平均值是20 μ m以上且100 μ m以下。
4.如权利要求1?3中任一项所述的被覆切削工具，其中，被膜的表面中的裂缝间隔的平均值是40 μ m以上且60 μ m以下。
5.如权利要求1?4中任一项所述的被覆切削工具，其中，被膜的至少一层，是通过选自由Ti的碳化物、Ti的氮化物、Ti的碳氮化物、Ti的碳氧化物以及Ti的碳氮氧化物所组成的组中的至少一种构成的Ti化合物膜。
6.如权利要求1?5中任一项所述的被覆切削工具，其中，被膜的至少一层是氧化铝膜。
7.如权利要求1?6中任一项所述的被覆切削工具，其中，被膜构成为，相接于基材的内膜的至少一层是Ti化合物膜，与内膜相比形成在表面侧的外膜的至少一层是Al2O3膜，在Ti化合物膜和Al2O3膜之间相接于Ti化合物膜以及Al2O3膜而具有密接膜，该密接膜是通过选自由Ti的碳氧化物、Ti的氮氧化物、Ti的碳氮氧化物、以及含有Ti和Al的碳氧化物、含有Ti和Al的氮氧化物、含有Ti和Al的碳氮氧化物所组成的组中的至少一种化合物构成。
8.如权利要求1?7中任一项所述的被覆切削工具，其中，倾斜裂缝是存在有I条以上且50条以下。
9.如权利要求1?8中任一项所述的被覆切削工具，其中，倾斜裂缝是存在有3条以上且30条以下。
10.如权利要求1?9中任一项所述的被覆切削工具，其中，裂缝是通过干式喷丸加工或者喷丸硬化而形成。
11.如权利要求1?10中任一项所述的被覆切削工具，其中，裂缝是通过将投射材料以相对于被膜的表面投射角度成为30?45°的方式进行投射而形成。
12.如权利要求1?11中任一项所述的被覆切削工具，其中，裂缝是通过将投射材料以50?80m/秒的投射速度进行投射而形成。
13.如权利要求11或12所述的被覆切削工具，其中，投射材料是由平均粒径为100?150 μ m、维式硬度为1000以上的材料构成。
14.如权利要求11?13中任一项所述的被覆切削工具，其中，投射材料是由Al2O3或ZrO2构成。
【文档编号】C23C16/34GK103826781SQ201280046369
【公开日】2014年5月28日 申请日期:2012年9月24日 优先权日:2011年9月22日
【发明者】平野雄亮 申请人:株式会社图格莱