蒸镀坩埚和蒸镀装置制造方法
【专利摘要】本发明提供一种蒸镀坩埚和蒸镀装置，所述蒸镀坩埚包括坩埚本体，所述坩埚本体上形成有容纳腔，所述蒸镀坩埚还包括导热层，所述导热层设置在所述坩埚本体的内壁上，且制成所述导热层的材料的热传导率大于制成所述坩埚本体的材料的热传导率。本发明所提供的蒸镀坩埚能够对蒸镀材料进行均匀加热，改善蒸镀效果。
【专利说明】蒸镀坩埚和蒸镀装置
【技术领域】
[0001]本发明涉及显示装置的制造【技术领域】，具体涉及一种蒸镀坩埚和包括该蒸镀坩埚的蒸镀装置。
【背景技术】
[0002]显示装置的显示方式包括液晶显示(Liquid Crystal Display, LCD)、有机发光二极管显示(Organic Light-Emitting D1de, OLED),和等离子显示等多种方式，其中OLED显示具有轻薄、低功耗、高对比度、高色域以及柔性显示等优点，成为下一代显示器的发展趋势。OLED显示包括有源矩阵有机发光二级体面板(Active Matrix Organic LightEmitting D1de, AM0LED)和无源矩阵有机发光二极管(Passive Matrix Organic LightEmitting D1de, PM0LED)。实现OLED显示时，使用低温多晶娃面板(Low TemperaturePoly-silicon, LTPS)+高精度金属掩膜板(Fine Metal Mask, FMM)的方式已初步成熟。
[0003]FMM模式是通过蒸镀方式将有机材料程度到LTPS背板上，利用FMM上的图形形成红、绿、蓝器件。蒸镀是在真空腔体中，使用线性坩埚进行蒸镀。图1为现有的蒸镀坩埚的结构示意图，蒸镀坩埚的坩埚本体10采用的钛(Ti)制成，使得坩埚本体受热后的温度均匀性较差，整体温度均匀性有较低，从而使得蒸镀材料的受热均匀性较低；同时，蒸镀材料内部距离坩埚本体的内壁较远，受热较慢，而蒸镀材料直接接触内壁的部分受热较快，导致部分材料没有蒸发，另一部分材料受热过度而变性，从而造成材料的浪费，且影响蒸镀效果。
【发明内容】
[0004]本发明的目的在于提供一种蒸镀坩埚和蒸镀装置，以使得蒸镀工艺中，蒸镀材料的受热更加均匀。
[0005]为了实现上述目的，本发明提供一种蒸镀坩埚，包括坩埚本体，所述坩埚本体上形成有容纳腔，所述蒸镀坩埚还包括导热层，所述导热层设置在所述坩埚本体的内壁上，且制成所述导热层的材料的热传导率大于制成所述坩埚本体的材料的热传导率。
[0006]优选地，制成所述坩埚本体的材料包括钛或钛合金，制成所述导热层的材料包括铜、铜合金、银和银合金中的任意一种。
[0007]优选地，所述蒸镀坩埚还包括设置在所述容纳腔内的导热结构，所述导热结构与所述导热层相连，当蒸镀材料设置在所述容纳腔内时，所述蒸镀材料的一部分与所述导热结构接触，且加热所述蒸镀坩埚时，所述蒸镀材料能够从所述容纳腔内逸出。
[0008]优选地，所述导热结构包括多个导热隔板，多个所述导热隔板将所述容纳腔分隔成多个形成有开口的子腔体。
[0009]优选地，多个所述导热隔板包括至少一个第一隔板，所述第一隔板沿所述容纳腔的长度方向延伸，和/或
[0010]多个所述导热隔板包括至少一个第二隔板，所述第二隔板沿所述容纳腔的宽度方向延伸。
[0011]优选地，多个所述导热隔板包括多个第一隔板和多个第二隔板。
[0012]优选地，所述导热结构包括至少一个导热网，所述导热网沿所述容纳腔的深度方向将所述容纳腔分隔成多个子腔体。
[0013]优选地，所述导热结构包括沿所述容纳腔的深度方向依次排列的多个所述导热网。
[0014]优选地，制成所述导热结构的材料与制成所述导热层的材料相同。
[0015]相应地，本发明还提供一种蒸镀装置，所述蒸镀装置包括本发明所提供的上述蒸镀坩埚。
[0016]可以看出，由于所述坩埚本体的内壁上设置有热传导率较大的导热层，当坩埚本体受热产生温度不均一的现象时，所述导热层能够快速地将热量均匀地分布在导热层中，从而使整个导热层的温度更均匀，进而均匀地向蒸镀材料传递热量；并且，所述容纳腔内设置有导热结构，该导热结构可以将热量快速传递至蒸镀材料内部，使得蒸镀材料的不同区域可以均匀受热，减少温度不均匀造成的材料变性的发生，从而改善了蒸镀效果。
【专利附图】
【附图说明】
[0017]附图是用来提供对本发明的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的【具体实施方式】一起用于解释本发明，但并不构成对本发明的限制。在附图中:
[0018]图1是现有技术中蒸镀坩埚的结构示意图；
[0019]图2是本发明第一种实施方式中的蒸镀坩埚结构示意图；
[0020]图3是图2中蒸镀坩埚的俯视图；
[0021]图4是本发明第二种实施方式中的蒸镀坩埚结构示意图；
[0022]图5是图4中蒸镀坩埚的俯视图。
[0023]其中，附图标记为:
[0024]10、坩埚本体；11、导热层；12、导热隔板；121、第一隔板；122、第二隔板；13、子腔体；20、导热网。
【具体实施方式】
[0025]以下结合附图对本发明的【具体实施方式】进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的【具体实施方式】仅用于说明和解释本发明，并不用于限制本发明。
[0026]作为本发明的一个方面，提供一种蒸镀坩埚，如图2所示，包括坩埚本体10，坩埚本体10上形成有容纳腔，所述蒸镀坩埚还包括导热层11，导热层11设置在坩埚本体10的内壁上，且制成导热层11的材料的热传导率大于制成坩埚本体10的材料的热传导率。
[0027]本发明对导热层11设置在坩埚本体10的内壁上的方式不作具体限制，例如，可以采用镀层等方式直接将热传导率较大的材料设置在坩埚本体10的内壁上，形成导热层11 ；也可以先采用热传导率较大的材料制成与所述容纳腔形状一致的导热层11，再将导热层11嵌套在所述容纳腔内。
[0028]在本发明中，当对所述蒸镀坩埚加热时，由于坩埚本体10的内壁上设置有热传导率较大的导热层11，因此，热量可以快速传递至容纳腔内的蒸镀材料，从而使得蒸镀材料的不同区域可以均匀受热，减少温度不均匀造成的材料变性的发生，进而改善了蒸镀效果。
[0029]具体地，如果坩埚本体10受热后，坩埚本体10上会出现温度较高的区域和温度较低的区域。由于坩埚本体10上设置有热传导率较大的导热层11，坩埚本体10上温度较高的区域的热量传递给导热层11之后，导热层11能够快速地将温度较高的部分传递来的热量均匀地分布在导热层11中，从而使整个导热层11的温度比较均匀，进而能够均匀地向蒸镀材料传递热量。
[0030]作为本发明的一种【具体实施方式】，制成坩埚本体10的材料包括钛或钛合金(例如，TC4)，以使得所述蒸镀坩埚具有较大的高温强度；制成导热层11的材料包括铜、铜合金、银和银合金中的任意一种，当然，制成导热层11的材料还可以为其他材料，只要导热率较大且不与蒸镀材料发生反应即可。
[0031]为了进一步提高蒸镀材料的温度均匀性，所述蒸镀坩埚还可以包括设置在所述容纳腔内的导热结构，所述导热结构与导热层11相连，当蒸镀材料设置在所述容纳腔内时，所述蒸镀材料的一部分可以与所述导热结构相接触，且加热蒸镀坩埚时，所述蒸镀材料可以从所述容纳腔内逸出。
[0032]本发明对所述导热结构的具体形式不作限定，只要可以将热量从导热层11传递至蒸镀材料内部，且不阻碍所述蒸镀材料的蒸发即可。例如，所述导热结构可以包括多个与导热层11相连的导热丝，当所述容纳腔内设置有蒸镀材料时，所述导热丝可以穿过所述蒸镀材料内部，以将热量快速传递至所述蒸镀材料的内部。
[0033]作为本发明的第一种实施方式，如图2和图3所示，所述导热结构可以包括多个导热隔板12，多个导热隔板12将所述容纳腔分隔成多个形成有开口的子腔体13。蒸镀材料设置在多个子腔体13内，可以从所述开口中逸出。导热隔板12可以将热量传递至多个子腔体13内的蒸镀材料，以使得蒸镀材料受热更加均匀。
[0034]具体地,如图3所不,多个导热隔板12可以包括至少一个第一隔板121,第一隔板121沿所述容纳腔的长度方向延伸，和/或多个导热隔板12包括至少一个第二隔板122，第二隔板122沿所述容纳腔的宽度方向延伸。
[0035]优选地，如图3所示，多个导热隔板12包括多个第一隔板121和多个第二隔板122，多个第一隔板121和多个第二隔板122将所述容纳腔分隔为多个子腔体13，子腔体13的顶部形成有开口，蒸镀材料受热时可以从所述开口中逸出。
[0036]作为本发明的第二种实施方式，如图4所示，所述导热结构可以包括至少一个导热网20，导热网20沿所述容纳腔的深度方向将所述容纳腔分隔成多个子腔体。当导热网20的数量为一个时，导热网可以将容纳腔分为上、下两个子腔体。设置有导热网20的蒸镀坩埚的俯视图如图5所示，导热网20的网孔便于蒸镀材料的逸出。应当理解的是，导热网20应设置在所述容纳腔的下部，以使得所述容纳腔室内的蒸镀材料的高度大于导热网20的高度，从而便于散热网20将热量传递至所述蒸镀材料的内部，进而提高所述蒸镀材料温度的均匀性。本发明中的“上” “下”均指图4中的上、下方向。
[0037]优选地，如图4所示，所述导热结构包括沿所述容纳腔的深度方向依次排列的多个导热网20，多个导热网20可以均匀排列，对所述蒸镀坩埚加热时，多个导热网20可以将热量均匀地传递至蒸镀材料的内部，以提高蒸镀材料温度均匀性，改善蒸镀效果。
[0038]优选地，制成所述导热结构的材料可以和制成导热层11的材料相同，均为热传导率较大的材料，以便于将热量快速传递至蒸镀材料内部，提高蒸镀均匀性。具体地，制成所述导热结构的材料可以包括铜、铜合金、银和银合金中的任意一种。
[0039]上述为对本发明所提供的蒸镀坩埚的描述，可以看出，由于坩埚本体的内壁上设置有热传导率较大的导热层，当坩埚本体受热产生温度不均一的现象时，所述导热层能够快速地将热量均匀地分布在导热层中，从而使整个导热层的温度更均匀，进而均匀地向蒸镀材料传递热量；并且，所述容纳腔内设置有导热结构，该导热结构可以将热量快速传递至蒸镀材料内部，使得蒸镀材料的不同区域可以均匀受热，减少温度不均匀造成的材料变性的发生，从而改善了蒸镀效果。
[0040]作为本发明的另一方面，提供一种蒸镀装置，包括本发明所提供的上述蒸镀坩埚。所述蒸镀装置还可以包括真空腔室，所述蒸镀坩埚设置在所述真空腔室内，本发明所提供的蒸镀坩埚可以提高蒸镀材料的温度均匀性，因此，使用所述蒸镀坩埚的蒸镀装置具有较好的蒸镀效果。
[0041]可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本发明的原理而采用的示例性实施方式，然而本发明并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本发明的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本发明的保护范围。
【权利要求】
1.一种蒸镀坩埚，包括坩埚本体，所述坩埚本体上形成有容纳腔，其特征在于，所述蒸镀坩埚还包括导热层，所述导热层设置在所述坩埚本体的内壁上，且制成所述导热层的材料的热传导率大于制成所述坩埚本体的材料的热传导率。
2.根据权利要求1所述的蒸镀坩埚，其特征在于，制成所述坩埚本体的材料包括钛或钛合金，制成所述导热层的材料包括铜、铜合金、银和银合金中的任意一种。
3.根据权利要求1或2所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述蒸镀坩埚还包括设置在所述容纳腔内的导热结构，所述导热结构与所述导热层相连，当蒸镀材料设置在所述容纳腔内时，所述蒸镀材料的一部分与所述导热结构接触，且加热所述蒸镀坩埚时，所述蒸镀材料能够从所述容纳腔内逸出。
4.根据权利要求3所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述导热结构包括多个导热隔板，多个所述导热隔板将所述容纳腔分隔成多个形成有开口的子腔体。
5.根据权利要求4所述的蒸镀坩埚，其特征在于，多个所述导热隔板包括至少一个第一隔板，所述第一隔板沿所述容纳腔的长度方向延伸，和/或 多个所述导热隔板包括至少一个第二隔板，所述第二隔板沿所述容纳腔的宽度方向延伸。
6.根据权利要求5所述的蒸镀坩埚，其特征在于，多个所述导热隔板包括多个第一隔板和多个第二隔板。
7.根据权利要求3所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述导热结构包括至少一个导热网，所述导热网沿所述容纳腔的深度方向将所述容纳腔分隔成多个子腔体。
8.根据权利要求7所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述导热结构包括沿所述容纳腔的深度方向依次排列的多个所述导热网。
9.根据权利要求3所述的蒸镀坩埚，其特征在于，制成所述导热结构的材料与制成所述导热层的材料相同。
10.一种蒸镀装置，其特征在于，所述蒸镀装置包括权利要求1至9中任意一项所述的蒸镀坩埚。
【文档编号】C23C14/24GK104233196SQ201410440677
【公开日】2014年12月24日 申请日期:2014年9月1日 优先权日:2014年9月1日
【发明者】张金中 申请人:京东方科技集团股份有限公司, 鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司